微型机电系统与微细加工技术

本文介绍了一个新兴的机械电子研究和应用领域－微型机电系统的产生、发展和应用前景，这种机电系统有着传统机电系统不能比拟的特点和优势，例如经济、制造快速等。本文列举了几个常见的微型机电系统和它们的应用举例。与微型机电系统密切相关的微细加工技术在本文中有详细的介绍，以硅加工和LIGA技术为例，本文比较了微细加工技术之间的特点和各自的应用范围，最后说明微型机电系统有广阔的发展前途。     

微型弯曲模制造

随着微机电系统技术的发展对微型制件需求的不断增长,以传统的微细加工方法成形微小制件难以满足微系统的应用要求,而用微型模具成形微小制件,具有生产效率高、制件质量稳定等优点,成为微成形加工领域的重要工艺发展方向。研究对实验所用的微型弯曲模进行了总体结构设计,得到了模具的装配图和零件图。在分析微细加工方法的技术特点的基础上采用微机械加工法加工模具,并在万能试验机上进行试验,试验表明,所冲制的弯曲件符合要求。     

制作微模具的微机械加工技术应用与研究

应用微机械加工技术制作微型模具,再通过微型模具成形微型制件,具有简单、经济、制件质量好及生产效率高等优点.基于制造微模具的微机械加工技术,从加工特点、表面精度和应用场合等方面重点分析了能够制作型腔带有拔模斜度的金属微模具的加工技术——微细特种加工技术和微铣削技术,探讨了微模具制造进一步发展的方向和手段.     

微细切削加工与微机械制造

介绍了微机械制造中的切削加工方法及设备的研究进展情况，包括微细车削、微细钻削、微细铣削、微冲压及微型工厂等。这些技术加工的工件都已经达到了微米尺度，它们在微三维结构的制造方面有独特的优势。     

前程远大的微细加工技术

本刊1993年第1期所载《明天的制造技术》一文中曾简要介绍了微型机器与微细加工技术。本文对此作了较详细的报导,有助于读者对微细加工的发展前途有更多了解。     

微米纳米技术及微型机电系统

微型机电系统和微型制造技术是一个新兴的技术领域。本文论述微米纳米制造技术的发展过程,微细加工的进展,微型机电系统的概念、主要研究课题,以及它的应用领域。     

激光微细加工技术及其在MEMS微制造中的应用

文章综述了当前MEMS各类微制造技术，阐述了各种激光微细加工技术的原理、特点，主要包括准分子激光微细加工技术、激光LIGA技术、激光微细立体光刻技术等，以及它们在MEMS微制造中的应用。     

微细机械加工技术

随着微型机械的应用领域进一步拓展,微细机械制造加工技术得到了快速发展.在介绍了微细切削加工、微细电火花加工、微细蚀刻以及微细电解加工的基础上,对其加工特点和性能进行了比较,讨论了微细机械加工发展的方向与关键问题.     

微型模具及微成形技术的发展

这里阐述了微型模具及微成形技术的基本概念和研究现状，介绍了微型模具制造的原理和技术以及微成形技术的特点，最后提出了该技术领域需要解决的一些关键技术问题和发展趋势。     

特种微型机械加工技术

综述微型机电系统/微型机械的三维形状加工及极限尺寸加工的研究开发现状.相对硅微细加工和LIGA工艺,不采用掩膜版的特种微细加工技术,如微细激光成型、微细电火花加工以及微细机械加工等近年来取得较大进展,在三维微小机械结构成型上有独到优势;同时扫描隧道显微加工技术的开发将微型机械向极限尺寸领域推进.微型机电系统/微型机械的长足发展有赖于融合已有先进技术和交叉学科思想的微型机械加工技术的进一步研究开发.     

Non-lithographic fabrication of metallic micromold masters by laser machining and welding

A non-lithographic process of rapidly fabricating metallic micromold masters for the manufacture of disposable polymer microfluidic devices is presented in this paper. The developed technique exploits the precision material removal capabilities of industrial lasers to cut accurate profiles of microfeatures (e.g., liquid flow microchannels, reservoirs, passive micromixers) from thin metallic sheets. The machined micropatterns are then laser welded onto a metal substrate to form the final functional mold master. Multiple versions of the functional device are replicated from the assembled master by either soft molding polydimethylsiloxane or hot embossing polymethyl methacrylate. Several metallic micromold masters and polymer replicas are tested for dimensional accuracy and surface roughness to verify the developed microfabrication process.     

微细切削技术及微型机床的发展

微细切削技术是一种快速低成本的微小零件机械加工方式,是未来制造技术的发展趋势,被列为21世纪重点发展的关键技术.综述了微细切削技术的新技术及微型机床、微型工厂的发展过程及其趋势.     

Intelligent grinding assistant (IGA(©)) - system development part I intelligent grinding database

The miniaturization of parts and components plays an important role in today’s economy, enabling the design and production of new and highly sophisticated technology in various industrial fields, such as medical, bio-chemistry, automotive, and telecommunications. Nowadays, production technology faces the challenge to manufacture small components within tight tolerances, yet, which still remain economical in large lots. In order to successfully harness this task, separating processes have been fitted to suit the needs for micro mold manufacturing and were combined with a subsequent injection-molding process to satisfy the need for large-scale production with a vast variety of possible materials. Hereafter, the scope lies on the production technology for micro mold manufacturing, namely, micro milling, micro electro discharge machining (micro EDM), and micro laser ablation. The characteristics of each process are introduced and compared to each other, concerning surface properties, achievable tolerances, potential for miniaturization, machinable scope of materials, and manufacturing productivity.     

RESEARCH OF MICRO ELECTRO DISCHARGE MACHINING EQUIPMENT AND PROCESS TECHNIQUES

Micro electro discharge machining (micro EDM) is a feasible way to manufacture micro structures and has potential application in advanced industrial fields. For the realization of micro EDM, it is necessary to pay careful attention to its equipment design and the development of process techniques. The present status of research and development of micro EDM equipment and process techniques is overviewed. A micro electro discharge machine incorporated with an inchworm type of micro feed mechanism is introduced, and a micro electro discharge machine for drilling micro holes suitable to industrial use is also introduced. Some of the machining experiments carried out on the micro EDM prototypes are shown and the feasibility of the micro EDM technology to practical use is discussed.     

高精度复杂微小零件车、铣、钻复合加工工艺研究

通过一个高精度复杂微小零件车、铣、钻复合加工的实例,介绍了车、铣、钻复合加工的工艺和设备,为高精度复杂微小零件的加工开辟了一条新的途径,使其加工工艺水平上了一个新台阶,对同类零件的加工具有很好的示范作用。     

中国微纳制造研究进展

介绍了中国微纳制造领域的总体概况。从微构件力学性能、微纳摩擦磨损及粘附行为研究、典型微流体器件输运特性研究、拓扑优化技术在微纳结构设计中的应用研究、微传热学的研究和微测试方法和装置的研究具体介绍了微纳制造基础理论方面取得的进展。从设计方法、硅基微机电系统(Micro electro mechanical system,MEMS)制造工艺、非硅MEMS制造工艺等方面介绍了微系统设计与加工工艺研究进展。从物理量微传感器、微执行器件与系统、微纳生化传感与分析和微能源等方面介绍了微纳器件与微纳系统的研究进展,最后对中国微纳制造发展进行了总结和展望。     

纳米定位技术的发展现状

超精密位置控制技术是超精密加工和测量的基础。通过对现有几种具有纳米分辨率的驱动系统进行比较,分析了各种定位系统的特点,展望了纳米定位技术的发展方向。     

双料注塑微发泡工艺

随着汽车工业的发展,汽车内饰的品质、外观及生产工艺都在不断地提升和进步,消费者在购买汽车的同时也越来越注重汽车内饰的整体效果,这给汽车内饰零部件的设计、制造带来了新的挑战。针对一种使汽车内饰零部件达到更高外观品质的双料注塑微发泡工艺进行了分析及说明,希望能对汽车内饰零部件的设计及制造起到一定的参考作用。     

功能陶瓷超精密加工技术的现状与发展

介绍了功能陶瓷超精密加工技术，尤其是超精密抛光的技术概要，对各种先进的超精密抛光原理与方法进行了简单描述与评价。阐述了功能陶瓷超精密抛光技术的国内外研究现状与发展趋势，归纳了技术发展的特点，提出了功能陶瓷超精密抛光技术的发展前景。     

虚拟制造技术在冷弯型钢生产领域的应用探索

虚拟制造是对真实产品制造的动态模拟.把虚拟制造技术应用到冷弯型钢生产领域是一个全新的概念.介绍了冷弯成型工艺技术发展的主要特征、冷弯型钢的特点,讨论了虚拟制造技术与主要特点.对冷弯型钢生产领域提出了虚拟制造的概念.按产品介绍了冷弯型钢轧制工艺及冷弯实验研究现状,并对其在冷弯型钢生产领域的应用进行了探索研究.