气敏传感器及其应用

主要介绍了半导体气敏传感器和电化学固体电解质气敏传感器的工作原理和应用技术,重点阐述了气敏传感器的性能改善方式和输出电压获取方式。通过几种应用实例表明:这两种类型的气敏传感器具有测量精度高、所需试样少、响应快等特点,有广泛的应用领域。     

气敏阵列及其应用

文章对气敏阵列的工作原理、硬件实现和模式识别方法进行了介绍，重点描述了在各个行业的应用。     

场效应气敏传感器的研究进展

】叙述了场效应气敏器件的基本理论和重要研究方向——高温场效应气敏器件和阵列式智能气体传感器。     

半导体纳米氧化物气敏传感器的制备及应用

论述了金属氧化物SnO2的气敏机理,并对通过掺杂金属、金属离子、金属氧化物以及形成复合型、多组分氧化物等方法制备SnO2薄膜气敏传感器的最新研究成果进行了简要介绍.     

基于ARM的高阻气敏传感器测试电路

将ARM7应用到气敏传感器中,利用其强大的数据计算处理能力及控制能力,结合气敏薄膜材料的高阻值特点,设计出了显示气敏元件阻值及其所处气体浓度的测试电路。该电路以LPC2131实时监测电源电压,自动调整占空比,实现对温度的准确控制,并测量气敏薄膜的电阻。经气体浓度和元件阻值的校准后,电路可显示被测气体浓度,同时提供一个友好的用户界面,并具备报警功能,实现了智能气敏传感器的测量电路。完全满足气敏测试需要,电阻的测量精度达到±0.2%。     

电流型NO2气敏传感器性能研究

报道了一种可在常温下工作的电流型NO2气敏传感器.讨论了该传感器的检测机理、响应和恢复速度、线性范围、选择性和检测限等特性.本工作为研制和开发小型、廉价,适用于检测工业废气和汽车尾气等污染源中NO2的在线实时检测仪器奠定了基础.     

微结构气敏传感器制造工艺的研究

本文主要介绍了微结构气敏传感器制造工艺中的关键技术,例如双面光刻、反应等离子刻蚀、硅的各向异性腐蚀、采用溶胶—凝胶镀膜技术制备ＷＯ３敏感薄膜。文中还给出ＷＯ３薄膜的ＸＲＤ和ＳＥＭ表面分析图。对结构和表面形貌进行了分析,并给出传感器的气敏特性曲线。最后对存在的问题进行了简单的讨论。     

浅谈SAW气敏传感器的发展

SAW气敏传感器是一种基于声表面波器件波速和频率随外界环境的变化而发生漂移的原理制作而成的一种新型的传感器。本文介绍了SAW气敏传感器的结构、特点及其工作原理,讨论了SAW气敏传感器的应用前景和发展趋势。     

气体传感器在多参数气体检测仪中的应用

介绍了多参数气体检测仪的检测原理,对气体传感器在多参数气体检测仪中的应用进行了设计,可实现对O2、CO、CO2、H2S、CH4等5种气体在空气中的含量检测。可控制检测仪进行单一气体的检测,也可对5种气体进行巡回检测。     

基于传感器网络的瓦斯传感器故障诊断

根据矿井巷道的地理特征,构建了一种用于辅助瓦斯监测的链状无线传感器网络,在分析煤矿瓦斯传感器的故障模式的基础上,提出了基于链状无线传感器网络的瓦斯传感器故障诊断技术,给出了基于该诊断技术的具体算法。在此基础上,利用Monte-Carlo模拟,研究了不同参数(瓦斯分布方差、阈值和采样频率)对算法性能的影响。仿真结果表明,在适当的阈值选择条件下,故障诊断系统的性能与瓦斯分布的方差成反比,与采样频率成正比。     

声表面波气体传感器发展概况

声表面波气体传感器包括采用敏感膜和结合气相色谱两种方式.比较而言,采用敏感膜的声表面波气体传感器体积小、功耗低,但可检测的气体种类少、灵敏度低、存在交叉干扰问题;声表面波与气相色谱联用的气体分析仪灵敏度高、可检测气体种类多、很好地解决交叉干扰问题,特别适合于复杂大气背景条件下的气体成分分析.文中介绍了两类声表面波气体传感器的发展概况.     

膜盒式压力传感器的创新设计原理与工程应用

弹性膜盒作为压力式传感器大量应用在石油化工、仪表、航空等领域,通过研究发现了弹性膜盒不同于上述传统应用方法的新特性,在大量试验数据的基础上,提出了一种创新设计理论与方法,成功地将其作为温度传感器应用于某温度控制继电器。采用该原理和方法设计制造的新型温度传感器大批量生产应用于洗衣机、电热水器等家用电器,证明具有极佳的工作精度、重复性、稳定性与可靠性,为弹性膜盒开辟了一种新的应用领域。     

气体传感器的最新进展

文中将综述气体传感器的最新进展.重点介绍半导体氧化物传感器、固体电解质传感器和使用纳米材料的新型气体传感器的发展动向.此外还将概述日本企业的研发动向.     

一种新型车用角位移传感器的研究与应用

非接触式角位移传感器运用于汽车及其它机电控制系统。这种新型传感器不仅灵敏度高而且无任何磨损,对汽车发动机燃油性能的变化和所含杂质也不敏感。本文设计的半差动圆环传感器及其接口电路,在柴油机电控燃油喷射系统中得到成功应用。     

汽车废气氧传感器软测量模型

汽车废气氧(EGO)传感器模型是实现发动机空燃比闭环控制的关键技术之一.传统采用的继电器模型,存在一定的不足.采用实验建模的方法,建立了过量空气系数、温度与输出电压之间的软测量模型.利用三段和法对模型参数进行初步估计,得到参数的粗略值,然后利用粒子群优化算法,寻找最优参数,并对所得结果进行检验.仿真结果表明:该软测量模型结构简单,预测精度高,可以用于空燃比闭环控制系统的仿真研究.     

基于MEMS工艺的半导体电阻式气敏元件的研究

介绍了半导体电阻式气敏元件工作原理,设计了一种基于MEMS工艺的薄膜气敏元件结构,此结构以Si3N4/SiO2/Si3N4复合薄膜作为支撑隔热层,蜿蜒状多晶硅作为加热层,梳状Ag电极作为气敏薄膜信号电极,SiO2作为加热层与Ag电极的绝缘层,并在SiO2绝缘层上刻蚀通孔形成加热层与金属互连。该结构具有通用性,对不同气敏特性的材料均适用,且易于改进为组合结构或阵列结构。最后,对其工艺进行了阐述。     

新型栅状电容式液位传感器原理及应用

针对传统电容式液位传感器在不改变体积的条件下只能通过减小电极间距来提高灵敏度的不足,设计了新型栅状电容式液位传感器.它采用栅状电极代替圆柱状电极,扩大了电极间空间,使被测介质的流动更为顺利并且提高了传感器的灵敏度,降低了工艺要求.给出了该传感器的实验数据,得到了比较满意的结果.