NBI低温冷凝泵液氦杜瓦的热力分析与工程设计

降低中性束注入器低温冷凝泵的LHe消耗率,是进行低温冷凝泵设计时应考虑的核心问题之一。通过对NBI低温冷凝泵的LHe杜瓦进行热力分析,确定了影响杜瓦内LHe蒸发率的关键参数。探讨了降低LHe蒸发率的措施,依此确定了在工程设计中为达到减小LHe蒸发率、提高泵运行经济性可采用的结构形式。     

从10~(-5)托～10托差级抽气系统

本文介绍了一种差级抽气真空系统。通过分析、实验,选择了真空过渡孔的形状和级数。采用三个真空过渡孔加上级间抽气,达到了真空度从10~(-5)托过渡到10托的目的。     

用于中性束注入器的4.2 K液氦低温冷凝泵的设计

在中性束注入器的研制中 ,大抽速低温泵的设计是其中非常重要的一部分。本文结合中性束注入器对真空系统的要求 ,介绍了中性束注入器真空系统的构成 ,并以布置于中性化室部位的低温泵为例 ,详细阐述了用于中性束注入系统的低温泵的结构设计以及抽速确定、冷凝面积确定等关键问题 ,成功设计了一套完全满足中性束注入系统对动态真空度要求的低温泵。     

用于中性束注入器的4．2K液氦低温冷凝泵的设计

在中性束注入器的研制中，大抽速低温泵的设计是其中非常重要的一部分。本文结合中性束注入器对真空系统的要求，介绍了中性束注入器真空系统的构成，并以布置于中性化室部位的低温泵为例，详细阐述了用于中性束注入系统的低温泵的结构设计以及抽速确定、冷凝面积确定等关键问题，成功设计了一套完全满足中性束注入系统对动态真空度要求的低温泵。     

貯槽式液氦冷凝泵的设计考虑及其性能测试

一、引言所谓液氦冷凝泵,是指一种靠低温介质(液氦)将固体表面冷却到极低温度(≤4K),使沸点高于这一温度的碰撞气体被冷凝在该低温表面上,从而产生很大抽气作用的泵。其抽气机制基本上是一种物理吸附过程。从理论上讲,这种泵具有一系列显著的特色: (1)在10~(-1)～10~(-10)帕这样一个宽的压力范围内都具有较大的抽速,而且其比抽速可接近于理论值; (2)极限真空度高,可达10~(-10)帕范围; (3)抽气基本无选择性(只有氦气除外,来自金属真空系统的氦气通常也是极其稀少的), (4)实际抽气能力大,且在理论上没有限制; (5)极清洁,真空系统不会受到泵的任何污染; (6)易于并能够完全再生;     

PLASMADETEK-PED低温等离子发射气相色谱仪在10~(-6)～10~(-9)级气体分析领域的应用

等离子发射检测器(Plasma Emission Detector)是一种应用于气相色谱仪的新型检测器。加拿大LDetek仪器公司的Plasma Detek是一种超高灵敏度的检测器,可以很好的解决一般高纯气体或者混合气体的微量痕量分析,在特气和半导体气体方面也得到了越来越广泛的应用,并且取得了非常好的效果。     

获得2.9×10~(-10)Pa的三极溅射离子泵

我所为完成原第一机械工业部下达的７２１８１超高真空技术研究课题，研制了Ｌ－１００型三极溅计射离子泵。经试验、鉴定，该泵抽速为１６０Ｌ／ｓ，极限真空为２．９×１０－１０Ｐａ（ＳＧ－４型冷磁控极高真空测量），并成功地应用到为航天工业部某单位研制的ＪＷＺ－１００型静电支承仪表无油超高真空排气台上做为主泵。该排气台系统极限真空达到５．５×１０－８Ｐａ。     

10~(-4)～10~(-1)Pa副标准电离真空规(英文)

本文介绍FB-1型副标准电离真空规的结构和电参数。此种真空规为三极管型。发现它的上限线性与其栅极电压和氮气气样纯度有关。其规管系数S在上限压力增至0.27Pa时仍可保持在1％以内。全量程校准的S值的偏差不超过2％。十三个月内S值的变化范围为1.2％。测量了此种真空规工作在油系统上的稳定性和起始稳定性。还用它作为传递规对中国计量科学研究院的几套真空标准进行了比对,初步结果是满意的。     

量程为760～10~(-3)托的对流式电阻真空计

在科研和工业生产中,高压强的连续测量是十分需要的。我所研制并生产的RZ-1型对流式电阻真空计,可测量760～10-3托,它具有反应快、精度高、结构简单、坚固耐用、抗氧化等特点,并可予置真空度以及0～10毫伏输出,可供外电路控制打字、记录等使用;可代替汞U型计,避免水银中毒。它与中真空电离真空计(1～10-6托)、热偶电离复合计(10-1～10-8托)、B-A计(10-3～10-11托)、宽量程 B—A计 (10-1～10-11托)、冷阴极磁控式极高真空计(10-5～10-13托)组成测量范围互相覆盖并衔接的测量仪表系列。 物体热传导过程通常有三种形式:对流(气体热传导)、辐…     

EAST-NBI用差分式低温冷凝泵的设计

为了维持EAST-NBI内的真空环境以满足中性束生成与传输过程对真空压力分布的要求,设计了EAST-NBI用差分式低温冷凝泵.本文概述了中性束注入加热的原理以及EAST-NBI真空系统的组成,详细阐述了EAST-NBI用差分式低温冷凝泵的结构设计,抽速和冷凝面积的确定,液氦系统和液氮系统热负荷的计算等关键问题.该差分式低温冷凝泵通过在EAST-NBI综合测试台上进行大量实验验证,完全满足EAST-NBI对真空系统的要求.     

压力小于10~(-11)托真空系统的材料预处理及平均出气率

本文叙述一个压力小于10-11托金属超高真空系统的材料预处理;介绍了用升压法测量材料极低平均出气率的操作方法;对测量误差和测量结果作了分析和讨论。 一、引言 真空系统所能达到的极限压力P=P0+ [托][1]。式中:P0为泵本身的极限压力(托);Q0为空载时,经常时间抽气后真空室内的气体负载[托·升/秒];S为泵对真空室的有效抽速[升/秒]。 要降低真空系统的极限压力P,靠降低泵的极限压力P0还不够,还必须设法减少真空系统的气体负载Q0,或增大泵的有效抽速S,但有效抽速S的增大要受到结构和成本等多种因素的限制,一般不可能成数量级增加。 如果…     

称重10~(-9)克的微天平

荷兰埃因霍温的菲利浦研究实验室,设计出一种非常精确、灵敏,但简单和坚固耐用的微天平。利用这台微天平可以称量出5毫克样品上10/1000毫克(10~(-9)克)的变化,测试重量微弱变化的这一精密度已达到创纪录的新水平。 上述极度精确的重量变化的测定,借助于一根发夹型的石英线谐振频率的变化。待称重的物     

中性束注入器低温冷凝泵性能测试

中性束注入器(NBI)是一套用来产生高能带电粒子并进行中性化的设备.优良的动态真空特性是NBI获得高的束传输效率的重要保证.对布置于NBI主真空室的低温冷凝泵进行了低温抽气特性测试,结果表明,使用该泵能获得满足NBI要求的动态真空.     

一种(10~(-1)～10~(-10))Pa·m~3/s标准气体流量计的设计

为了解决真空计量检测对标准气体流量的需求,设计出(10~(-1)～10~(-10))Pa·m~3/s的标准气体流量计。装置主要由定容法流量模块、流导法流量模块、供气与抽气模块、保温模块、控制模块组成,通过定容法和流量法提供标准气体流量。采用容积约为5和0.1 L的真空室作为定容室,同时为流导元件入口提供一定压力的气体;仅用两台电容薄膜真空计作为参考标准测量真空室气体压力,通过PLC触摸屏或计算机进行测量数据采集及运行控制;采用激光在铂金片上打孔并进行真空镀膜的工艺获得10~(-10) m~3/s流导元件。设计的装置外形尺寸不超过500 mm×400 mm×500 mm,主体重量小于35 kg,提供的流量范围为(10~(-1)～10~(-10)) Pa·m~3/s,具有成本低、操作方便、便携等优点。     

低压(低于10~(-3)帕)高效率离子枪

本文讨论了工作压强为≤1.0×10～-3帕而特殊设计的超高真空离子枪。这种离子枪可在电压为100伏-10千伏,电流为1×10～-7安下对离子束进行质量分析。当压强≤1×10～-5帕, 0.2安/乇的氩离子可在距源45厘米的靶上聚焦成0.4厘米的离子束斑。该枪工作的本底压强 为4.0×10～-9帕,而无须分级抽气。当发射电子流为30毫安,离子源近外的氢和一氧化碳的分压强分别为～1×10～-9帕,全压强为11×10～-9帕(氮当量)时,离子源可持续工作。若未 能为1仟电子伏,离子源传输(FWHM)为0.6电子伏,离子源处的发散半角为0.4°。 引言 在超高真空中用离子束轰击表…     

用Solvay闭循环制冷机工作的低温冷凝泵

前言 采用闭循环小型制冷机的低温冷凝泵,由于其绝对清洁无油的工作环境以及比较大的抽速和较高的极限真空诸多优点,已作为一种新型超高真空设备在微电子技术、空间模拟、表面分析等领域中获得广泛应用。多年来,我国的许多真空获得设备厂家及研究机构,也开展了小型制冷机型低温系的研制工作并已取得了一定的成果。但据我们所知,国内研制的大部分低温系采用G-M循环制冷机,结构比较复杂,而且由于压机改装仍然存在一定的问题,致使制冷机的工作寿命受到影响,因而目前低温泵的应用尚存在一些困难。 中科院北京科仪厂真空事业部自1988年起,同中科…     

丁二烯-苯乙烯阴离子共聚体系~(13)C-NMR研究

本文利用~(13)C-NMR作为工具,首次对在准稳态下用n-BuLi作引发剂,THF为添加剂的丁二烯-苯乙烯阴离子共聚物的微观结构进行研究。~(13)C-NMR研究结果验证了动力学的基本假定的正确性,即多活性种参加的动力学模式是合理的,恒定温度下各活性种间的比例近似为(THF/nBuLi)的单交量函数。     

一种新型的由超高真空至10~(-1)托宽量程B-A规

对于传统的Ｂ－Ａ规来说，当压强高于１０－３托时，随着压强的升高，离子收集极电流便显示出明显的非线性。人们认为，这是因流向灯丝的离子流变得与灯丝发出的电子流相差不多而引起的。在本文所述的新型规管中，灯丝附近设置了一个辅助电极，其电位保持低于灯丝电位，用以消除这种不希望有的离子流。经这样一改，其线性区域便延展至１０－１托（对于Ｎ２），但并不牺牲其灵敏度。对电极结构和电位等电极设计参数所进行的最佳化研究表明，设有接地半圆筒状电极的规管将具有最佳的性能，这种新型Ｂ－Ａ规能在 １０－１０至２× １０－１托压强范围内具有线性的“离子流－压强”特性。     

一种10~5～10~(-7) Pa现场真空计校准装置的设计

针对现场真空校准需求,设计出校准范围为10~5～10~(-7) Pa的现场真空计校准装置。装置集成了比较和标准流导两种校准方法,采用模块化设计减小了装置的体积和重量;通过触摸屏或计算机实现自动化数据采集及操作控制,装置能够自动出具并上传校准证书;校准室通过特殊工艺处理及双极串联抽气机组抽气,设计的极限真空度为10~(-8 )Pa量级;采用流导法和定容法设计出10~(-2)～10~(-10) Pa·m~3/s的复合型标准气体流量计,解决了宽量程标准流量的提供问题。本现场真空校准装置设计的校准范围为10~5～10~(-7) Pa,外形尺寸不超过500 mm×500 mm×600 mm,主体重量小于50 kg,具有校准范围宽、便携、自动化程度高等优点。     

用油封机械泵获得10~(-5)帕压强

1.引言通常认为,加常规吸附阱的双级油封机械泵,在理想条件下能获得低于10~(-3)帕的极限压强。这类泵常用作扩散泵、涡轮分子泵和离子泵的前级抽气和粗抽。这里所说的极限压强是指在吸附阱前方测得的总压强。