组合式熔凝石英微透镜阵列—线列YBa2Cu3O7—δ高温超导薄膜红？…

采用准分子激光扫描消融法淀积ＹＢａ２Ｃｕ３Ｏ７－δ高温超导薄膜,利用常规光刻工艺制备线列高温超导薄膜器件,采用离子束刻蚀制备与高温超导薄膜器件匹配的熔凝石英微透镜阵列,测试了微透镜／高温超导薄膜器件所构成的混合结构在１￣５μｍ红外波段的几项重要的光响应特性。     

微透镜阵列用于线列红外探测器的研究

采用离子束刻蚀制备了线列长方形拱面熔凝石英微透镜阵列，用准分子激光扫描消融法淀积了性能均匀而且稳定的ＹＢａ２Ｃｕ３Ｏ７－δ高温超导薄膜，用湿法刻蚀制备了超导薄膜器件，用微透镜阵列与超导薄膜器件耦合构成组合式红外探测器。     

线列混合型石英微透镜/红外探测器阵列的研究

阐述了利用离子束刻蚀技术制作线列长方状拱面石英微透镜阵列的工艺方法，对所制微光学元件的光学性能进行了测试和讨论，所制成的石英微透镜阵列器件在线列ＹＢａ２Ｃｕ３Ｏ７－δ高Ｔｃ超导薄膜红外探测器上得到了应用。实验结果表明，混合型的石英微透镜／红外探测器结构显著改善了线列ＹＢＣＯ高温超导薄膜红外探测器的光响应特性。     

YBa_2Cu_3O_（7－δ）高温超导薄膜线列探测器的研究

采用准分子激光扫描消融法淀积性能均匀的ＹＢａ_２Ｃｕ_３Ｏ_（７－δ）高温超导薄膜，用离子束刻蚀进行器件的图形制备，获得了非均匀性小于１０％的ＹＢａ_２Ｃｕ_３Ｏ_（７－δ）高温超导薄膜８元线列探测器．测试了器件在８～１４μｍ波段的性能及光响应特性，单元探测器为４０×１００μｍ２的微桥结构．器件的平均归一化探测率为１．４４×１０９ｃｍＨｚ１／２ｗ－１，平均噪声等效功率为４．４×１０－１２ＷＨｚ－１／２，Ｄ的非均匀性小于１０％．研究结果表明：该线列探测器具有良好的均匀性，证实了该工艺适用于制备均匀性良好的高温超导薄膜红外探测器阵列．     

由时间飞行光谱技术测量激光制膜过程中出射粒子的飞行速度

激光烧蚀沉积法是近几年迅速发展起来的新型高温超导薄膜以及超导微电子器件制备的一项重要工艺。实验研究表明,采用这种沉积方法能够实现超导薄膜的原位低温外延生长,进而易于获得性能优良的超导膜,其原因除了在制膜过程中靶面上各种元素具有     

Tl,Hg系高温超导薄膜制备研究

介绍了南开大学在实用Tl和Hg系高温超导薄膜方面的研究工作.在Tl系高温超导研究领域, 利用磁控溅射和后退火两步法在LaAlO3,(001)衬底上制备出高质量的TI-1212和TI-2212超导薄膜,超导临界转变温度Tc分别为92 K和106 K;在两步法的基础上,利用两次后退火,得到Tl,Bi-1223超导薄膜,超导临界转变温度Tc可以达到110 K;同时,利用阳离子置换反应技术,在Tl-1212和T1-2212超导薄膜基础上得到Hg-1212超导薄膜,利用Tl-2223超导薄膜作为先驱膜,得到Hg-1223超导薄膜,结果显示,Hg-1212和Hg-1223超导薄膜的临界转变温度Tc可分别高达124 K和132 K.为满足T1系高温超导薄膜的微波应用需求,分别在LaAlO3、蓝宝石、氧化镁(MgO)衬底上制备出2英寸双面Tl-2212超导薄膜,该超导薄膜具有均匀的超导特性,薄膜超导特性优良,为制备高温超导微波无源器件提供了基础.     

高温超导/铁电薄膜可调谐微波器件应用研究简介

高温超导/铁电薄膜可调谐微波器件具有高可调率、低损耗的优势,在未来智能化通信系统中有良好的应用前景。本文简介了可调谐器件的研究意义和高温超导可调谐技术比较,综述了铁电薄膜可调谐器件的研究进展和代表性成果,总结了其中的关键技术问题并给出了建议。     

氧化物高温超导薄膜制备技术的进展

本文较系统地介绍了高温超导薄膜的制备方法与生长机理,讨论了生长工艺与薄膜超导性能之间的关系,并对高温超导薄膜的异质外延、多层膜结构及超晶格制备等一些最新进展作了介绍。     

用激光干涉法诊断准分子激光在YBa_2Cu_3O_(7-δ)靶表面激励的等离子体电子密度

目前氧化物高温超导薄膜的制备已有多种方法,其中准分子激光溅射法是最有前途的方法之一。准分子激光溅射法制备高温超导膜的最大特点就是其保成份性和高效率。由于其保成份性使得制备厚位超导膜成为现     

高温超导薄膜的激光制备技术及其展望

本文评述了激光溅射方法制备高温超导薄膜的特点和优势,探讨了溅射和成膜过程的基本机理,展望了激光技术在高温超导薄膜的低温制备、显微制版等超导微电子工艺中的广阔应用前景。     

微透镜和高Tc超导红外探测器组件

本文首次报道了利用微透镜阵列来提高ＹＢＣＯ高Ｔｃ超导薄膜红外探测器的光响应特性，介绍了利用光刻／离子束刻蚀的方法制作单片线列石英微透阵列的工艺以及制备线列ＹＢＣＯ高Ｔｃ超导薄膜红外探测器的方法，并将所制的石英微透镜阵列应用于ＹＢＣＯ超导器件。     

星载高温超导滤波器研制

设计、制作并测试了一种采用新颖耦合双谐振器结构的高温超导微波带通滤波器。该滤波器利用高温超导薄膜的Q值远高于常规导体的特点,使器件具有小型化和性能高的特点。分析了耦合双谐振器的耦合系数与相关物理参量之间的关系;并对实际制备的滤波器进行了测试,取得了预期效果。以上研究结果,对于实现卫星通信系统中电子设备的小型化、降低成本和加速小型化卫星通信系统的发展都起到了非常重要的作用。     

利用激光制备高温超导薄膜和超导单晶的研究进展

本文综述了近年来利用激光制备高温超导薄膜和超导单晶材料的研究进展。主要介绍了脉冲激光淀积高温超导薄膜和激光加热基座生长高温超导晶体的基本原理、工艺特点和最新进展。最后展望了该技术的应用前景和发展方向。     

大面积双面高温超导薄膜研究进展

大面积双面YBa2Cu3O7-δ高温超导薄膜具有优异的微波电学性能,在高端微波器件与电路中有着重要的应用。本文主要结合我们的工作介绍国内外大面积双面超导薄膜的研究工作进展,并着重结合器件应用要求进行相关讨论。     

聚3,4-乙撑二氧噻吩(PEDOT)-氧化石墨烯复合电极在有机发光二极管中的应用

通过将氧化石墨烯(Graphene Oxide,GO)与十二烷基苯磺酸钠(Sodium Dodecyl Benzene Sulfonate,SDBS)作为填料混入聚3,4-乙撑二氧噻吩∶聚苯乙烯磺酸(PEDOT∶PSS)溶液中制备了高透光率和低方块电阻的透明导电薄膜.当氧化石墨烯与PEDOT∶PSS质量比为0.02％时,薄膜获得了最佳的导电率,电阻为85 Ω/口,在550 nm的光波长下透光率为87％.采用不同掺杂比例的薄膜作为电极制备了有机发光二极管(OLED)器件,相比于常用的ITO电极,复合薄膜作为阳极更有利于空穴的注入和传输,所制备的器件能够得到更优的性能.这些结果表明PEDOT∶PSS和氧化石墨烯复合电极有望取代柔性OLED器件中的ITO阳极.     

YBa_2Cu_3O_（7─δ）超导光电探测器件的研究

本文针对超导光电探测器件中测辐射热和光致非平衡两种机理进行了理论分析，给出了器件响应率的计算方法，实验测量了ＹＢａ２Ｃｕ３Ｏ７－δ晶状膜和外延膜光电器件的探测特性，并将实验测量结果与所提出的理论模型进行了比较，制备出性能指标较高的ＹＢａ２Ｃｕ３Ｏ７－δ高温超导薄膜光电探测器件。     

YBa2Cu3O7—δ超导光电探测器件的研究

本文针对超导光电探测器件中测辐射热和光致非平衡两种机理进行了理论分析，给出了器件响应率的计算方法。实验测量了ＹＢａ２Ｃｕ３Ｏ７－δ晶状膜和外延膜光电器件的探测特性，并将实验测量结果与所提出的理论模型进行了比较，制备出性能指标较高的ＹＢａ２Ｃｕ３Ｏ７－δ高温超导薄膜光电探测器件。     

电子科大“国字号”实验室走出民生“小产品”

正电子科技大学电子薄膜与集成器件国家重点实验室于2006年7月经科技部批准建设,2008年10月通过科技部验收并正式开放运行,现任实验室学术委员会主任为雷清泉院士,实验室主任为李言荣院士,陈星弼院士为实验室学术带头人。学校拥有国家"千人计划"入选者5人,长江学者特聘教授6人等。近五年,科研成果获国家级奖励7项,省部级一等奖6项,获授权发明专利462件。2012年在科技部组织的国家重点实验室评估中被评为优秀类实验室。近期,在国内超导体研究领域,来自电子科技大学电子薄膜与集成器件国家重点实验室的发明,引发了业界不小震动——由中国工程院院士李言荣主持的双面高温超导带材研发,实现了高温超导双面带材研制。这种带材在合金基带的两面同时制备     

77K超导红外探测器在北京国际高温超导会议上参展

昆明物理研究所1989年8月用本所研制的Y-Ba-Cu-O高温超导薄膜试制的两支在77K使用的超导红外探测器,在1989年9月5日—8日的北京国际高温超导会议上展出。自1987年高温超导材料出现以来,在我国,77K超导红外探测器是继77K Squid之后出现的又一个初期开发应用器件。器件的核心元件——微桥或蛇形芯片安装在带KRS-5窗口     

溶胶-凝胶法在平面光波导薄膜制备中的应用

溶胶-凝胶技术作为一种湿化学法具有工艺温度低、化学均匀性好、易实现材料的掺杂等独特的优点,平面光波导薄膜是制备其他各种波导和集成光学器件的基础。近年来,采用溶胶-凝胶技术制备平面光波导薄膜已成为研究热点。该文综述了溶胶-凝胶法在制备平面光波导薄膜中的应用及其发展趋势。