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基于MEMS技术的微电容式加速度传感器的设计 总被引:2,自引:0,他引:2
给出了一种基于MEMS技术制作的微电容式加速度传感器的结构及工艺。为了准确地把握这种微电容式加速度传感器的力学和电学特性,仔细地建立了它的力学模型。在此基础上,详细分析了它的动态特性———模态。并用有限元的方法分析和计算了微电容式加速度传感器的加速度与电容信号的非线性输入输出关系,并结合实测参数验证了模型的有效性。最后提出了一种详细的有效的基于MEMS技术的微电容式加速度传感器的结构以及加工工艺流程。基于MEMS技术制作的微电容式加速度传感器具有结构简单、工作可靠和工作范围大的特点。根据这套方法,可以比较方便地设计并加工不同测量要求的加速度计。 相似文献
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Rao K. Srinivasa Samyuktha W. Vardhan D. Vazad Naidu B. Girish Kumar P. Ashok Sravani K. Girija Guha Koushik 《Microsystem Technologies》2020,26(8):2371-2379
Microsystem Technologies - This paper presents the design and simulation of a MEMS based clamped capacitive pressure sensor for blood pressure measurement. Normally, Blood pressure for human beings... 相似文献
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Haixia Yu Dachao Li Robert C. Roberts Kexin Xu Norman C. Tien 《Microsystem Technologies》2013,19(7):989-994
Transdermal extraction of interstitial fluid (ISF) offers an attractive method for non-invasive blood glucose monitoring. In order to calculate blood glucose concentration accurately, precise volume measurement of transdermally extracted ISF is required due to human skin’s varying permeability. In this paper, we presented a novel flow sensor fabricated from polydimethylsiloxane (PDMS), designed to measure the volume of conductive liquid. The flow sensor consists of two pairs of metal electrodes, which are fabricated in the PDMS channel. The volume of liquid is measured utilizing the time-of-flight of the two electrode pairs’ resistance while the liquid is flowing through the flow sensor. 1–14 μL normal saline solution was measured, the flow sensor measured volumes correlate very well (R 2 = 0.9996 and R 2 = 0.9975 for vacuum pump and syringe pump situations respectively) with the actual volumes. And the coefficient of variation for 10 times 10 μL normal saline solution measurement is 0.0077 (vacuum pump) and 0.0381 (syringe pump), respectively. The demonstrated flow sensor provides excellent functionality for conductive liquid. 相似文献
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高gn值加速度传感器在侵彻武器等领域受到广泛应用,对量程、灵敏度、固有频率等指标也提出了更高的要求。设计了一种MEMS高gn值加速度传感器,在传统梁—岛结构加速度传感器的基础上进行了改进,采用主微梁互补结构在提高固有频率、量程的同时,提高了灵敏度。在梁的末端提出了新式的延伸梁结构设计,大大减小了集中应力的现象,提高了结构的抗过载能力。利用ANSYS有限元分析软件,对该加速度传感器进行了静态、模态和瞬态分析。经仿真验证,该MEMS高gn值加速度传感器的各项指标均满足要求,具有明显的优越性。 相似文献
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使用MEMS技术研制出一种高灵敏度热温差式流量传感器。器件采用热隔离性能良好的衬底挖空结构,且热敏电阻器与热源距离可调,保证了系统的灵敏度和响应速度。同时热敏电阻器、加热电阻器与电桥电阻器集成在传感器片内,提高了系统的稳定性。实验表明:合适的电阻器间距可以获得较高的灵敏度,而在0~20 mL/min的量程范围内系统线性度较好,因此,在生化检测、医疗等领域具有良好的推广前景。 相似文献
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提出一种基于MEMS技术的电容式传感器,结合ARM Cortex-M3嵌入式处理器搭建电容式水汽测量系统的测控系统,以实现大气环境中的高精度湿度测量。为提高测量精度和分辨率,利用24 bitΣ-Δ数模转换器测量露点和温度。通过PID控制算法对半导体制冷器进行控制,使贴有MEMS露点传感器和温度传感器的制冷器冷端表面温度降低。当MEMS露点传感器表面温度低于露点时,其表面会产生露珠,引起MEMS电容增大。MEMS露点传感器电容值可以通过24 bitΣ-Δ电容数字转换器测量。通过Goff-Gratch方程和露点湿度转换关系,可计算出到大气湿度。测量结果表明,该系统的露点测量精度可达约±0.2℃。 相似文献
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Rao K. Srinivasa Sateesh J. Guha Koushik Baishnab K. L. Ashok P. Sravani K. Girija 《Microsystem Technologies》2020,26(10):3153-3159
Microsystem Technologies - This paper presents the design and simulation of piezoelectric micro pump integrated with micro needle. The proposed micro pump adopted rectangular piezoelectric vibrator... 相似文献
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基于托马斯(Thomas)流量计原理,研制了热膜式流量传感器芯片.该敏感元件采用MEMS工艺,制作出了3 μm厚度的带固支边的敏感膜结构,在膜上设计有一只加热电阻器和一组微型热敏电阻器.通过工艺研究,解决了膜上Pt电阻与基底的热匹配问题,并将该芯片应用于汽车进气流量传感器研制中.测试结果表明:使用该芯片流量传感器的测量准确度为1%FS,满足发动机系统使用要求. 相似文献