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本文详细介绍了日本近几掉来一般真空获得设备，无油真空系统和真空应用设备的最近进展，并指出由于日本半导体和ＬＣＤ产业的迅速发展带动了日本整个的真空工业，使日本的真空产品出现了更新换代的局面。 相似文献
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空间行波管广泛应用于通信卫星、雷达卫星和定位导航等领域,极高真空的获得与维持是空间行波管高可靠性和长寿命的关键,因此研究极高真空烘烤排气系统具有重要意义。极高真空的获得需要在专用真空排气设备上进行,真空排气工艺是微波真空电子器件制造工艺中最重要的一种技术。极高真空的获得和维持涉及多种技术,包含材料的选择、真空室的设计、真空泵的选择、极高真空的获得和测量、真空除气、高灵敏度真空检漏技术和残余气体分析技术等。本文介绍了空间行波管极高真空系统工艺设备研制过程及其在科研生产中的应用。该真空系统实现了空载真空度优于1×10-9Pa,多路带载真空度优于5×10-9Pa,对超高真空、极高真空的获得和真空排气设备制造工艺及应用等具有一定的参考价值。 相似文献
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永磁传动技术可实现"零泄漏"的绝对密封,利于这一特点,可广泛应用在真空设备中以获得高洁净度、高真空度的作业环境。本文首先阐述了永磁传动原理,针对永磁驱动技术在真空设备动密封的应用,综述了关键技术的研究现状,介绍磁力驱动技术在真空获得设备、真空工程技术、真空机器人领域的应用,最后就真空磁力驱动动密封技术今后的研究与发展方向进行了探讨。 相似文献
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由东北大学王晓冬、巴德纯、张世伟、张以忱编著,杨乃恒教授主审的《真空技术》一书于2006年9月由冶金工业出版社出版发行。《真空技术》共60万字,分15章,系统地介绍了真空技术的基础理论、真空获得设备、真空测量仪表、检漏技术、真空 相似文献
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介绍了我国新近研制成功的一台特大型空间环境试验设备的超高真空获得技术。该设备在3200m 相似文献
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最近比较详细的看了一下第八届国际真空会议论文集有关真空获得的文章,在这里概括的谈一下真空获得设备的发展动态。同时兼读一点国内真空获得设备的发展情况和个人的一些粗浅看法。 回顾一下第六届、第七届国际真空会议的情况,当时真空获得的文章发表的很少,给人一停止不前的感觉。而这次会议一反往常发表了许多有关真空获得方面的文章。这说明真空技术又有了新的发展,真空获得设备又出现了新动态,给人以复苏的印象。究其原因不外乎两点,第一在表面科学、真空镀膜、超大规模集成电路等真空技术应用方面有了长足的发展,要求有关的各种真空泵… 相似文献
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由东北大学王晓冬、巴德纯、张世伟、张以忱编著,杨乃恒教授主审的《真空技术》一书于2006年9月由冶金工业出版社出版发行。《真空技术》共60万字,分15章,系统地介绍了真空技术的基础理论、真空获得设备、真空测量仪表、检漏技术、真空系统设计,包括:稀薄气体分子运动理论、气体的吸附和脱附、真空中的电现象、真空中气体在管道中的流动、容积式真空 相似文献
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由东北大学王晓冬、巴德纯、张世伟、张以忱编著,杨乃恒教授主审的《真空技术》一书于2006年9月由冶金工业出版社出版发行。《真空技术》共60万字,分15章,系统地介绍了真空技术的基础理论、真空获得设备、真空测量仪表、检漏技术、真空系统设计,包括:稀薄气体分子运动理论、气体的吸附和脱附、真空中的电现象、真空中气体在管道中的流动、容积式真空 相似文献
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由东北大学王晓冬、巴德纯、张世伟、张以忱编著,杨乃恒教授主审的《真空技术》一书于2006年9月由冶金工业出版社出版发行。《真空技术》共60万字,分15章,系统地介绍了真空技术的基础理论、真空获得设备、真空测量仪表、检漏技术、真空系统设计,包括:稀薄气体分子运动理论、气体的吸附和脱附、真空中的电现象、真空中气体在管道中的流动、 相似文献
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高真空直排大气干泵的最新进展 总被引：2，自引：1，他引：1
为了降低半导体设备中的真空系统的成本、实现高真空获得设备的清洁化、简单化和微型化,人们一直在寻求能达到高真空并且直排大气的干式真空泵。近几年,国外已经出现了仅用一台泵就可以实现从高真空到大气的全部抽气过程的高真空直排大气干泵,并实现了商业化,已经应用于实际生产中。本文以其中具有代表性的英国BOC Edwards公司的EPX干泵和德国Pfeiffer Vacuum公司的OnTool干泵为例,简单介绍了其原理、结构、性能,为国内从事真空应用和干泵研发人员提供参考。 相似文献
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正东北大学王晓冬、巴德纯、张世伟、张以忱编著,杨乃恒主审的《真空技术》一书,2006年9月由冶金工业出版社出版以来,经2009年9月重新印刷后,2011年9月又对书中的图表和文字作了调整,第三次印刷发行。《真空技术》一书共分15章,73万字,系统介绍了真空技术的基础理论、真空获得设备、真空测量仪器、真空检漏技术、真空系统设计等内容。 相似文献
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地光实业股份有限公司真空获得设备高级工程师荣道发退休后研究了几项专利，其中的双级油封式机械真空泵、构思独特、效果诱发，现根据专利说明书摘要介绍如后。 相似文献
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介绍了德国工业设备管理公司的空间环模设备。着重介绍了热真空模拟试验及其设备的结构与性能。还介绍了热真空模拟试验设备的残气分析。 相似文献
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随着炼钢技术的飞速发展,真空脱气处理技术成为减少钢中气体和非金属杂质的有效措施,其关键在于如何获得真空.本文以某厂利用蒸汽喷射泵的钢水炉外真空处理为例,介绍了真空系统的设备组成,阐述了真空泵的抽气理论,利用边试验边改进的方法来优化蒸汽喷射泵的抽气性能.最后,给出了钢水的真空脱气处理工艺及其效果. 相似文献