SD70x：MEMS陀螺仪系列

SensorDynamics推出了四款采用微型QFN40封装的新型微电子机械系统（MEMS）陀螺仪：SD705／SD706／SD707／SD708。这些传感器具有较低的撞击和振动交叉敏感性的特点,凭借良好的抗噪性能,不管短时间还是长时间运行都可提供稳定的速率信号。这使得这些传感器非常适用于移动卫星跟踪或模型直升机偏航控制等高难度测量和控制应用。此外,这些传感器具有持续工作自我诊断功能,无需中断测量数据采集。     

意法半导体MEMS芯片出货量破20亿大关

意法半导体（ST）日前宣布,该公司MEMS传感器出货量现已突破20亿大关,其第一大消费电子和便携设备MEMS（微机电系统）芯片供应商的地位得到进一步加强。在MEMS传感器出货量破10亿大关后仅15个月,意法半导体MEMS传感器出货量再次突破20亿大关,这一具有里程碑意义的事件表明,意法半导体的MEMS传感器出货量正快速增长,突现了意法半导体在这个充满活力的市场取得的巨大成功。     

用于先进移动装置的MEMS传感器

本文将论述MEMS传感器在先进移动应用中的作用,例如,移动扩增实境（MAR）、定位服务（LBS）和利用航位推算法确定方位的MEMS传感器与GPS接收器整合解决方案。MEMS传感器包括加速度计（ACC）、陀螺仪（GYRO）、磁力计（MAG）、压力传感器（PS）和麦克风（MIC）。因为低成本,小尺寸,低功耗,高性能,     

ADI发布3轴运动检测微机电系统技术

日前，美国模拟器件公司（ADI）发布了3轴运动检测微机电系统（MEMS）技术。该3轴iMEMS（集成MEMS）Motion Signal Processing技术能将包含薄的、鲁棒性运动传感器和先进的信号调理电路的非常小的低功耗3轴（XYZ）加速度计集成在一颗低功耗芯片上。带有2轴和3轴MEMS运动传感器的移动电话和其它便携式设备都能对位置、方向和运动做出智能地响应。     

压力传感器2014年将成为头号MEMS器件

据IHSiSuppli公司的MEMS与传感器研究报告,由于价格相对较高,以及在汽车、医疗与工业等领域的应用范围不断扩大,压力传感器到2014年将成为销售额最高的微机电系统（MEMS）器件。     

美国风险企业VAS正在开发5轴运动传感器

美国Virtus Advanced SensorS（VAS）公司透露,该公司正在开发5轴运动传感器。 VAS表示,该传感器用1枚芯片实现了3轴加速度传感器与2轴角速度传感器（陀螺仪）的功能。该项技术将应用于由MEMS技术生产出的重锤上,此重锤将用于运动检测。     

意法半导体率先采用硅通孔技术，实现尺寸更小且更智能的MEMS芯片

意法半导体公司（STMicroelectronics,简称ST）日前宣布率先将硅通孔技术（TSV）引入MEMS芯片量产。在意法半导体的多种MEMS产品（如智能传感器、多轴惯性模块）内,硅通孔技术以垂直短线方式取代传统的芯片互连线方法,在尺寸更小的产品内实现更高的集成度和性能。     

飞思卡尔建成200mm MEMS生产线

飞思卡尔半导体建成先进的微机电系统（MEMS）200mm（8inch）生产线,用于满足不断增长的传感器市场需求。这套新生产线是在飞思卡尔设在德克萨斯州奥斯汀的Oak Hill Fab建成的,是对公司在日本仙台现有150mm（6inch）MEMS生产线的补充。     

军用MEMS技术研究的最新进展

本文讨论了美国陆军航空兵和导弹部队司令部（AMCOM）正在开发研究的微机电系统（MEMS）技术的最新进展。近年来，工业用低成本、低功率微型器件（从简单的温度计、压力传感器到内胎加速度计）目前技术的成熟水平已为开发研究军民两用MEMS器件奠定了坚实基础。AMCOM早期从事的MEMS技术开发着重于惯性MEMS传感器，但最近启动了一项新的陆军（联合）科学和技术目标（STO）研究项目，目的是研究开发具有中等角频率传感器分辨率且低成本的惯性组件，用于测量导弹姿态的偏航角和旋转滚动速率。这项举措极大地影响了美国国防先进研究计划署（DARPA）和其他政府部门，使其致力于研究开发坚固耐用的实验性惯性MEMS器件。在过去的2年中，AMCOM的MEMS研究范围不断地扩大，包括了用于导弹正常状况监测的环境MEMS传感器、射频MEMS器件、用于光束方向控制的光学MEMS器件以及用于光电子器件微型化的微光学“光具座”等多个项目。此外，MEMS封装和集成也成为人们关注的焦点。本文有选择地描述了这些领域中正在进行的研究项目，并给出某些军用MEMS传感器的技术要求。     

车用MEMS景气复苏Bosch和Denso领先群雄

在全球汽车市场逐渐复苏的情况下,今年车用MEMS传感器的市场规模预估将有明显成长,而全球排名前面的车用MEMS传感器供应大厂包括博世（Bosch Sensortec）、Denso、飞思卡尔（Freescale）、Sensata Technologies、ADI、Panasonic等,在压力传感器和陀螺仪等车用MEMS应用上,也有越来越不错的成长前景。     

MEMS磁场传感器的研究进展

磁场检测在工农业生产和人们日常生活中非常普遍。随着微电子机械（MEMS）的发展，用MEMS技术研制磁场传感器正获得越来越多的研究。基于MEMS磁场传感器的原理，对各类磁场传感器做了简要介绍，评述了各种MEMS磁场传感器的加工工艺及工作原理，并对MEMS磁场传感器的发展进行了展望。     

IMT助力完善中国MEMS产业链

来自美国的专业微机电系统（MEMS）制造商Innovative Micro Technology,Inc.（以下简称IMT）日前宣布,公司已与总部位于中国无锡市的中国物联网研究发展中心（CIT-China）签署了谅解备忘录（MOU）。两家机构达成了建立长期战略合作伙伴关系的意向,这将对双方的业务拓展以及MEMS传感器产业链的资源整合产生积极而重大的意义。     

ADXL001：基于MEMS的振动传感器

ADXL001：基于MEMS的振动传感器ADI推出一款宽带宽的MEMS振动传感器ADXL001,可以更好的监控工厂设备性能,缩短因不可预测的系统故障造成的高成本宕机时间。ADXL001工业振动与冲击传感器基于ADI公司的iMEMS Motion Signal Processing（运动信号处理）技术,使工业过程控制仪器设计人员采用简单的传感器解决方案就可实现高性价比、高性能且可靠的宽带振动监控。     

MEMS微机电感测技术擅场时代

自从20年前由ADI（亚德诺半导体）做成业界第一颗MEMS（微机电系统）XL传感器单芯片起,有近十年的时间MEMS传感器几乎都是以汽车的安全气囊应用为主力,以及航天飞行应用上。最近十年,随着MEMS厂商在技术发展上屡见突破,让业界发展出基于MEMS技术的各式产品。MEMS传感器在可携式领域自2007年起逐年呈强劲的成长。应用范围扩及摇控器、PDN、MP3播放器、数字相机、游戏机控制器、笔电、手机到电子书阅读器。尤其是在2000年后,任天堂Wii游戏机大胆采用ADI（亚德诺）和ST（意法半导体）两家的MEMS动作传感器,随即风靡全球消费市场。未来智能型传感器将朝向功能更加强大、尺寸更小型及更低功耗目标迈进,显示MEMS产业的竞技门坎将越来越高,但也越让我们期待新技术的来临。     

全球微机电系统市场新轨迹

大多数业界观察家预测,MEMS（微机电系统）的销售在今后5年内将会迅速增长,年均增长率达20～30％。一些已有的MEMS产品,如气囊加速度表、汽车发动机管道内绝对压力传感器、血压传感器和热喷墨印字头等则将适度增长,以成熟产品（加压力传感器）为基础的重大新应用开拓尚未出现。只是加以改进,以拓宽应用范围。今后两年内可能会进入市场的几种新产品才有可能获得迅速发展,销售猛增。MEMS在技术上可分为六大类：惯性测量、微流控技术、光学MEMS、压力测量、射频（RF）MEMS和其他技术。当前MEMS市场占主导地位的是压力传感器、…     

意法半导体（ST）率先采用硅通孔技术，实现尺寸更小且更智能的MEMS芯片

2011年10月18日,横跨多重电子应用领域、全球第一大消费电子和便携设备MEMS（微机电系统）传感器供应商意法半导体（ST）率先将硅通孔技术（TSV）引人MEMS芯片量产。在意法半导体的多片MEMS产品（如智能传感器、多轴惯性模块）内,硅通孔技术以垂直短线方式取代传统的芯片互连线方法,在尺寸更小的产品内实现更高的集成度和性能。     

ADI超低功耗MEMS加速度计大幅提升电池寿命

高性能信号处理解决方案供应商Analog Devices（ADI）公司最近推出一款低功耗MEMS加速度计ADXL362。ADXL362是一款3轴数字MEMS加速度计，在运动检测唤醒模式下功耗仅为300nA。ADI公司宣称，该器件与最接近的竞争传感器相比，相同模式下的功耗低60％。     

单刀、六位RF开关达到四频段GSM手机要求

美国模拟器件公司（ADI）采用iMEMS技术推出了公司首个3轴加速度计产品——ADXL330。该款产品将MEMS传感器结构与信号调理电路集成在一起，功耗电流降低至200μA（20V电源电压条件下）。     

多元化市场战略服务中国市场,传感器组合打造智能世界

在MEMS产品领域,意法半导体（ST）公司一直保持着领先优势,仅去年一年该部分产品就为公司创造了10亿美金的业务收入。在2014年第一季度,公司模拟、MEMS和传感器事业部（AMS）的收入占到了公司总收入的17%。但显然,意法半导体并不满足于停留在如今的收入水平上,随着在中国市场的不断深入发展,公司在大中华与南亚地区的收入占全球收入的比例从2012年的16%迅速上升到了2013年的21%。     

中国首款自主研发的传感器芯片诞生

据报道．上海一家由海归人员创立的、研发微机电系统（MEMS）陀螺仪的芯片企业——深迪半导体公司最近宣布．中国第一款具有自主知识产权的商用MEMS陀螺仪——“动芯”诞生,这是国内第一个手机传感器芯片．将改变我国手机MEMS陀螺仪完全从国外进口的历史。而且．该公司有望于2010年进行融资、量产．并于2012年登陆国内创业板市场。