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本文介绍了降低聚合物介电常数的方法,原理.对有机和杂化聚合物在低介电常数材料方面的应用作了分类介绍.对各类聚合物列举了合成实例,并简要介绍了聚合物的介电常数和热性能. 相似文献
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低介电常数聚合物材料的研究进展 总被引:1,自引:0,他引:1
综述了低介电常数(low-k)材料研究的基本情况,以及可用于微电子领域的低介电常数聚合物材料,包括材料的化学结构和基本物理性质。并着重介绍了带有纳米孔的超低介电常数材料的研究进展。同时,对低介电常数材料的制备工艺也进行了简要的总结。 相似文献
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铝电解电容器用高介电常数复合氧化膜的制备 总被引:2,自引:0,他引:2
用水解沉积-阳极氧化法制备高介电常数的Al-Ti复合氧化膜,通过XPS分析Al-Ti复合氧化膜的成分及各元素的相对含量.监测铝电极箔恒电流阳极氧化过程中的升压曲线,对复合氧化膜的介电常数进行理论计算,并测试铝电解电容器的容量及耐久性.结果表明:铝电极箔在含钛无机盐溶液中的最佳处理时间为10min,处理后的铝电极箔阳极氧化速率高于纯铝电极箔,Al-Ti复合氧化膜中的高介电常数相为TiO2.对16V/1000μF规格的铝电解电容器,形成Al-Ti复合氧化膜的样品,容量提高率为23%,且耐久性良好,复合氧化膜介电常数的理论计算值与实验结果较为一致. 相似文献
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随着半导体技术的飞速发展,作为硅基集成电路核心器件的MOSFET的特征尺寸正以摩尔定律的速度缩小.然而,当传统栅介质层SiO2的厚度减小到原子尺寸时,由于量子隧穿效应的影响,SiO2将失去介电性能,致使器件无法正常工作.因此,必须寻找新的高介电常数材料来替代它.目前,高介电常数材料是微电子行业最热门的研究课题之一.主要介绍了栅介质层厚度减小所带来的问题(即研究高介电常数材料的必要性)、新型栅电介质材料的性能要求,并简要介绍和评述了近期主要高介电常数栅介质材料的研究状况及其应用前景. 相似文献
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为了顺应轻量化和微型电子设备的发展趋势,开发具有高能量存储密度的介电材料在科学界和工业界具有重要意义。近年来,高介电性能的复合材料因在电子电气工程领域中的广泛应用而备受关注。介电材料是能量存储设备的关键组件,具有重要的应用前景。总结了近年来介电复合材料的研究进展,并重点分析了陶瓷、金属粒子和碳材料对复合材料的介电常数和损耗因子的影响。同时,从填料的种类、形貌和结构特征及界面性能等方面分析了填料对复合材料的介电性能影响。最后对介电复合材料目前存在的一些问题进行总结,并对介电复合材料的应用进行了展望。 相似文献
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超高介电常数钛酸钡/乙炔黑复相材料的制备研究 总被引:4,自引:0,他引:4
研究了乙炔黑/钛酸钡复合材料的烧结条件和介电性能,利用XRD、SEM和介电性能测试仪对材料的物相结构、微观形貌和介电性能进行了观察测定。分析结果表明,这种材料在空气中烧结时,其乙炔黑极易氧化挥发,难以形成钛酸钡/乙炔黑复相体系,但在烧结过程中,乙炔黑的分解挥发会在一定程度上增加液相的出现,促进陶瓷的烧结;在氮气保护下,乙炔黑可以完好地分布于钛酸钡陶瓷体中,获得结构致密的钛酸钡/乙炔黑复相陶瓷.较好的烧结温度范围为1200-1250℃,在渗流阈值附近,钛酸钡/乙炔黑复相材料介电常数值大大提高,当乙炔黑含量在0.8-2.0wt%范围内时,其介电常数达到35000以上,比纯钛酸钡提高约12倍,介电损耗可以控制在0.2-0.7之间,具有一定的使用价值。 相似文献
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随着微电子工业的迅速发展,对层间绝缘材料提出了更高的要求。聚酰亚胺因其良好的热稳定性和较低的介电常数被广泛应用于大规模集成电路的层间绝缘材料。本文主要对低介电常数聚酰亚胺基复合材料的制备方法进行了综述,着重介绍了笼型倍半硅氧烷(POSS)、多孔SiO_2、蒙脱石、多金属氧酸盐(POMs)、石墨烯衍生物的引入在降低聚酰亚胺介电常数方面的应用,并对低介电常数聚酰亚胺的发展前景进行了展望。 相似文献
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以BaTiO3、CYD128型环氧树脂、丁腈橡胶和4,4-二氨基二苯基砜为原料,采用共混法制备了具有高介电常数和低介电损耗性能的BaTiO3/环氧复合材料.实验结果表明,环氧树脂中添加BaTiO3后,介电常数从4提高到25,介电损耗从0.4%提高到0.7%.丁腈橡胶的加入使复合材料的介电常数进一步提高到41,介电损耗提高到1.7%,体积电阻率降低到1×1011Ω,击穿强度保持在8kV/mm.Lichtenecker模型计算表明,环氧树脂中BaTiO3的有效介电常数为343,丁腈橡胶为138. 相似文献
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