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目前在集成电路基底用硅片制造中,切割工序采用磨粒悬浊液的多线锯切正在成为主流。但是,多线锯切存在切割性能受悬浊液供应状态的影响、加工效率低下、加工精度不佳等问题。因此,为了提高作为下一代切割加工法而引人注目的金刚石电沉积线锯的效率和使用寿命,研究开发出芯线为绞合线的金刚石线锯,并介绍该线锯的制作方法及其切割性能。 相似文献
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在硬脆材料切割工程中,金刚石线锯引人注目。目前,市场上销售的金刚石线锯大多使用粒径Ф20-40μm的金刚石磨粒,线锯直径为Ф250~300μm左右。本研究的目的则是开发金刚石细线锯,目标放在减少加工时的切割余量。具体说来,线锯芯线采用由两根Ф58μm的琴丝扭绞而成的绞线,在其表面沉积粒径Ф30~40μm的金刚石磨粒,制成直径Ф175μm的金刚石线锯。经一系列试验确定了金刚石细线锯的最佳制作条件,并用该线锯进行了切割加工试验,弄清了其加工性能与加工机理。 相似文献
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目前,石材工业界的切割加工一般使用宽度约10mm的工具。当生产厚度为10mm以下的薄石板时,加工余量竟达原材料的50%以上,材料的利用率非常低。因此,为了提高生产薄石板时的材料利用率,制作了Φ0.74mm(芯线Φ0.50mm)的电镀金刚石线锯,对其切割加工石材的实用性进行了验证。另外,通过解析求出切割加工时的挠曲量和线锯发生的应力,也明确了可使加工时线锯受到的应力达到最小的加工条件。 相似文献
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随着半导体工业的高速发展以及太阳能光电池产业的突起,对单晶以及多晶硅材料的需求不断增加。精密切割工具不仅要满足切割的质量,还要保证现代化生产的高效率。采用传统内圆锯片切割以及游离磨料多线锯切割逐渐显示出各种不足。而采用固着磨料多线锯切割是快速发展起来的一种精密切割技术。该文综述了固着磨料多线锯的锯丝制造方法,总结了固着磨料多线锯加工硬脆材料的锯切工艺,介绍了目前使用较多的多线锯切割机床,并展望了提高固着磨料多线锯锯丝寿命的可能途径。 相似文献
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利用紫外线固化树脂开发树脂结合剂金刚石线锯 总被引:5,自引:0,他引:5
半导体工业的最近技术趋势是使用大直径硅片,以提高硅器件产量,降低制作成本。传统内周刃切断刀用来切断大直径硅锭则会降低其生产率。所以线锯技术引起人们的关注,并在逐渐替代内周刃切割技术。目前广泛采用悬浮磨粒线锯切法,但该法存在工作环境恶劣、生产效率低下等问题。为解决这些问题,已开发出采用树脂结合剂金刚石线锯的固结磨粒线锯切法,但这种线锯由于用作结合剂的热固性树脂的固化时间太长,仍有生产成本过高的问题。因此,这种金刚石线锯尚不能投入实际应用。为解决这一问题,本研究采用可在短时间内固化的紫外线固化树脂作为树脂结合剂线锯的结合剂。一系列试验表明,新开发的线锯制作成本低,机械性能和加工性能均良好。 相似文献
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基于当前抢险救灾工作,消防搜救队伍先进快速装备和工具的匮乏,而严重影响搜救工作进度的现实情况。特介绍几种国内外常用的先进快速的金刚石工具和设备,包括金刚石圆锯片及切割机、金刚石链锯机、金刚石串珠绳锯及绳锯机和轻便金刚石钻机等。 相似文献
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随着我国石材加工业的高速发展,必须发展高档金刚石工具。高档金刚石砂轮和涂附磨具在玻璃、陶瓷、木材加工和汽车制造业的需求量日益增大,而在半导体单晶硅、多晶硅以及其他晶体的加工中,对其性能要求越来越高,市场的潜力巨大。文章简介石材加工用高档激光焊接圆锯片和薄壁钻头以及金刚石串珠绳锯的研制,特别介绍金刚石涂附磨具的研制和应用。此外在电子信息和光电子产业的晶体加工中,高档金刚石工具占据重要的地位,以往未受业界重视,制造难度较大,文章亦提出了见解。 相似文献
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Reynolds Okai 《Holz als Roh- und Werkstoff》2009,67(2):189-195
Productivity, surface quality, and recovery are three parameters that compete for attention during lumber production. The well known phenomenon of improved surface quality with decreasing workpiece feed rate has been reported by several researchers. This paper reports on experimental results from the relationship between workpiece feed rate or bite per tooth and the surface roughness of Japanese Sugi (Cryptomeria japonica) using a bandsaw machine whose feed-carriage is coupled to the bandsaw frame. The volume of sawdust produced during sawing was determined using an electronic balance. Equation was developed to determine the kerf-losses. It was observed that as the workpiece feed rate increased, or as the bite per tooth increased, the saw blade vibration decreased and the volume of sawdust also decreased contrary to expected results. Furthermore it was observed that with increasing workpiece feed rate the surface roughness decreased contrary to expected results. On the other hand, when the carriage feed rate increased the saw blade deviation also increased as expected. The research findings clearly suggest that when there is vibration coupling between the feed-carriage and the entire bandsaw frame, the amplitude of the saw blade vibration and the surface roughness decrease as the bite per tooth increases. Thus the bandsaw machine whose frame is coupled to the feed-carriage is a promising technique for increasing lumber recovery and improving upon surface quality. 相似文献
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