Distributed Feedback Acoustic Surface Wave Oscillator (Letters)

The application of the distributed feedback concept to generate acoustic surface waves is discussed. It is shown that surface corrugation of the piezoelectric boundary in a semiconductor-piezoelectric surface acoustic wave amplifier could lead to self-sustained oscillation.     

Surface Acoustic Wave Properties of Tantalum Pentoxide Thin Films on YX Quartz (Letters)

The properties of a Rayleigh surface wave propagating in tantalum oxide thin films on YX quartz are presented. Dispersion and acoustic wave loss measurements are made using the optical probe technique.     

声表面波马达

给出了超声马达的新进展-声表面波马达.由于其驱动信号是可以由结构简单的叉指电极激发的声表面波,因而克服了一般的超声马达结构复杂,制造困难以及小型化困难等缺点.本文给出了国内外声表面波马达的研究现状,并对其进一步的研究作了探讨.     

声表面波延迟线

声表面波延迟线是在雷达和通信系统中应用非常广泛的器件.文中结合实用声表面波延迟线器件的设计实例,介绍了折叠式固定延迟线结构原理和设计计算,克服了传统延迟线受基片材料长度和器件尺寸的限制,满足了雷达、通信等电子设备中对电信号的长延迟需求;同时还讨论了为满足超高频的应用需求和增加相对带宽,所采用的谐波和倒相换能器的设计方法.     

声表面波速度的计算

石英和铌酸锂晶体具有优良的压电性能,常用来制作声表面波(SAW)器件(如延迟线、滤波器、振荡器、卷积器、声光器件等)的基底.该文推导表面波晶体声学基本方程和表面波力学边界条件方程,使用一种新的计算表面波声速的循环迭代法,分别对石英、铌酸锂2种晶体,在最佳的退耦声弧矢面,即yz平面内,系统计算沿不同方向的声表面波速度,并绘制出倒速度曲线.     

声表面波器件制作中的一种剥离技术

介绍了一种适用于LiTaO3、LiNbO3基片的金属剥离工艺技术。该剥离技术利用碱性溶剂浸泡处理光刻胶,光刻胶顶层形成一层有利于剥离的突出遮蔽层。利用该技术可制作线宽小于0.5μm的SAW芯片。该技术无需额外设备,工艺稳定且成本低。     

S型双声路声表面波质量传感器

报道了在128°Y切割X传播方向的LiNbO3基片上设计并研制的中心频率为122MHz的S型双声路质量传感器,它能有效地克服环境温度的影响。阐述了该传感器的器件结构及设计,并采用延迟线振荡的方式对器件的性能进行测试。测试结果表明,该器件相对温度系数良好,仅约为10Hz/°C。器件的质量沉积效应灵敏度约为3.8GHz·cm2/g。     

声表面波器件(SAWD)在扩频系统中的应用

声表面波器件(SAWD)是一种结合电和声学的器件，具有实时、高可靠、低功耗和低成本等方面的优点。扩频系统中．利用声表面波抽头延迟线作为匹配滤波器可实现多种功能，简化系统解扩解调和同步的实现,设计灵活。     

千兆赫表面横波振荡器

介绍一种用于雷达的小型表面横波振荡器。其重量仅１８ｇ，频率１．０９０ＧＨｚ     

一种改进型声表面波滤波器在接收机中的应用

针对应用于接收机中中心频率为898.144MHz的声表面波滤波器的缺点,提出了一种改进型的滤波器.改进型的声表面波滤波器采用镜像阻抗连接低插损结构,大大改善了幅频特性,提高了选择性和温度稳定性.将其应用到接收机中,经试验验证效果良好.     

基于声表面波聚二甲基硅氧烷薄膜形变研究

提出了一种新的聚二甲基硅氧烷薄膜形变方法。在128°YX-LiNbO3压电基片上光刻叉指换能器,其激发的声表面波在压电基片上亲水表面的阻力共同作用下挤压微槽内水相微流体,使得其上的聚二甲基硅氧烷薄膜发生形变。采用红色染料溶液微流体为实验对象进行聚二甲基硅氧烷薄膜形变实验,结果表明,所提出的方法可有效实现聚二甲基硅氧烷薄膜形变,且与激发声表面波的电信号功率、水相微流体的体积及薄膜厚度有关。在13μL水相微流体,薄膜厚为12.5μm,电信号功率为26.5dBm时,薄膜最小形变距离为280μm。     

声表面波存贮相关卷积器的研制

本文介绍了ＬｉＮｂＯ３抽头延迟线（ＴＤＬ）外接ｐ＾＋ｎ二极管阵列结构的声表面波（ＳＡＷ）存贮相关卷积器。器件的中心频率为３０ＭＨｚ，卷积效率为－５４ｄＢｍ，存贮相关效率为－７６ｄＢｍ，信号存贮时间大于７０ｍｓ。文中讨论了杂波产生的原因及其抑制，以及二极管阵列少子寿命与存贮时间的关系，计算了相关输出与参考信号和读信号的关系，结果表明这种结构的器件是双线性的。文中还对这种结构器件的设计及优化提出了建议     

声表面波陀螺仪研究进展

高精度的惯性导航系统是水下航行器顺利完成水下作业的关键之一,陀螺仪作为一种重要的惯性敏感元件,是构成惯性导航系统的基础核心器件。基于声表面波陀螺效应的新型陀螺仪具有优良的抗振能力、良好的可靠性与稳定性等特点而引起人们的浓厚兴趣,在大冲击等恶劣环境具有良好的应用前景。本文对声表面波陀螺仪的研究进展进行回顾,特别介绍了一种设置金属点阵的陀螺效应增强模式SAW陀螺仪。该结构由在同一压电晶体上反向设置的两个SAW传感器件构成,在其叉指换能器中间分布有金属点阵。结合层状介质中声波传输特性的研究方法对压电晶体及金属点阵参数对传感器响应特性的影响进行建模分析,设计并实验研制了工作频率为30MHz、80MHz及95MHz的SAW陀螺仪。实验结果表明,该结构陀螺仪实现了良好的温度补偿特性,并通过在SAW传播路径上合理设置的金属点阵,大幅提升了传感器的检测灵敏度。      

石英晶体上的声表面波陀螺效应

声表面波(SAW)传感器作为一种新型传感器具有许多突出的优点,其中以测量角速度为目的的SAW陀螺是其潜在应用之一。但目前对SAW陀螺的研究局限于试验研究和简单的理论分析。基于以上研究背景,以附加陀螺效应的各向异性压电介质波动方程为基础,定量分析了X切、Y切、Z切石英的SAW陀螺效应,确定了石英晶体X切(90°,90°,130°)、Y切(0°,90°,45°)、Z切(0°,0°,25°)等敏感切向,为SAW陀螺的进一步研究提供了理论指导。     

声表面波滤波器进化设计

提出了一种全新的设计方法,它以声表面波滤波器中心频率处的插入损耗和旁瓣抑制作为寻优目标,通过选择、交叉和变异等遗传操作,自动生成声表面波滤波器的输入和输出叉指换能器所有指条长度,并给出中心频率处的声表面波滤波器频率响应。与典型的等周期、等指长的声表面波滤波器相比,采用进化方法设计,极大地提高了滤波器频率响应性能,旁瓣抑制得到了改善。所作的研究具有较强的实用价值。     

Design of Optimum Acoustic Surface Wave Delay Lines at Microwave Frequencies (Short Papers)

Optimum procedures for designing microwave acoustic surface wave delay lines are given. Combined beam steering fraction loss curves are provided as a function of the basic material parameter, the slope of the power flow angle, to allow optimum choice of material for a given application. Methods for designing uniform periodic interdigital transducers including finger ohmic loss, lossy tuning elements, and parasitic capacitance have been extended to account for beam steering and diffraction.     

聚二甲基硅氧烷薄膜对声表面波传播特性影响

研究了压电基片上聚二甲基硅氧烷(PDMS)薄膜对声表面波(SAW)传播特性影响。在128°YXLiNbO3压电基片上光刻叉指换能器(IDT),其声传播路径上涂覆PDMS薄膜,IDT激发的SAW加热PDMS薄膜上石蜡油微流体,并测量不同PDMS薄膜厚度时石蜡油微流体的温度,进而计算薄膜对SAW的衰减量。实验结果和理论计算表明,压电基片上涂覆PDMS薄膜将衰减辐射入石蜡油微流体的声表面波强度,衰减幅度随基片上PDMS薄膜厚度的增加而增加。当压电基片上涂覆的PDMS薄膜厚度为100μm和150μm时,薄膜对SAW衰减量分别为23.3%和36.0%。     

声表面波延迟线的优化设计

在现代雷达和通信系统中,声表面波延迟线是应用非常广泛的器件,与此同时,对该器件的技术要求也越发严格,以至于常规的声表面波延迟线很难满足。介绍了4种声表面波延迟线的优化设计方法,克服了传统延迟线受器件尺寸和基片材料长度、相对带宽及多路延迟的限制,满足了雷达、通信等电子设备中对电信号的长延迟需求,为声表面波延迟线设计提供了参考。     

用于声光移频的声表面波谐振器

针对一种喇曼型声表面波声光器件的设计需求,设计制作出一种能够满足喇曼-奈斯衍射要求的、低损耗、高Q值声表面波谐振器。利用耦合模(COM)理论仿真谐振器的性能,建立谐振器的COM模型,求解COM方程,提取出COM参数。利用COM软件仿真设计谐振器的结构参数,设计的谐振器中心频率为78.028MHz,Q值为10 428,插入损耗为-6.153dB。利用微加工技术加工制作出声表面波谐振器,用矢量网络分析仪对其性能进行测试,得到谐振器实际中心频率为78.34MHz,插入损耗为-11.273dB,Q值为6 465.7,该谐振器能够满足喇曼型声表面波声光器件的应用需求。