多晶硅生产回收氢气中杂质来源及控制措施

介绍了多晶硅生产回收H₂中杂质的主要来源。针对难以去除的杂质,通过采用降低冷凝温度、优化HCl解析操作、采用特殊吸附剂并强化吸附效果等方法进行了去除,对提高回收氢气纯度,从而提高多晶硅产品质量具有重要意义。     

多晶硅中杂质含量、分布及其检测方法的探讨

多晶硅中杂质的组成及含量是衡量多晶硅产品质量的重要指标之一,由于其杂质组成复杂、含量低于常规检测方法检出限,这就使对多晶硅中杂质含量、分布及检测方法的研究具有重要意义。概述了目前用于检测分析多晶硅中杂质含量、分布的方法及其优缺点;总结了近年来国内外在多晶硅杂质检测方法研究中的进展以及多晶硅中杂质的含量和分布数据,为多晶硅的检测提供了参考。     

浅析多晶硅杂质引入因素及解决方案

如何进一步降低卤硅烷中杂质含量,使国内多晶硅的质量达到国外电子级水平一直是行业关注的话题。本文首先阐述了改良西门子法生产多晶硅流程中杂质的主要来源,其次概述了近些年国内外关于痕量硼、磷等杂质高效去除的技术方案,着重探索了络合法、吸附法、部分水解法等杂质去除机理;最后提出了电子级多晶硅国产化进程中应侧重的提纯技术研究方向。     

ICP-MS测定多晶硅基体中金属杂质的不确定度评定

建立ICP-MS测定多晶硅基体中金属杂质Cr、Fe、Ni、Cu、Zn含量的不确定度评定法是多晶硅分析检测行业所迫切需求的。从样品称量、样品溶液的体积变化、仪器测量标准曲线和样品溶液中各杂质元素的浓度、以及整个试验过程中测量重复性引入的不确定度进行分析评定,依次得出分量标准不确定度,以分量标准不确定度计算出合成标准不确定度,并应用A类不确定度评定法计算出测量结果的扩展不确定度,并得出检测结果的置信区间。     

多晶硅碳含量对产品质量的影响及处理工艺

多晶硅一般采取改良西门子法技术方法生产,其产品质量对电子器件使用性能以及转换电池效率造成影响。为了解决生产多晶硅过程中含碳量较高等问题,本文分析、探索了碳的主要来源、影响因素及控制方法。     

多晶硅碳含量对产品质量的影响及处理工艺

针对改良西门子法多晶硅生产过程中碳含量过高导致产品质量下降的问题,以多晶硅还原小试炉为反应装置,通过控制进入小试炉内三氯氢硅中含碳有机物的含量和氢气中的甲烷含量,考察原料组分及组成对产品质量的影响。采用傅里叶红外光谱仪、气质联用色谱和气相色谱对产品和氯硅烷中的含碳量进行检测。结果表明,进入小试炉内氢气中的CH4含量对产品碳含量影响较大,氯硅烷中有机碳含量影响较低,且基本保持在同一水平。通过对实验数据的分析,在实际生产中,对原有工艺进行改进,增加一套除甲烷装置,使进入还原炉内氢气中甲烷的含量保持在5.0×10-5左右。     

β-SiC微粉中杂质碳的去除工艺研究

借助激光粒度仪、综合热分析仪、X射线衍射仪和化学分析手段,研究了无限微热源法合成的β-SiC微粉中杂质碳的粒度组成和氧化特性,以及主成分β-SiC的氧化特性,得到了空气氧化法去除β-SiC微粉中杂质碳的最佳工艺条件为:氧化温度800～900 ℃,氧化持续时间为1 h.     

多晶硅及硅片少子寿命的检测与分析

少数载流子寿命是半导体晶体硅材料的一项重要参数,它对半导体器件的性能、晶体硅太阳能电池的光电转换效率都有重要的影响。本文综述了在多晶硅等级判定与铸锭过程中少子的检测方法,其中包括了国内外检测标准与方法原理,以及在实际检测过程中少子寿命与基体金属的关系。     

浅析电子级多晶硅的清洗工序

电子级多晶硅产品的质量指标之一就是表面金属的杂质含量高低,而我国当下的电子级多晶硅清洗工序还是以酸洗为主导去除表面金属杂质含量,通过不同标准的化学刻蚀控制表面金属杂质含量,以达到产品的标准要求.文章就电子级多晶硅材料的化学清洗工序进行论述,讲述多晶硅的化学清洗工序中所涉及的化学试剂等因素的影响,提供清洗工序经验.     

氢还原后三氯氢硅的杂质控制

为控制还原后三氯氢硅中杂质含量,采用Aspen Plus模拟软件对还原后三氯氢硅提纯塔进行模拟计算,考察了提纯塔的进料量、回流量和采出量对还原后三氯氢硅中硼、磷杂质的影响,并结合实际生产探索还原后三氯氢硅中碳和金属杂质的控制措施。结果表明:降低提纯塔进料量,提高提纯塔回流量和采出量能有效降低还原后三氯氢硅中硼、磷杂质含量。对还原炉钟罩、基盘和备品备件进行合理的维护和选用,能有效控制氢还原后三氯氢硅中碳和金属杂质含量。     

三氯氢硅生产过程的优化

阐述了三氯氢硅主要工艺过程,并针对现有工艺存在的主要问题提出了综合解决方案     

多晶硅生产中硅芯氧化问题探究

改良西门子法生产多晶硅中硅芯是多晶硅生长的载体,硅芯氧化会降低多晶硅产品品质,硅芯氧化的产品对下游铸锭、直拉均有不同程度的影响。目前硅芯氧化是影响多晶硅产品质量的一大问题。分析了硅芯氧化机理,针对相关因素开展了试验,提出了降低硅芯氧化率的措施。     

气相色谱法分析氯乙烯单体中的杂质

介绍了用气相色谱法分析氯乙烯单体中所含杂质的具体操作方法,效果较好。     

Effect of raw materials on the pore morphologies of carbon foams prepared through templating method

The present paper reports about the effects of raw materials, processed through templating method, on the pore microstructures and pore size distribution of carbon foams (CFs). Biomaterials along with polyurethane and phenolic resin were employed to prepare CFs. To further investigate the adjustability of the pore microstructures and pore size distribution, several kinds of chemical additives/fillers, including activated charcoal, NaCl, and silicon, were used. Surface morphological studies were carried out using scanning electron microscope (SEM), and pore size distribution was analysed by high-pressure Hg porosimetry. The results showed that the structures of the precursor played a dominant role in determining the final pore microstructures. Chemical additives/fillers affect the average pore sizes, pore size distributions, and the pore walls. High amount of macropores are found in all the samples with the radius ranging from 2 to 4?μm. It is practical to adjust the pores using different raw materials and chemical additives/fillers.     

海绵钛中Fe,Ni和Cr杂质引入过程分析

采用Kroll法,以TiCl4和液态金属镁制备海绵钛,对海绵钛分部位取样,对高Fe, Ni和Cr含量样品进行MLA检测,计算Ti?Mg?Fe, Ti?Mg?Ni和Ti?Mg?Cr三元系的混合焓,研究海绵钛中Fe, Ni和Cr杂质的来源及引入过程。结果表明,海绵钛中Fe, Ni和Cr杂质主要来自钢制(1Cr18Ni9Ti)反应容器,其引入经历了在液态金属镁中溶解和与海绵钛合金化两步。当海绵钛于反应器壁处生成后,其与以单质形式溶于液态金属镁中的Fe, Ni和Cr原子结合将杂质富集。采取反应容器镀膜处理、控制反应区温度、使用低杂质含量的液态金属镁、将海绵钛坨底部与边部分离等措施可有效降低海绵钛中杂质含量。     

多晶硅无定型硅粉形成原因及控制

改良西门子法多晶硅生产过程中,若还原过程控制不当,会产生影响产品品质及系统运行的无定型硅粉。通过对还原过程温度控制、物料配比、二氯二氢硅含量、炉筒水温、尾气管结硅及换热情况等多方面因素研究,分析了无定型硅粉形成原因,提出了相关控制措施。     

原料中杂质对丙烯与苯烷基化催化剂性能的影响

分析了原料中杂质对催化剂活性和稳定性的影响及脱除杂质的方法。不同来源的丙烯所含杂质不同 ,炼厂丙烯杂质主要是氮化物和双烯 ,而裂解丙烯杂质主要是双烯 ;苯的主要杂质是饱和烷烃和微量水 ,这些杂质对催化剂活性和稳定性都有影响。实验结果表明 ,杂质含量越高 ,催化剂的活性和稳定性越低 ,而采用强酸性阳离子交换树脂可以脱除丙烯中的杂质。     

多晶硅生产装置碳钢管道的清洗

介绍多晶硅生产装置碳钢管道的酸洗、脱脂和钝化等,分析管道及管件在清洗过程中所遇到现场保护的问题,并提出了改进措施.     

Use of nonconventional raw materials in ceramic production

This paper reports possibilities for use of nonconventional natural and synthetic raw materials in ceramic bodies and glazes.

Reactivity during the process of heating can be considered as a modern criterion for ceramic raw materials. A review of several types of alkali-containing rocks is made, which are more fusible than the common fluxes. The greater fluxing power of these raw materials compared to the traditional types provides for a higher rate of body sintering. As a result of this intensified process, a higher structural density and better mechanical strength of the bodies are achieved with shortened firing cycles. The introduction of more active fluxes reduces firing costs and allows economy of high quality traditional fluxing raw materials in the production of some tablewares, sanitary wares and faience tiles.

In combination with more reactive silicon-containing raw materials, the influence of the fluxes on sintering increases. This combined beneficial effect is experimentally confirmed in glaze frit melting and in the firing of glaze coatings. Investigations on these processes are discussed.

As a nonconventional raw material in the modern ceramic production, wollastonite can be considered. Since natural deposits of this valuable material are rarely found the use of synthetic wollastine is discussed. Obtaining an anorthite reaction phase in the ceramic bodies provides the formation of a compact and stable structure that permits firing in short and single cycle.     

Use of local raw materials in the production of electroinsulating materials

It is shown that local raw materials can be used for ceramic mixtures and glazes for the production of electroinsulating materials with a breakdown strength of at most 15 kV/mm.Translated from Ogneupory i Tekhnicheskaya Keramika, No. 12, pp. 29 – 30, December, 1996.