电子和半导体行业纯水制备设备分析

电子和半导体行业对纯水水质要求较高,纯水制备过程中需逐级去除各种污染物,最终达到用水要求。文章针对典型种类的污染物,阐述了当前工程中已得到广泛应用的污染物去除设备及典型纯水制备工艺路线,以供相关人员参考。     

高纯水的制取

通常采用电阻率、粒子大小和细菌数目来衡量高纯水的纯度。目前主要以电阻率为标准,它的单位以兆欧·厘米来表示。水在25℃时的最高电阻率为18.3兆欧·厘米。水质的好坏与电阻率的高低成正比。 按电阻率高低,可将纯水分为四类: (1)软化水:硬度为0.1～5°之间; (2)脱盐水:25℃时电阻率为0..1～1兆欧·厘米; (3)纯水:25℃时水的电阻率为1～10兆欧·厘米; (4)高纯水:25℃时水的电阻率为10兆欧·厘米以上。 由于用途不同而对水的质量的要求也不同。如,对于集成电路的生产用水,其要求是:电阻率为18～19兆欧·厘米,粒子尺寸<0.45微米,细菌数为0～10个/毫升。     

基于WICC的纯水PLC控制系统的设计与实现

面对人们生产生活对纯水需求量的日益增加,文章基于WICC对纯水PLC系统提出提高纯水品质和实现智能化管理的设计。PLC系统具有高度的可靠性和抗干扰性,在现场的操作安装上具有一定的优势。用PLC系统能有效地控制纯水生产和循环过程,满足人们生产生活中对水纯度的需求。文章还简要分析了纯水生产系统的工艺流程,并且介绍了纯水生产系统的设计方案和整体运行,最后概述了系统在实际运用中产生的意义。     

浅析液晶工厂回收水的设计与应用

在液晶面板制造工艺过程中蚀刻、显影及清洗这三项工序需要耗费大量的水。以清洗为代表是TFT生产过程中非常重要的一道生产环节,围绕玻璃面板进行。在所有的清洗过程中,高纯水的用量最多,其他还包括使用碱性表面活性剂等清洗剂。为有效降低制造纯水用原水的消耗,降低水处理系统运行成本,提高水的综合利用效率,进而降低单位液晶产品制造成本。就液晶工厂回收水的设计和应用进行简单介绍和说明。     

显象管制屏高纯水铜污染的监测

制造黑白显象管的高纯水易受铜离子的污染。用受污染的高纯水制管后会造成重大的经济损失,本文在前人工作的基础上,研究出一个微量铜测定的铜、硫氰酸、巯基乙酸三元络合物吸附波一新体系,为监测高纯水是否受铜的污染、了解其污染程度、查找污染源,提供了一个简单、快速、准确的新方法。     

IC工艺用超纯水系统的TOC实验研究

从运行管理角度,以实验方法考察了IC工艺用超纯水制造过程中TOC(总有机碳)的若干问题。通过在线测量一次纯水、二次纯水的TOC含量和相应的数据统计,评估了水平各异的两套超纯水制造系统中各主要装置对TOC的除去效率及其对TOC的影响。     

大规模集成电路工艺用高纯水及其与电路成品率的关系

为了制备大规模集成电路工艺用高纯水,本文描述了我所高纯水制备过程中各部分的水质及控制指标。文章还介绍了用普通的光栅光谱仪、火焰原子吸收分光光度计及万能分光光度计等仪器检测高纯水水质的一系列方法。为了明确高纯水中Na含量对电路成品率的影响,文章给出了在工艺基本稳定的情况下Na含量与电路相对成品率的统计曲线和讨论。     

采用热纯水漂洗消除时间雾缺陷

清洗工艺在抛光Si片加工中广泛使用,其纯水槽使用的纯水受区域和季节变化的影响,温度最大波动可以达到10℃以上。阐述了这种波动对清洗后Si片表面化学残留物浓度造成的影响,当冬季水温出现下降,Si片表面化学残留浓度上升,导致时间雾的出现。提出使用热纯水漂洗技术,通过纯水加热器对最终清洗机纯水溢流槽纯水进行加热,使纯水温度保持在稳定水平,在生产中可有效地消除时间雾缺陷并且将Si片表面化学残留浓度控制在良好的水平。     

纯水应用中五种脱气装置的比较

在纯水制造过程中,以前常常使用鼓风脱气和真空脱气装置,近年来,膜脱气工艺发展非常迅猛,在高纯水领域已经开始有了广泛应用,同时也有不少纯水工艺采用了树脂催化法除氧。本文分别对五种不同的脱气装置作了介绍和对比。     

复合反渗透膜(TFC)的劣化、失效与复苏

前言 随着高技术的发展,对高纯水提出了越来越严格的要求。近几年来引进的高纯水系统日趋增加。特别是对反渗透的引进,而反渗透膜多为TFC复合膜。由于TFC膜有高的脱盐率、脱硅率和脱TOC(总有机碳)率,加之流量大、耐热性能和机械性能好等原因,在国际、国内广泛得到应用。 一、TFC膜的结构与性质 TFC膜的结构为:     

Application of model of mixture of probabilistic distributions for definition of the signals of radiophysical probing

The article describes a model representation of radar probing data in form of a mixture of background and target samples, which is the sum of two random variables with very different parameters. For model development we research the behavior of the central moments of the distribution mix without assuming the distribution law form. An example it is described the detection of the signal at the output of compression system of chirp ionosonde.     

浅析IP网服务质量(QoS)

解决IP网QoS问题是目前通信领域的研究热点之一.虽然研究已经取得了一定的进展,但人们对于IP 网QoS本身的含义及相关的问题还有着不同的理解.本文将从IP网QoS的定义入手讨论相关的一些问题以及解决IP网QoS问题所做的各种努力.     

部分偏振光的表示方法

随着光纤通信和光纤传感的快速发展,人们时光的偏振态提出了越来越高的要求.光是一种横波,其偏振态大致分为:完全偏振光、部分偏振光和自然光.文中介绍了完全偏振光的几种表示方法,给出了几种部分偏振光的描述方法.并阐述了它们之间的差异与联系.     

Interpretation of responses of visual cells of limulus

Assuming that visual responses are due to the action of particles on the membrane of the visual cells, the stochastic variability of the response should be a function of the number of particles producing it. Quantitative predictions can be made with the aid of a model proposed in previous articles. It is found that responses produced in visual cells of Limulus by absorption of a single photon have the stochastic properties which would be expected if the response to one photon were brought about by 25 particles. It is concluded from this that the processes leading to visual responses produce multiplication of particles. The effects of temperature and of metabolic poisons suggest that these processes are of chemical nature.     

NTRUsign式计算量分析

介绍了NTRUsign签名算法的密钥生成过程,其在实现的过程中需要进行上百位的大数运算问题,这些数字远远超出了普通电脑存贮范围。而要进行大数运算,就得用数组存贮,进行模拟运算,这就大大增加了运算量。文中分析了这个算法实现过程中的运算量,分析结果说明NTRUsign的运算量过大,以致实际并非一个实用算法。     

电子行业标准制修订项目计划管理信息化的实现

论述了推进电子行业标准制修订项目计划管理信息化的必要性.并提出了具体措施;详细介绍了电子行业标准制修订项目计划管理数据库的设计思路和实现方法.阐述了对后续工作的几点思考.     

影响镀镍层内应力的因素及排除方法

对影响镍镀层内应力的因素做了介绍和分析,提出了对收缩应力的一种解释,提供了排除这些因素影响的方法,指出重视镀液的管理是减少各种影响内应力因素的主要办法。     

Definition of function of squares amount of angular part of film element

By means of exact conformal mapping method we have defined character of dependence of squares amounts of angular part of film element on angled part dimension. We propose relations, approximating obtained dependence. Calculation results and experimental researches of large-scale models are represented.     

Temperature dependence of index of refraction of polymericwaveguides

The temperature dependence of refractive index of polymer films was determined for a number of slab waveguides by a grating coupling method. This dependence was examined as a function of parameters such as molecular weight and glass transition temperature of the polymer. Temperature-induced changes in N_TE-N_TM , N being the effective index, were studied systematically for different slab waveguide compositions. It is shown that with proper device design and choice of polymeric materials, thermal effects can be reduced     

Differential method of analysis of luminescence spectra of semiconductors

A method for analyzing the luminescence spectra of semiconductors is suggested. The method is based on differentiation of the spectra. The potentialities of the method are demonstrated for luminescence in the region of the fundamental absorption edge of Si and SiGe alloy single crystals. The method is superior in accuracy to previously known luminescence methods of determining the band gap of indirect-gap semiconductors and practically insensitive to different conditions of outputting radiation from the sample.