超精密双面抛光机结构的优化设计

针对传统双面抛光机存在的问题,从实现超精密抛光的设备条件出发,对机床传动系统、主轴支撑结构、上抛光盘加载系统、抛光盘修整、床身等进行优化改进设计.提高了超精密双面抛光机床的精度和系统性能,为晶片获得纳米级加工精度的超光滑加工表面创造了有利条件.     

基于DSP的超精密抛光机模糊控制系统设计

介绍了超精密抛光机的工作原理及其控制要求，通过控制规则可调整的模糊控制技术解决控制系统非线性与保证控制精度的方法，并应用DSP实现控制系统。     

纳米级超精密平面抛光机工件微量去除的控制方法

研制了一种采用专家数据库智能控制系统的纳米级超精密平面抛光机，对几种功能陶瓷进行了平面抛光实验，并分析了修整环型抛光机抛光过程中工件材料的去除函数，即材料总去除量与抛光盘转数(抛光路径长度)之间的关系。     

修正环型纳米级超精密抛光机智能控制系统的实现

针对现阶段抛光加工存在精度低、产品质量一致性差、成品率及生产效率低等问题，提出了一种适于高精度、高效率抛光加工的智能控制系统，并在修正环型纳米级超精密抛光机中得到实现。     

MS-6BC型精密双面抛光机的研制

光电子信息产业的快速发展,要求蓝宝石、单晶硅等材料高效率、超光滑表面加工,精密双面抛光加工是得到这些材料超光滑表面的主要加工方法之一.本文介绍了新研制的MS-6BC型精密双面抛光机,介绍了其结构及其特点,并论述了双面抛光加工的主要工艺因素和过程.最后通过试验验证了MS-6BC型精密双面抛光机具有加工精度高,控制性能好的特点,适用于蓝宝石、单晶硅等人工晶片的超精密加工.     

智能型纳米级抛光机的控制系统

介绍了智能型纳米级抛光机的智能控制系统，对其实现方法进行了研究，分析了智能控制系统的组成。提出并建立了基于专家控制系统的解决方案。采用Windows CE软件平台，图形化界面功能指示。以及采用高可靠性的实时操作系统、超级数模混合RISC嵌入式处理器、高精度光栅传感器、无级调速、无刷直流电动机驱动等技术，实现对抛光机的智能控制。     

非球面超精密抛光技术研究现状

非球面应用范围的拓展以及应用精度要求的不断提高对非球面元件的尺寸精度与表面质量提出了更高要求;作为终加工手段,非球面超精密抛光技术也越来越受到世界各国的重视。掌握非球面超精密抛光过程中的材料去除机理以及由此导致的亚表面损伤等特性对提高非球面抛光的精度与效率十分重要。对非球面抛光技术的发展进行回顾,并根据非球面超精密抛光技术的发展脉络,阐述当前主要非球面超精密抛光技术的加工原理及加工实例,随后从亚表面损伤、边缘效应等方面对几种非球面超精密抛光技术进行比较,并以提高抛光精度与效率为目标,对非球面超精密抛光技术的发展趋势进行预测。     

超精密研磨和抛光专家系统的研究

针对超精密研磨和抛光加工过程中出现的问题,设计出指导研磨和抛光加工过程的专家系统.该系统不仅能根据待加工材料的名称、性能以及加工后所达到的精度要求等输入参量,运用已有的工艺数据库自动给出加工工艺的参数,而且具有较强的状态监控能力,能自动控制研磨和抛光加工的过程.     

超精密研磨机床

本文简要介绍了超精密研磨的工艺原理及其所要求的超精密研磨机床结构上的特点，包括高精度的主轴，精密的研磨间隙微调机构和对金刚石切削的特殊要求等，为实现超高精度的研磨提供设计思路。文中给出了一台曾研磨出接近世界领先水平超精密平面的研磨机的简要结构，为这类机床的设计提供参考。     

双面抛光机气动加载的建模与仿真

双面抛光机广泛用于硅片、蓝宝石、陶瓷、磁性材料、电子器材的表面超光滑无损伤的平整加工。气动加载系统是双面抛光机实现精密抛光非常关键的部分。抛光压力加载精度的高低直接决定了抛光机性能的好坏。本文利用法国AMESim软件对气动加载系统进行建模,通过仿真得出了一组最佳PID参数,满足了系统要求,并使系统性能得到提高。     

基于模糊神经融合的超精密机床振动主动控制

提出基于模糊神经融合的自适应模糊分散控制系统,以对超精密机床进行振动主动控制,该控制系统在自适应模糊逻辑的基础上融合了学习过程模糊调整,因而同时具有模糊逻辑和神经网络的优点,实验结果表明,该控制系统能有效地隔离来自基础的低频振动,改善了超精密机床的加工精度和表面粗糙度。     

基于PLC和变频器的罗拉布轮抛光机电气控制

介绍了罗拉布轮抛光机的结构、工作原理以及运用PLC和变频器作为电气控制器件的调试过程,解决了传统继电器控制电路调试难、改变系统运行过程时线路更改工作量大、不容易操作的问题,整机运行稳定、可靠、故障少,使用效果良好。     

超精密机床的振动混合控制

研究了空气弹簧与作动吕相结合的主被动混合振动控制系统,空气弹簧起低通滤波作用,并支承机机床,主动隔振具有高能滤波特性,电磁作动器的控制电压取决于绝对位移、速度、加速度和相对位移、速度、加速度。电磁作动器的动态性能对振动传递率有明显的影响。实验表明,混合隔振系统对超精密机床的隔振效果明显优于空气弹簧系统。     

核聚变堆用钨表面超精密抛光的研究现状与趋势

钨作为未来核聚变堆中最有前景的面向等离子体材料,在反应堆工况下将承受高能粒子的辐照冲击。表面质量的好坏会直接影响材料的氢/氦滞留行为和辐照损伤程度,进而影响聚变堆的安全性和可靠性。现阶段,针对钨的抗辐照改性研究主要着眼于材料的成分、结构和组织设计,关于机械加工对材料表面抗辐照改性的研究甚少。文章聚焦前沿科学问题,从机械加工角度分析核材料领域科学问题,结合国内外相关研究成果及核聚变堆用钨(PFM-W)的机械加工现状,阐述了PFM-W表面超精密抛光的必要性。通过对比不同抛光方法,提出了磁流变抛光和力流变抛光是较为适合PFM-W表面超精密加工的观点,并对未来PFM-W表面超精密抛光研究趋势进行了分析,重点在抛光方法的探索以及抛光后材料表面质量对抗辐照性能影响的研究。     

圆盘式抛光机的自动控制设计

为实现金属制品中卫浴产品的不规则曲面的快速有效抛光,设计了一种圆盘式自动抛光机。通过记录合格工件时所设定的参数,设定抛光布轮的转速、研磨液喷射频率以及圆盘转动的速度等实现对不规则表面的抛光,其程序的设计通过PLC编程实现,由伺服驱动器控制伺服电机来执行。抛光后成品的整体纹路能达到后续电镀工艺的要求。     

数控抛光机控制系统的设计及实现

采用了PC＋HUSTH9C运动控制器组成的开放式体系结构作为数控抛光机控制系统,主要用于平极电脑、智能手机平面类等零部件的抛光。根据系统功能要求,完成了硬件系统和软件系统的设讨及实现,包括硬件遗型、硬件连接以及PLC程序设计、人机画面的设计与实现。实践证明,该数控抛光机任生产过程中探作砉便、效率高、性能稳定。     

全自动抛光机电气控制系统设计

阐述一种全自动不锈钢杯型件抛光机的电气控制系统设计。采用面向对象的设计思想,利用PLC和监控组态软件对全自动抛光机电气控制系统进行设计与实现,为低成本高效率实现抛光机的电气控制系统提出了新方案,也为抛光机研发人员提供一种新的设计思维。     

机器人柔性抛光机床的研究

为满足机器人柔性抛光系统和抛光工艺要求,在抛光加工过程中,机器人柔性抛光机床的抛光轮轮径检测机构可使抛光轮与工件接触点的位置和线速度始终保持不变,这样抛光轮与工件接触点的线速度以及机器人的抛光路径不会随抛光轮的磨损而改变.该机器人柔性抛光机床还具有抛光力控制功能,可控制抛光轮与工件之间的抛光力保持恒定或小于阈值抛光力.     

超精密装置二维F-PID振动控制系统设计

在模拟啄木鸟头部独特生物构造和隔振机理的基础上，采用主动隔振和被动隔振相结合的技术建立了超精密装置隔振系统结构及动力学模型。结合超精密装置隔振系统的结构特点和性能要求，提出了带有两个修正因子的闭环二维F—PID主动控制系统，即根据输入位移和速度的信号偏差大小分别采用不同的修正因子，并采用Matlab软件进行了仿真分析。仿真分析结果表明，该振动控制系统在0—100Hz频率范围内具有良好的减振效果，可用于超精密测量、制造设备的隔振。