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一、引言在超高真空和极高真空系统中,结构材料的放气,直接影响到真空系统的抽气性能。材料放气,一般来自材料内部气体的扩散释放和材料表面吸附气体的解吸两个方面。一般金属材料,它们内部含有的气体(氢)量要比其表面吸附的气体量小二到三个数量级,但材料内部的气体含量对超高真空系统的影响,却大大超过了其表面吸附气体的影响。在正常情况下,当抽速恒定时,超高真空系统的极限压力,主要是由金属材料内部的气体含量及其表面被吸附的表面相的浓度所决定的。金属材料内部的气体,可在不同程度上,通过真空烘烤 相似文献
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南京工学院六系真空组 《真空》1976,(4)
一、电子管内残余气体压强测量的一般原理 电子管内因真空度不高,会引起一系列问题,例如管子噪声增加、工作电压降低、阴极寿命缩短等等。因此把电子管内残余气体压强测量出来,作为分析管子性能和合理确定管子制造工艺规范有重要意义。 运用普通热阴极电离真空计工作原理和方法,来解决电子管内真空度的测试问题,在一定条件下,对许多管种来说,是切实可行的。本文以19″黑白显象管为例,说明电子管内真空度测量的一般方法。 图1表示了19″黑白显象管电子枪部份的电极的真空计接法的原理图。图中“3”、“4”是热丝。“2”是阴极,发射电子。“1… 相似文献
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本文通过实验分析讨论,得出的结论是:国产彩色显象管在用不锈钢材料中,出现含气量大的材料,即内部含气量比同种类的日本材料多、比日本材料含气量多的气体主要是氢气,其原因是金属材料在冶炼、热轧等热状态加工工艺过程中气体溶解在材料内,因此要采取措施,来控制好氢在材料体内的溶解量,最终减少彩色显象管用国产材料的总含气量,达到日本同类材料的水平,以便满足彩色显象管对其真空性能的要求。 相似文献
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利用差异式离子泵在同轴磁控管上作动态排气,以抽除管子在脉冲老炼或工作时放出的气体。由于同轴磁控管在排气过程中,电子轰击内腔,而难以排除外腔、调谐活塞以及衰减负载等的出气问题。这些部件在老炼或工作时,在高频能量的作用下,将会放出大量的气体,致使管子不能正常工作,甚至真空度下降,以至阴极中毒、打火等,用一附加泵抽除这些气体是 相似文献
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近几年来,国内一些单位,为了提高真空器件的质量,对管内残余气体进行了质谱分析。所用的方法是预先把质谱计管封接在显象管的锥体上,随整管一起排气、烘烤封离等。我们称这种方法为“预制样管法”。而“开管法”可对任何需要分析的管子(寿命过程中、使用过程中等)进行分析。工艺过程是:在管子锥体上先开一个不穿透的小窗,不使锥体玻璃漏气,再于小窗孔之上用环氧树脂粘接有质谱计管和规管的玻璃管道,抽至高 相似文献
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《真空科学与技术学报》2017,(11)
设计了一套用于光阴极直流高压电子枪的极高真空系统。首先对电子枪真空腔室的钛阳极、阴极和高压陶瓷分别进行表面处理及烘烤除气后确定材料表面放气率,然后对真空室压强进行模拟计算并确定配泵方案,最后在现场组装、检漏后对真空系统进行调试。调试过程中为了保证不能被直接加热的内部阴极杆在烘烤时充分除气,使用ANSYS-Fluent软件的S2S辐射模型对烘烤过程进行模拟并确定烘烤温度与时间。经过真空调试,电子枪腔内真空度为5.6×10~(-10)Pa,满足其极高真空设计要求。 相似文献
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一、前言1982年底,某厂生产出一批14吋显象管,经性能测试发现阴极无发射,阴极表面发黑。几百支管子不合格,使生产流水线作业被迫停产。作者用PHI-550型多功能电子能谱仪对显象管中阴极无发射的原因进行了分析。结果表明,阴极无发射的主要原因是硫和碳元素使其中毒所致。另外,还发现涂层不均匀有开裂现象也会引起阴极失效。 相似文献
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陈明业 《真空科学与技术学报》1986,(2)
无油超高真空排气工艺对磁控管性能有很大改善,根据生产实践有以下几点。一、阴极发射特牲的改善采用油扩散泵排气系统,在厘米波段的管子中,由于阴极结构大,所含发射物质的量也大,经过加重规范重新激活之后,一般发射电流能恢复正常。而在毫米波段的管子中(如八毫米脉冲同轴磁控管),由于阴极结构要小得多,所含发射物质的量也少得多,即使经过加 相似文献
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引言 为了获得长寿命,高可靠的电真空器件,近十五年来,对于新型吸气剂的研制和应用,已经越来越引起人们的重视,并且巳经取得了显著的成效。 实际上,吸气剂可以看成是组装在电真空器件内部的化学泵,其主要作用有以下几点: 1、在排气过程中,特别是在排气结束后的老炼过程中,吸收管子内部剩余的和重新释放的气体。 2、在电真空器件储存和工作期间维持一定的真空度。 3、吸收电真空器件启动和反常工作时爆发性的放气。应用于电真空器件的吸气剂,对它的主要要求是: (1)应该具有高的吸气能力和高的吸气速率,并能牢固地保持所吸的气体和蒸汽。 ( 2)… 相似文献
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本书的理论部份(第一章到第九章)由三部份组成,即:气体分子运动论,真空技术中的界面现象和真空中的气体流动。 在气体分子运动论中,从基本假设和麦氏分布函数的运用入手,着重于获得入射频率(即碰壁数)和余弦定律这两个公认为真空技术的基本表达式。输运现象是一种非平衡态过程,在真空技术中三种输运现象十分重要,我们以真空管吸热器和磁悬浮转子规为例分别阐明热传导和内摩擦现象的应用。在界面现象中着重讨论了气-固界面现象,包括气体从固体表面的吸附、脱附,带电粒子和光子与固体表面的彼此作用等等,在这里特别强调了真出气率和净出气率的… 相似文献
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一、表面吸附 1·1固-气界面 空间的气体分子在运动中与固体表面相碰时,分子或是由表面弹性反射;或者是附着在表面上一些时间,然后逸回空间(离去的方向与入射方向无关)。在大多数情况下,碰撞表面的分子都在界面上停留一定的时间。此时间的长短取决于气体分子与表面相互作用的一些因素,如表面的组成、结构和状态以及气体分子的种类及其动能等。在一定的压强下,将有一定数量的分子连续不断地碰在界面上,因在重新逸回空间之前要在固体表面上停留一些时间,则气体在界面上的密度必将高于其在气相中的密度,表现为一部分气体分子附着于固体表面上,… 相似文献
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本文研究了考虑到泵中存在反扩散情况下,真空系统内压强的分布问题。根据这个提出了确定排气参数的建议 目前,参考文献中所有被抽真空系经统内压强临时变化的理论资料,都以推测的泵排气速度与压强无关和准稳定的排气状态为根据[1] 但是,实际上在真空系统内,有效排气速成度是与系统观众的压强有关的。考虑到这个因素,即可较严格地确定实际真空系统内排气的动力学过程。本文阐明了这个过程。这里应当假设实现准稳定状态所必须的条件。吸藏(一种固体吸附气体的现象──译者注)对排气动力学的影响和工作过程中可能出现的容器之恒定放气不… 相似文献
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由龙口市比特有限公司研制生产的强流金属蒸汽真空弧离子注入机 ,于 2 0 0 4年 7月通过了山东省技术监督局的产品质量监督检验。其外观、安全性、束能量、平均耙束、真空度等各项技术指标均符合 Q /L BT- 0 0 1- 2 0 0 4产品标准。金属蒸汽真空弧离子注入 ,是在真空条件下 ,利用 MEVVA离子源 ,通过阴极和阳极间的真空放电 ,使阴极材料表面直接产生高密度等离子体 ,经电极系统引出而得到强流金属离子束 ,并直接作用于被加工材料表面 ,使材料表面改变成分和结构 ,提高材料表面润滑、耐疲劳、耐腐蚀、耐磨损能力和表面光洁度 ,最终提高材料… 相似文献