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相似文献
 共查询到17条相似文献,搜索用时 515 毫秒
1.
七级像差的多极场分析与校正   总被引:5,自引:3,他引:2  
应用多极场理论,研究了超大偏转角情况下的偏转像差,给出了应用十四极场做七级像差校正时的多极场表达式,计算在多种情况下十四极场对七级像差校正的影响,同时还分析了我极场像差校正的方法。  相似文献   

2.
偏转像差中束夹角α的高次项研究   总被引:3,自引:0,他引:3  
通过计算超大偏转角下二极场的偏转像差,对偏转像差中α高次项进行了分析,得出了超大偏转角下α高次项不应忽略的结论。并应用多极场理论,研究了超大偏转角下十四极场对α高次项的校正作用。提出了在超大偏转角下偏转像差的多极场校正方法。  相似文献   

3.
通过超大偏转角下二极场的偏转像差,对偏转像差中α高次项进行了分析,得出了超大偏转角下α高次项不应忽略的结论。并应用多极场理论,研究了超大偏转角下十四极场对α高次项的校下作用。提出了在超大偏角下偏转像差的多极场校正方法。  相似文献   

4.
从多极场像差校正理论出发,根据六极场对三级偏转像差的影响,提出了基于Trilermma常数调整的偏转像差校正方法,这种方法使偏转像差的校正更方便、更直观,同时可以应用于大偏转角偏转像差的校正。  相似文献   

5.
从多极场像差校正理论出发,根据六极场对三级偏转像差的影响,提出了基于Trilemma常数调整的偏转像差校正方法,这种方法使偏转像差的校正更方便,更直观,同时可以应用于大偏转角偏转像差的校正。  相似文献   

6.
提出了可以应用于矩形偏转系统的近似多极场模型,并给出了应用该模型进行偏转系统优化设计的方法,计算比较了旋转对称多极场模型和矩形近似多极场模型的磁场分布,应用近似多极场模型对矩形偏转系统的偏转像差进行了优化计算,得到了较好的像差校正效果。  相似文献   

7.
提出了可以应用于矩形偏转系统的近似多极场模型,并给出了应用该模型进行偏转系统优化设计的方法,计算比较了旋转对称多极场模型和矩形近似多极场模型的磁场分布,应用近似多极场模型对矩形偏转系统的偏转像差进行了优化计算,得到了较好的像差校正效果。  相似文献   

8.
推导了用六级场参数表示的七级像差公式 ,分析了六级场参数和屏上边、角处会聚图形间的关系 ,并对其在设计和生产中的应用方法进行了探讨  相似文献   

9.
对不同张角的一组偏转线圈的HZ分量对偏转像差的影响进行了计算分析。结果表明,在应用偏转磁场的解析式进行偏转像差分析时,偏转磁场的HZ含量是必须考虑的,这个分量对偏转像差和Trilemma常数,偏转像差的校正和优化场分布产生十分大的影响。  相似文献   

10.
七级像差的场参数公式及在设计中的应用方法分析   总被引:1,自引:1,他引:0  
推导了用六级场参数表示的七级像公式,分析了六级场参数和屏上边,角处会聚图形间的关系,并在其在设计和生产中的应用方法进行了探讨。  相似文献   

11.
对不同张角的一组偏转线圈的H_z分量对偏转像差的影响进行了计算分析。结果表明,在应用偏转磁场的解析式进行偏转像差分析时,偏转磁场的H_z分量是必须考虑的,这个分量对偏转像差和Trilemma常数、偏转像差的校正和优化场分布产生十分大的影响。  相似文献   

12.
刘珠明  顾文琪 《光电工程》2004,31(12):12-16
电子束曝光机的偏转系统控制电子束偏转扫描。像差低、偏转灵敏度高、扫描速度快是它的基本要求。对各种偏转器、偏转方式进行分析、比较,从偏转器空间场的数值计算方法、偏转系统的优化、像差校正、偏转器制作工艺、电气参数等方面阐述设计过程和工程实现上一些值得注意的问题。综合考虑偏转器和偏放电路的设计可以得到最优性能的系统。  相似文献   

13.
推导出了用多极场空间谐波函数表示的磁矢位的通项表达式。研究了两种典型的偏转线圈单元———鞍型线圈和环型线圈的空间偏转磁场分布函数。利用计算机代数符号推导系统 ,得到了其高次空间谐波函数 (多极场旁轴展开函数 )的解析表达式 ,为电子光学有关磁偏转系统的理论研究工作提供了有效的解析计算模型  相似文献   

14.
应用多极场理论对彩色显像管中偏转散焦进行了分析 ,结果表明 ,多极场展开式中的四极场分量是影响偏转散焦的主要因素 ,对三束的分析应分别考虑电子束在偏转场中的位置。对实际偏转系统的分析还应考虑高次谐波的影响  相似文献   

15.
在组合法计算彩色显像管偏转系统的基础上,对25英寸700线彩色显像管所用偏转线圈进行了优化设计。选取荧光屏光栅结点上的像差作为优化目标函数,选取线圈调制极上绕线密度的傅里叶展开系数作为优化参数,采用分步阻尼法优化设计出了25英寸700线彩色显像管用偏转线圈。根据实际的实验条件,绕制了25英寸700线彩色显像管用垂直偏转线圈,并与已有的25英寸同类彩色显像管所用偏转线圈进行了比较和分析。  相似文献   

16.
提出了电子光学偏转像差的李代数理论 ,将这种新型数学工具的应用领域从带电粒子束的聚焦传输系统推广到扫描偏转系统。推导出了磁偏转系统的高斯光学性质及全部三级正则像差 (包括在任意观察平面的正则位置像差和正则动量像差 ) ,所导出的结果与传统的逐次近似像差理论相同 ,为将李代数方法用于扫描探针系统的高阶像差的分析计算奠定了理论基础  相似文献   

17.
基于微扰理论的静电电子透镜的缺陷电场计算   总被引:1,自引:0,他引:1  
研究了用于计算电子光学系统的缺陷电场和容差的微扰理论。基于微抗原理,推导了计算静电电子透镜由于电极偏心、倾斜和加工不圆造成的电场变化及其旁轴多极场展开函数的九点有限差分公式,编制了计算软件。建立了两个电场解析模型,通过该模型的解析解与数值计算结果的对比,证实了算法及软件的正确性,并据此讨论了微扰理论用于容差计算的适用范围。计算了几个静电电子透镜的例子,给出了不同电极缺陷的电位分布和微扰多极场分布。  相似文献   

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