表面微机械加工中分离微机械结构的新方法

在自由式微结构如束、振动膜和过载传感器的制造过程中，经常遇到的一个难题是分离开粘连在衬底上的微结构。这种同象出现在牺牲腐蚀工艺完成后晶片干燥期间。另外，牺牲层的腐蚀通常是器件制作的最后一步，故这类芯片中的ＣＭＯＳ电路必须采取保护措施。     

推动科技进步的动力之一——表面微机械技术

表面微机械加工是一种使机械部件微型化的工艺。传感器和致动器都是利用改进的集成电路制造技术来完成的。第一个表面微机械器件是谐振栅晶体管，大约在３０年以前就发表了。该晶体管的栅极采用了自由活动的金属悬梁，多晶硅表面微机械加工在十几年前就有报道，此后出现了许多传感器件的原型，并在最近制造出了第一只商品化的传感器。致动器，这种能向周围环境输出功率的表面微机械加工部件，已变得更加令人难以捉摸。在宏观事物中，一些无关紧要的现象在亚微米尺寸下变成了决定性的因素，如允许蚊子在水面上散步的表面张力，就是一个典型的例子。这些现象影响了正常的摩擦和损耗，尽管这些摩擦和损耗在宏观机械中是可以控制的，但当考虑微型机械部件时，就必须重新分析了，尽管存在这些难题，我们最终还是实现了基于表面微机械技术的微致动     

微机械及其特性

从机械工程的扩展领域着手研究并制作和测试了许多微机械样机，弄清了微机械的部分特性和研究课题，并就这些方面进行概述。     

多孔硅的形成及其在表面微机械技术中的应用

介绍了多孔硅的基本特性及其形成的选择性，最后介绍了多孔硅在表面微机械技术中的应用。     

微机械惯性仪表的原理结构与制造技术

介绍了微机械惯性仪表在世界各国的进展，阐述了它们所采用的结构方案、电路原理以及制造工艺，比较了各种主要制造技术的优缺点，提出了在我国开展这一领域研究有实用前途的技术途径。     

微机械惯性仪表的原理结构与制造技术

介绍了微机械惯性仪表（包括微机械陀螺仪、微机械加速度计及微惯性测量组合）在世界各国的进展，阐述了它们所采用的结构方案、电路原理以及制造工艺，比较了各种主要制造技术的优缺点，提出了在我国开展这一领域研究有实用前途的技术途径     

欧洲的微机械技术

欧共体制定了自1994年至1998年有关微机械的研究开发计划.其目的是加强欧洲产业的竞争力.预计对信息技术、产业技术、环境技术、生命科学、能源、运输系统以及特定的社会经济研究投资约1兆7000亿日元.计划是根据汽车、医疗、工艺监控三个方面的主要应用领域的技术需要制定的.微系统是实现未来汽车净化、安全的关键技术,在医疗方向,需要便携式智能诊断外科治疗装置.本文介绍微机械的单元技术、微系统的实例.     

将表面分析技术推向微区分析

上个月份,我们给出了一些如何运用表面分析技术解决生产过程中遇到的问题的方法。但如果需要分析的材料是集中在一小块区域上的,有些规律则不适用。现在,我们将详细论述各种技术的操作和各种分析仪器的结构,读者可以自己选择最适合您要解决的问题的方法。     

微机械技术与市场共同发展

对目前到2005年的微机电系统的技术和市场发展做了初步的预测,详细讨论了可能的市场领域及其对微机械技术发展的意义,认为2005年后,国产微机械产品将具备相当的市场规模。     

微机械构件的表面去粘着技术

由于尺寸的减小和需要产生弹性形变,微机械构件的表面力(表面张力、粘着力)成为影响系统性能的关键因素。本文介绍了造成微构件表面粘着的因素,从材料、工艺和设计等方面综述了减弱或去除微机械构件表面粘着力的七种技术,并对相关工作进行了总结和展望。     

表面微机械加工推动社会前进

微电子机械系统（ＭＥＭＳ）是当今热门的研究课题，其整个制造工艺范畴十分引人注目。本文将简要介绍由多晶硅表面微机械加工制造的微型执行元件，如微型马达、微型发动机的开发应用，揭示了未来的广阔前景     

化学技术在微机械传感器发展中的应用

微机械传感器除运用在微电子制造技术外,大量应用化学腐蚀,特种高分子落膜材料,电镀和电化学工艺等化学领域的技术,形成了很多独特的微机械加工技术,这些技术的运用解决了很多关键性技术问题,极大地推进了微机械传器技术的发展,本文从体微机械加工,表面微机械加工和LIGA技术三方面论述化学在近来新型传感器发展中的技术突破和成果。     

微机械单元技术的动向

本文从加工、组装、传感器、测量、执行元件等方面，叙述微机械单元技术的动向。     

光学超构表面的微纳加工技术研究进展

超构表面由二维平面内精心排布的亚波长单元组成,为设计超紧凑型光学元件提供了新的范式,在微型化光学系统方面显示出了极大的潜力。在不到十年时间里,超构表面由于具有超轻、超薄且能够操纵光波的各种参量以实现多功能集成的优势在多学科领域引起了广泛的关注。然而,在光学波段,高自由度、非周期、排列密集的超构单元对其加工制备提出了很多极端的参数要求,如极小尺度、极高精度、高深宽比、难加工材料、跨尺度等,这使得超构表面从实验室走向实际应用面临极大的挑战。文中总结了近些年用于超构表面各类微纳加工方法的各类方法的原理、特点和最新进展,包括小面积直写方法、大面积模板转移方法以及一些新兴的加工方法。最后,针对超构表面在加工方面的目前的挑战和未来的发展趋势进行了总结和展望。     

美国设计改进型表面微机械平面热电堆列阵

美国喷气推进实验室最近设计了一种新型表面微机械加工平面型热电堆列阵,这种拟被用作热成像探测器的平面型二维热电堆列阵将用一种包括微机械加工的工艺制备,其性能将优于以前的二维热电堆列阵。     

微机械电子学的现状

本文先介绍了微机械电子学的概况,接着介绍了几种典型的微型机械、制作技术和微型机械用材料,最后探讨了微机械电子学的研制现状和应用。