硅基微型系统的应用

简单综述了微机械技术的先进性，该技术包括表面和本体硅微机械、电沉积和键合技术。给出了许多微型系统设计、生产和应用的实例，并对以下微型系统分别进行了详细介绍：①小型化学分析系统；②空间研究用的微型仪器；③小型流体控制系统；④扫描探针系统；⑤静电和超声波微电机；⑥微型光－机械系统。     

微型光电子机械可使光子系统发生革命

微型光学的进展已导致大量和批量处理衍射、折射微光学元件的发展，并产生可望使许多光子系统革命的新兴技术。这是一种对普通光学不易解决的应用的起动性技术。与微光学元件技术相似，微型光电子机械（MEM）为机械系统的尺寸微型化提供了强有力段，这是用普通机械加工法所无法达到的。美国和其它国家的许多公司正开始对开发这种技术倾注了巨大努力。用微型光电子机械来产生一系列装置将进一步影响微型光电子机械（MOEM）装置的工业应用，并将导致激光扫描器、焦平面列阵、动态微型反射镜、数字电视机和光学交叉条开关之类商品化产品的发…     

MEMS光开关的控制

ME MS（Micro-Electro-Mechanical Systems，微机电系统）是将微型机械、微型执行器、信号处理和控制电路等集于一体的、可批量制作的微型器件或系统。MOEMS则是Micro—Opto—Electro-Mechanical System的缩写。把微光学应用到微机电系统中，这是MEMS在光通信中的重要应用。微光电机械芯片通常是指包含一个以上微机械元件的光系统或光电子系统，其应用将遍及光通信、光显示、数据存储、自适应光学及光学传感器等多个方面。     

微光机电系统技术的研究与应用(上)

２ ０世纪６０年代发展起来的微 电子技术和集成电路（ＩＣ）,已构成人类文明的重要基础。获得巨大成功的微电子技术引入微型机械领域,又引发了一场革命,而１９８７年由华裔留美学生冯龙生等人研制的转子直径为６０μｍ和１００μｍ的硅微型静电电机,显示出利用硅微加工工艺制作微小可动结构并与ＩＣ兼容制造微小系统的潜力,在国际上引起轰动。科幻小说中描述把自己变成小昆虫钻到别人的居室或心脏中去的场景将要成为现实,同时,也标志着微机电系统（ＭｉｃｒｏＥｌｅｃｔｒｏ Ｍｅｃｈａｎｉｃａｌ Ｓｙｓｔｅｍｓ,ＭＥＭＳ）的诞生…     

金属镍微型静电马达的观察

金属镍微型静电马达的观察唐圣明陈思琴王效东（中国科学院上海冶金研究所，上海２０００５０）微电子机械学是近年来国际上新兴的一门学科。它把微电子工业中的许多加工技术引入到微机械零件的制造中，从而批量制造各种微型的机械零件，直至微型机械人。本文所介绍的金属...     

微机电系统技术

一概述微机电系统（ＭｉｃｒｏＥｌｅｃｔｒｏ－Ｍｅ－ｃｈａｎｉｃａｌ　Ｓｙｓｔｅｍｓ,ＭＥＭＳ）是指可批量制作的;集微型机构、微型传感器、微型执行器以及信号处理和控制电路、直至接口、通信和电源等于一体的微型器件或系统。ＭＥＭＳ是随着半导体集成电路微细加工技术和超精密机械加工技术的发展而发展起来的。图工是ＭＥＭＳ的模型框图。ＭＥＭＳ的特点是：１］微型化：ＭＥＭＳ器件体积小、重量轻、耗能低、惯性小、谐振频率高、响应时间短。２］以硅为主要材料,机械电器性能优良：硅的强度、硬度和杨氏模量与铁相当,密度类似…     

微机械电子学的现状

本文先介绍了微机械电子学的概况,接着介绍了几种典型的微型机械、制作技术和微型机械用材料,最后探讨了微机械电子学的研制现状和应用。     

MRI微型RF接收线圈的设计与制作

基于MEMS深刻蚀技术和微电镀工艺，介绍了一种用于核磁共振成像（MRI）系统的微型射频（RF）接收线圈的设计与微加工制作方法，研制出了线圈内径为100μm，线圈厚度200μm，线圈宽度30μm，深宽比大于6，品质因数为4的微型金属螺旋线圈。实验结果表明，该制作工艺可为高深宽比的金属微结构的研制和核磁共振成像系统微型化提供新的方法和支持。     

基于硅结构的微流体控制系统

基于硅结构的微流体控制系统（μFCS）是微机电系统（MEMS）中的一个重要分支 ，可广泛用于生物、医学、化工、电子等领域。主要综述了微流体控制系统中的微流体传感器、微型泵、微型阀的工作结构原理及其国内外研究现状，同时还探讨了集成微流体控制系统的研究现状。     

印制板用微型钻头及微孔钻削进展

尽管激光钻孔在印制板（PCB）钻孔中应用得越来越广,但是利用微型钻头在机械钻机上进行的机械钻孔仍然是最重要的PCB钻孔方式。顺应PCB微孔的发展趋势,微型钻头直径越来越小,新型钻头结构不断出现,微钻头性能不断提高,微钻头涂层技术逐步成熟,微孔钻削的研究不断深入,推动着PCB技术的发展。本文即对微钻头及微孔钻削的进展进行总结,对微钻头和微孔钻削的趋势进行展望。     

微研磨技术

近年来，随着仪器类微型化技术的发展，针对工业和医用领域狭窄的地方作业困难这一问题，研究人员正在研究开发适用的微机械，对此，微机械的微型结构部件研制技术显得非常重要。本文将对微机械部件的加工方法一微研磨技术作以介绍。     

MEMS和微流体分析系统的发展

微机电系统(MEMS)是在微电子及微机械等学科基础上发展起来的新兴多学科交叉研究领域，是当今科学技术最具潜力的发展方向之一，而微型流体分析系统是这一研究领域中的热点。本文综述了MEMS技术以及作为MEMS技术一个重要研究方向的微型流体分析系统的起源及其广阔的市场应用前景．并对MEMS产品的市场化存在的问题进行了讨论。MEMS技术及微型流体分析系统的诞生必将对今后的化学、医学及生物学等领域的研究工作产生重大影响。     

MEMS麦克风带来超清晰录音功能

微机电系统（MEMS）是一种通过以硅为原材料的、将微电子和微机械技术集于一体的微细加工技术，实现各种机械元件、传感器、触动器和电子电路在硅片上的集成。     

MEMS技术对缩小手机体积的贡献

MEMS（Micro Electrome-chanical System，即微电子机械系统）是指集微型传感器，执行器以及信号处理和控制电路、接口电路，通信和电源于一体的微型机电系统。MEMS技术是一种典型的多学科交叉的前沿性研究领域，几乎涉及到自然及工程科学的所有领域，如电子技术，机械技术，材料科学，能源科学等。[编者按]     

微型涡轮和微型齿轮泵的研制

微型机械制造和装配是微型机械发展的关键，本文介绍了微型涡和微型齿轮 原理与特点，并通过对微型涡轮和微型齿轮泵的研制，对微型机械的制造及装配工艺、微构件的机械强度等方面进行了有益的探索，同时了说明了二者的应用前景。     

国内微型器件装配技术的现状与应用

微机电系统(MEMS)以飞快的速度发展成为一个集微型机械、微传感器、微能源、微致动器、微控制器、微执行器、信号处理和智能控制于一体的新兴研究领域。微机电系统结构的复杂性促进了微装配技术的蓬勃发展，吸引了大批国内外研究人员对其进行广泛研究。本文首先分析了微器件装配技术对微机电系统的重要性及其产生的深远影响，然后介绍了近年来国内微装配技术的发展现状和参与微装配项目研发的研究单位的一些有应用价值的研究成果，最后阐述了微装配系统的发展趋势。     

微型涡轮和微型齿轮泵的研制

微型机械制造和装配是微型机械发展的关键。本文介绍了微型涡轮和微型齿轮泵的原理与特点，并通过对微型涡轮和微型齿轮泵的研制，对微型机械的制造及装配工艺、微构件的机械强度等方面进行了有益的探索，同时也说明了二者的应用前景     

微机械加工技术

微机械加工技术是发展微型固态集成传感器,微执行器和微机械构件的一种关键技术,它以硅作为基本材料,集合了精密腐蚀、薄膜生长、硅—绝缘体和硅—硅的键合技术、层间连接技术以及其它集成电路的典型工艺去制造各种三维以硅为基础的微机械和微型器件。本文重点介绍微机械加工的几种关键技术和我们的主要研究结果。     

名词术语释义——什么是纳米技术

纳米技术包含下列四个主要方面：第一方面是纳米材料（或称超微粒子，定义尺度为小于１００nm），包括制备和表征。在纳米尺度下，物质中电子的波性以及原子的相互作用将受到尺度大小的影响。如能得到纳米尺度的结构，就可能不改变物质的化学成分，而控制材料的基本性质如熔点、磁性、介电常数等，甚至于色彩。第二方面是纳米动力学，主要是微机械和微电机，或总称为微型电动机械系统（MEMS），用于有传动机械的微型传感器和执行器、光纤通讯系统、特种电子设备、医疗和诊断仪器等。MEMS用的是一种类似于集成电路设计和制造的新工艺。特…     

硅微机械梳齿静电谐振器的建模与分析

基于参数化的计算机辅助设计（CAD）软件，对硅微机械梳齿静电谐振器进行了实体建模，以有限元分析软件为工具，进行了谐振器的模态分析，静态分析和谐响应分析，初步揭示了谐振器的静、动态特性，有助于改善设计效率和质量，展示了计算机辅助工程（CAE）技术在微机电系统（MEMS）研究中的重要作用。