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气体微流量标准装置的研制 总被引:8,自引:0,他引:8
气体微流量标准是校准同流量的一种装置,可用于传递型和应用型参考漏孔及气体微流旦计的校准。它由恒压式微流量计、流量校准系统、待校流量引入系统和测量与控制系统四部分组成,。恒压式微流量计的变容室采用了活塞液压驱皮纹管结构,活塞的平动由恒力矩测速电机驱动导轨闰支机构完成,活塞的位移用精密光栅尺测量,在流量测量过程中,测量与控制系统将变容室和参考室之间的压力差在工作压力值的0.015%之内,该中采用直接测 相似文献
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气体微流量测量及标准装置概论 总被引:4,自引:0,他引:4
本文全面而概略地论述了气体微流量的测量及其标准的发展和现状。着重考虑了作为气体微流量标准装置核心的恒压式气体微流量计的原理、结构、下限因素和不确定度等基本问题。简略地介绍了我们在这方面的工作和特点。 相似文献
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气体微流量标准装置的测控系统在计算机控制下,采用电容薄膜规、光栅尺、铂电阻温度计等高精度传感器测出了变容室内气体的压力、体积变化县、温度等参量;并以计算机为控制器,利用比例积分微分算法,在流量测量的动态过程中将变客室内气体的压力被动控制在±0.01%之内;工作软件实现了对气体激流量标准装置的计算机自动化控制和管理。 相似文献
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定容式气体微流量标准装置 总被引:1,自引:0,他引:1
介绍了定容式气体微流量标准装置及其性能 ,讨论了温度变化、气体吸附和系统漏放气等干扰效应 ,分析了标准装置的不确定度。该标准的校准范围为 1× 1 0 - 3~ 1 0Pa·m3/s,不确定度 (1σ)小于 1 2 % ,用于校准热容式质量流量计。 相似文献
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介绍气体微流量标准装置用比较测量法和直接测量法校准漏孔的方法,并给出漏孔的核准结果。该标准装置的校准范围为17~1×10-5Pa·L/s,不确定度小于2%。 相似文献
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介绍了固定流导法极小气体流量测量技术,利用流导值为10-9m3/s量级的精密小孔,通过在10-1~10 Pa范围内调节进气压力,实现了10-8~10-10Pa·m3/s的流量测量,合成标准不确定度为0.94%。利用流导比值为187.9的两个激光小孔,将固定流导法产生了流量分流为总流量的0.53%,实现了10-10~10-12Pa·m3/s范围内流量的测量,合成标准不确定度为1.2%。利用极小气体流量测量技术校准了小于10-8Pa·m3/s量级的真空漏孔,而且避免了四极质谱计的非线性引入的测量不确定度。与现有气体流量测量技术相比,提出的极小气体流量测量技术将测量下限延伸了4个数量级。 相似文献
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非稳态流量计量是一个国内外都没有解决的难题。其中很重要的原因是缺乏可信的非稳态流量校准装置,因而无法得知流量计的动态特性。本文以飞机发动机燃油系统的涡轮流量计为例,阐述了有关非稳态流量校准装置的基本理论和实施方案 相似文献
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仅就“绝对真空计量标难”略加评论,对真空计量标准的“绝对性”含义作一讨论。随着真空度的提高,真空度计量标准的绝对性越来越下降;相对真空度计量标准而言,气体微流量标准的绝对性还要更差些。 相似文献
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本文介绍了液化石油气加气机容积式计量标准装置的基本原理、结构和使用方法 ,并对其测量不确定度进行了评定。结果表明 :本装置设计原理正确、使用方便、测量准确度较高 ,适宜推广使用。 相似文献
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研制成功的动态流量法超高真空标准装置是一台用来校准真空规的绝对真空计量标准。装置由校准系统、微流量计系统、抽气系统和计算机控制系统组成。校准系统采用四球结构 ,校准球室直径为50 0mm。极限真空度为 6 5× 10 - 9Pa ,校准范围为 10 - 2 ~ 10 - 7Pa ,不确定度为 3% (10 - 2 ~ 10 - 6 Pa)和10 % (10 - 7Pa)。 相似文献
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真空混合漏孔示漏气体的延迟和保持特性研究 总被引:2,自引:1,他引:1
真空混合漏孔 ,如漏孔通道内含有空腔、毛细管道等 ,示漏气体除存在超长反应时间外 ,还存在超长的延迟时间和保持时间。只有经该延迟时间后 ,检漏仪才能探得信号。为满足真空元件在生产中的快速检漏的要求 ,又避免常规质谱检漏法漏检混合漏孔的可能性 ,在真空室内对检漏元件集体充氦 ,然后在保持期内逐个检测氦气浓度来判断有无混合漏孔 ;也可用质谱计比较残余气质谱图中空气成分来确定 相似文献