微型化真空泵技术

微型化真空泵对于微机电系统和真空微电子器件的真空封装极具意义。本文从工作原理和工艺实现方面，分析了常见传统真空泵实现微型化的可行性，介绍了膜片泵、射流/扩散泵、努森泵和离子泵的微型化进展，并总结了当前存在的技术障碍。结果表明，目前热点研究的微型化真空泵已经可以构建从大气状态至高真空的真空系统。虽然真空泵微型化后，其性能和工作稳定性相对传统宏观真空泵有较大降低，但具有低功耗、可集成优势，对便携式系统和高真空微系统十分必要。     

JB1631──75真空泵型号编制方法(内部发行)

本标准适用于往复真空泵、定片真空泵、旋片真空泵、滑阀真空泵、机械增压泵、轴流分子泵、分子筛吸附泵、冷凝泵、水蒸汽喷射泵、水喷射泵、油扩散泵、超高油扩散泵、油增压泵、溅射离子泵、回旋泵、升华泵等。 1.产品型号由基本型号和辅助型号两部分组成,中间用短横线隔开,按下列顺序排列:2.型号规定用具有一定代表意义的汉语拼音字母和阿拉伯数字组成。3.真空泵型号由六项组成,1～3项为基本型号,4～6项为辅助型号。 4.型号第一项代表产品级(极)数用阿拉伯数字表示,其中单级(二级)或无级(极)区别的则省略。 5.型号第二项代表产品名称用汉…     

第三讲：机械真空泵（二）

第三讲：机械真空泵（二）张以忱（东北大学）四、油封式旋转机械真空泵（一）油封机械真空泵工作原理用油来保持运动部件的密封、靠泵腔容积变化而实现抽气的机械真空泵统称油外机械真空泵。它们的工作原理都是使泵腔工作室容积机械地增大和缩小而抽气。当泵腔内工作室容...     

第三讲：机械真空泵（四）

第三讲：机械真空泵（四）张以忱（东北大学）（七）余摆线真空泵余摆线真空泵的转子与泵腔的型线均为“余摆线”。目前真空行业中广泛使用的油封式机械真空泵大多是中、小型的旋片泵和中、大型的滑阀泵。旋片泵在较脏的工作条件下，旋片易在转子槽中卡住。尽管滑阀泵对这...     

滑阀真空泵,罗茨真空泵及其真空机组

滑阀真空泵、罗茨真空泵及其真空机组谈治信（兰州物理研究所，兰州７３００００）分类号：ＴＢ７５２滑阀式真空泵（简称滑阀泵）和罗茨真空泵（简称罗茨泵）及其由该泵组成的真空机组近几年来随着真空冶金、真空热处理、真空冷冻干燥、真空镀膜等各种领域的发展需要而得...     

第三讲：机械真空泵（五）

第三讲：机械真空泵（五）张以忱（东北大学）六、分子真空泵（一）牵引分子泵１．概述分子真空泵是在１９１１年由德国人盖德（Ｗ·Ｇａｅｄｅ）首先发明的，并阐述了分子泵的抽气理论，使机械真空泵在抽气机理上有了新的突破。分子泵的抽气机理与容积式机械泵靠泵腔容积...     

容积式机械真空泵抽速公式的分析

容积式机械真空泵系指依靠容积变化而实现抽气目的的一类机械真空泵。它包括:旋片式机械真空泵;定片式机械真空泵;滑阀式机械真空泵,往复式机械真空泵;机械增压泵(罗茨式机械真空泵)及余摆线真空泵等。过去对这一类泵的设计差别很大,对抽速计算公式的表达方法也有很大差异。但是实际上只要经过简单的数学运算,即可以把他们的抽速计算公式趋近统一(余摆线泵例外),公式中只在个别项的意义上有所差别。用统一的抽速公式便于学习和掌握这一类泵的设计方法。亦便于简化这类泵的设计方法。本文对此问题进行初步探讨。 一、抽速公式的统一 在旋片泵…     

干泵——21世纪照耀真空工业的新星

干泵——２１世纪照耀真空工业的新星一、干式真空泵的定义近年来在涉及真空技术的各种书刊文献中越来越频繁出现“干泵”、“干式真空泵”、“无油真空泵”等名词，然而何谓“干泵”？目前尚无确切定义，从广义上讲，凡在真空泵的抽气流道内无任何液态工作介质或密封介质...     

直联式旋片真空泵的新发展

介绍一种新型直联式旋片真空泵，该泵在入口内设置了真空安全阀，该泵由液压先导阀控制，其液压由泵内的油泵提供，构的泵安全阀与真空泵同步工作，可靠性高，油泵同时为真空泵提供强制润滑．这种结有效避免了返油现象的发生。(中国专利ZLO1213964．5)     

溅射离子泵

1、开头语 利用潘宁放电的溅射离子泵,在日本大约十年前作为商品登上市场。作为超高真空泵来说,当时曾在日本的真空学术界得到了很高的评价,但是,也遭到了许多严厉的批评。这是因为当时的溅射离子泵与原来的油扩散泵相比较抽气速率小,抽气量小,起动费时间,价格也昂贵。因此,这种泵只限使用于研究装置方面。可是,以后由于世界先进的真空机器制造者不屈不挠地研究,并在开拓用途方面做了努力以及为了适应电子学的飞速发展,以离子泵为中心的超高真空装置,就不只是单纯地面向研究室了,而已经能够实用于半导体和电子管为主的电子工业的生产方面。…     

干式螺杆真空泵的结构、性能与应用

本文首先介绍了螺杆真空泵的结构、性能、技术参数以及使用中的注意事项。同时还对螺杆真空泵与罗茨型干泵、爪式干泵在气路和抽速特性方面进行了比较。最后讨论了螺杆真空泵在制药行业溶媒回收、石化行业汽油蒸汽回收以及空间模拟方面的应用。     

国外几种真空泵概况

近几年,国外真空泵有一定发展。许多同志希望了解一下国外真空泵的发展情况,但由于收集的资料不够充分,不能对国外所有的各种真空泵做详细的介绍,只能概要的谈一谈几种真空泵的情况,供参考。 (一)旋片式机械泵 旋片式机械泵最近几年在国外有一定发展。概括起来说,有如下两个特点: 1、 3升/秒以下的小泵更加小型化、仪器化。为便于电子显微镜、质量分析仪等理化仪器和电子工业的应用,这种泵更加小巧和轻便。采取的主要措施是提高泵的转数,使泵的抽速增大,相应地减小泵的体积和重量。同时对泵的结构和选用的材料进行了特殊的处置,以减小泵的噪…     

我国主要容积式真空泵质量状况浅析

本文对容积式真空泵－旋片泵，滑阀泵，罗茨泵的总体情况进行了介绍，重点对其质量状况进行了分析，阐述了近几年容积真空泵的质量改进情况和目前仍存在的主要问题以及问题产生的原因和改进措施，并对真空泵普遍存在的共性问题进行了分析。     

罗茨泵噪声测量方法研究

罗茨真空泵噪声的测量一贯沿用GB/T 21271《真空技术——真空泵噪声测量》,没有充分考虑到罗茨真空泵噪声的发声特殊性,测量条件严重脱离了罗茨真空泵现实的安装和运行条件,不能真实反映罗茨真空泵的噪声水平,影响了泵噪声的研究和控制.经过多年研究和论证后,提出了在符合罗茨真空泵真实安装和运行状态下的、采用全矩形平行六面体测量表面的罗茨真空泵噪声测量方法,从而保证了泵噪声测量值的真实性和准确性.     

论罗茨真空泵的基础压力和漏率

基础压力是容积真空泵的特征性能指标,但作为容积泵一员的中真空罗茨真空泵却不是,它的性能在很大程度上依赖、取决于前级真空泵和测试条件,只有漏率才是罗茨真空泵的特征性能指标。本文分析了极限压力、基础压力和漏率三者之间的关系,着重指出,漏率的测量与前级泵无关,也基本上不受环境温度的影响,应取代极限压力(基础压力)作为中真空罗茨真空泵的特征性能指标。     

爪型干式真空泵磁流体密封的研究

爪型干式真空泵的传动轴轴头外伸部分通过泵盖处的动密封很重要,该处密封性的好坏直接决定整个泵的密封性能。现有的爪型干式真空泵基本上都是采用垫片密封、填料密封、机械密封、骨架密封或活塞环复合密封,这些密封方式都属于接触式密封,密封件在泵腔内摩擦容易损坏,密封件需要定期更换,严重影响真空泵工作效率,也造成资源浪费。针对这些问题,提出了将磁流体密封技术应用在爪型干式真空泵上,成功地解决了现有爪型干式真空泵的密封问题,使其在满足工作要求的情况下大大地延长了使用年限。     

真空技术及应用系列讲座第五讲：气体捕集式真空泵

真空技术及应用系列讲座第五讲：气体捕集式真空泵徐成海（东北大学）一、引言气体捕集式真空泵是一种使气体分子被吸附或凝结在泵内表面上的真空泵，可分以下几种型式。１．吸附泵，它是依靠具有大表面积的吸附剂（如多孔物质）的物理吸附作用来抽气的一种捕集式真空泵。...     

RH用机械真空泵抽气过程影响因素研究

全干式机械真空泵正以其出色的节能环保效果越来越多的在冶金行业炼钢厂真空精炼工艺中得到应用。本文正是利用自主研发的与真空循环脱气工艺(RH)真空精炼过程相结合的RH用机械真空泵抽气过程计算机仿真程序,研究了4级串联式全干式机械真空泵方案中,真空主阀前后设备及管道容积、各级真空泵泵间管道容积、各级真空泵(罗茨泵和螺杆泵)的不同抽气能力、系统漏气量等因素对RH机械真空泵抽气过程的影响,为不同RH吨位或RH真空精炼工艺条件下,机械真空泵系统的设计和研究打下坚实的基础。     

湿式罗茨真空泵

罗茨真空泵是40年代发明并成为产品的一种泵型。它具有抽速大、体积小、耗能省、结构简单、工作可靠、噪音污染低等一系列优点。原先它作为旋片泵的增压泵使用,以解决真空度从1330—10~(-1)帕的大抽速问题,首先在冶金工业上得到广泛的应用。我国从60年代开始研制这种泵型,至今已发展成为从30升/秒—20000升/秒抽速的系列产品。70年代以后我国罗茨真空泵的应用和发展取得较大进展。但目前国内生产这种泵型的厂家还为数不多。罗茨真空泵作为连接排大气的粗真空泵还是近几年的事。较多的研究结果表明,该泵作     

静电马鞍场溅射离子泵在注入电子时的效果

本文继续探讨研制一种新型真空泵的可能性。利用静电马鞍场约束电子振荡并注入电子以扩展放电压强的下限。据此,研制的无磁静电型溅射离子泵,在未注入电子时,阴极小室内壁面,可清楚地看到,离子轰击面(即钛的溅射面)与钛膜沉积面,其状态与二极型 penning 泵相似;启动特性、对电源要求也与 penning 泵相似。硅油蒸汽对马鞍场约