ITO靶材的发展现状

1 前言 铟锡氧化物(英语 indium tin oxide)简称ITO。成品ITO陶瓷靶色泽为墨绿色亚光,形状为圆片或矩形片,圆片尺寸一般为φ80mm×6mm以上,矩形片尺寸一般为180mm×160mm×6mm～380mm×380mm×9mm之间,ITO靶的化学成份是In_2O_3-SnO_2,其中In、Sn按重量百分比铟含量要超过80％。     

ITO靶材高温真空热压炉的研制

本文介绍了稀有金属行业ITO靶材高温真空热压炉的设备组成、主要技术参数和结构特点,并指出了该设备在稀有金属行业ITO靶材制造行业推广应用的前景.     

ITO溅射靶材国内外研究状况

本文综述了ITO靶材的国内外研究、制造技术和国内市场应用状况。详细阐述了ITO溅射靶的物理性能、国外制造ITO溅射靶的主要方法、国内研究状况。系统分析了ITO溅射靶制造技术方面的专利。     

ITO靶材的直流磁控溅射镀膜工艺研究

对ITO靶材的直流磁控溅射工艺进行研究,通过正交试验方法确定制备ITO薄膜的最优工艺参数,并明确了溅射温度、氧氩比、溅射气压和溅射功率密度对ITO薄膜电阻率和可见光透过率的影响规律。最优工艺参数为溅射温度370℃,氧氩比0.5/40,溅射气压0.4 Pa,溅射功率密度0.17 W/cm~2。薄膜电阻率受各因素影响的主次顺序是:氧氩比溅射温度溅射气压溅射功率密度。薄膜可见光透过率受各因素影响的主次顺序为:溅射温度溅射气压氧氩比溅射功率密度。     

ITO靶材市场将不断扩大

随着液晶、PDP等薄型电视市场的扩大，用于透明导电薄膜的ITO(氧化铟锡)靶材的设备进一步增加。另外，由于铟原料价格暴涨，作为ITO替代材料的氧化锌等的开发也非常活跃。     

ITO靶材黑化的因素浅析

本文针对ＩＴＯ导电玻璃生产中的黑化问题进行了分析,并提供一些解决方法。     

ITO纳米粉末爆炸压实烧结致密化陶瓷靶材研究

对ITO商业复合粉末应用爆炸冲击方法压实烧结,并对样品进行了XRD和ESM检测.通过粉末和压实后样品的XRD图及SEM照片的比较,发现在爆炸冲击压实纳米ITO陶瓷粉末时,能够使晶粒度减小,有助于后续烧结密实过程中控制ITO靶材的晶粒度的过分长大;SEM图片显示,在1200℃烧结的靶材微观结构比较均匀.本文探索了纳米ITO粉末冲击压实烧结的微观机理,并与以往人们对粉末的冲击沉能结论进行了比较,得出结论:压实烧结的主要机理是破碎填充效应,使得一部分粉末颗粒表面原子间的距离达到了点阵量级,从而产生键合力;一部分表面原子间的距离达到了一定小的程度,Vander Waals力使其结合.     

ITO靶材第二相的提取方法与分析

通过将ITO靶材粉碎、过筛后用王水长时间腐蚀的方法,提取出腐蚀产物。以进口A靶、B靶和C靶粉碎后的腐蚀产物为研究对象,通过SEM、TEM、XRD等检测手段研究3种靶材腐蚀产物的形貌、物相结构和组成成分等。结果表明,腐蚀产物均为第二相,其中A靶第二相为近似等轴体的In_4Sn_3O_(12),B靶和C靶第二相可能同时含有近似等轴体In_4Sn_3O_(12)和"窄片"In_2SnO_5,并且A靶第二相比B靶多出约8.32%,比C靶多出约4.48%。     

气化粉与湿法粉制备ITO靶材过程及性能对比研究

分别以ITO气化粉和湿法粉为原料,在相同工艺条件下,经过球磨、造粒、成型等工序制备了ITO靶材,研究了ITO气化粉和湿法粉制靶中间品及最终靶材的主要性能。结果表明:模压和CIP后,湿法粉坯体密度均低于气化粉的,但由于ITO湿法粉原料粒径细而均匀,烧结活性更高,故在较低的烧结条件下可制备出更高密度的靶材。     

国际生物能源研究开发现状和趋势

通过对国际可再生能源研发的重点,第二、三代生物乙醇的研发动向,以及对生物天然气和生物质颗粒燃料异军突起的背景分析,反映出生物能源研发的总体状况和发展趋势。     

电磁吸波材料的研究现状与发展趋势

随着电子设备在军事、通讯、医疗、交通等领域的广泛应用,电磁干扰和电磁辐射问题日益加剧。电磁吸波材料可以将进入材料内部的电磁波能量转化为热能或其他形式的能量耗散掉,是一种直接有效的电磁污染防控手段。因此,国内外研究者围绕高性能吸波材料的开发及应用投入了大量研究。结合国内外研究现状对电磁吸波材料的吸收理论进行了简要概述,并对吸波材料的分类进行了总结归纳,重点探讨了吸波材料结构设计对电磁波吸收性能提升的作用机制,最后从吸波材料应用的“兼容化、复合化、智能化、环保化”方面对其发展趋势进行了展望,旨在为新型及高性能吸波材料的开发提供研究思路和理论依据。     

活塞式制冷压缩机技术现状及发展趋势

活塞式制冷压缩机在制冷空调行业有着广泛的应用,本文介绍现有活塞式制冷压缩机产品的应用及技术现状,对特殊型式的活塞式制冷压缩机产品性能等进行阐述,指出活塞式制冷压缩机技术发展趋势。     

国外反舰鱼雷的现状与发展趋势

鱼雷是水面舰艇面临的主要威胁之一,如何有效地防御鱼雷攻击已经成为各国海军必须认真面对的问题。认真研究国外鱼雷的现状和发展趋势,有助于研制出高性能的水面舰艇鱼雷防御系统。文章依据有关资料,主要对与鱼雷防御相关的自导技术和鱼雷推进系统等方面的现状进行了分析和评述。     

接触式真空吸取技术研究现状与发展趋势

本文从接触式真空吸取的技术需求出发,分析了接触式真空吸盘的设计要求和主要结构形式,阐述了接触式真空吸取技术由非金属材料常规吸盘到形状自适应和人工弹性材料仿生吸盘的发展历程,研究了真空吸取力产生方法由外部负压源抽吸到吸盘变形改变内容积、吸盘材料优化等多种方法的发展趋势。随着研究的深入和技术的进步,合理利用新技术和新方法,能优化吸盘结构、增强吸取效果,推动接触式真空吸取技术朝着多工况适应、多形状夹持、高效节能等方向发展。     

中小型商用制冷设备的技术现状及发展趋势

概述国内外关于中小型商用制冷设备的技术现状,并分析其发展趋势。首先,从箱体绝热性能提升、密封加强及风幕优化3个方面总结提高中小型商用制冷设备绝热性能的方法。然后,概括提高制冷系统性能的技术手段,主要包括蒸气压缩制冷系统循环改进、重要部件性能优化、新型制冷剂替代及相变材料的应用。最后,简要介绍智能化管理系统在中小型商用制冷设备的应用。     

氢化SBS国内外现状及发展趋势

对国内外氢化SBS发展现状、加氢催化荆及加氢反应工艺等进行了概述,对不同公司产品型号、性能及应用进行了简述,对燕化公司SEBS项目进展作了简单介绍,并提出SEBS项目今后发展方向.     

物联网的发展及对化工新材料产业的影响

论述了物联网的技术发展和应用趋势,以射频识别(RFID)对化工新材料的需求和性能要求为例,分析物联网对化工新材料产业的影响,提出化工新材料产业未来发展的建议。