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介绍亚半微米分步重复投影光刻机同轴对准系统的成像机理和工作过程。该系统在掩模和硅片上均刻有对准光栅标记,经光栅衍射后形成干涉信号,使对准信噪比大大提高,并实现了掩和硅片之间的直接对准,同时利用光弹性调制器组件对光学信号进行了光学调制,由 电路实施解调,提供了一种保护高信噪比,交换弱信号探测不对准方案;并通过计算机辅助分析的手段,讨论了SAVART的剪切量、工件台运动速度等对系统输出信号的影响。 相似文献
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分步重复投影光刻机同轴对准数据处理 总被引:2,自引:0,他引:2
介绍了0.8~1.0μm分步重复投影光刻机双光路光栅衍射同轴对准系统的构成及原理,详细讨论了对准数据的软件处理和计算方法,并给出实际测试结果。 相似文献
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Nikon光刻机对准系统概述及模型分析 总被引:1,自引:0,他引:1
对准系统是光刻机中最精密复杂的部分,掌握对准原理是设计和使用光刻机的关键之一。阐述Nikon步进投影光刻机(Stepper)的对准机制,详细介绍目前应用于Nikon步进光刻机硅片对准的三种对准方式:LSA、FIA、LIA,比较它们的优缺点。并结合数学模型对影响Nikon对准模型信号强度进行分析,为提高对准精度提供了依据,对实际应用有一定的指导作用。 相似文献
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一、前言在大规模电子电路(主要是LSI)的分析设计中,普遍采用CAD。而这方面最具有代表性的分析程序是SPICE和ASTAP。ASTAP是IBM公司的专利,用户只能租用而无法得到源程序。SPICE程序是美国加州大学 相似文献
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《电子工业专用设备》2017,(5):18-21
曝光系统是接触接近式光刻机的核心部件,系统的曝光强度对光刻工艺有很大的影响。通过对曝光光路系统进行详细分析,对影响光强的各种因素进行了论述和计算,为进一步改善曝光系统光强指明了方向。 相似文献
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作为微细加工技术之一的高分辨率光刻技术--同步辐射X射线光刻(XRL)可应用于100nm及100nm节点以下分辨率光刻,高精度对准技术对XRL至关重要,直接影响到后续器件的生产质量。目前国内的XRL对准系统主要采用CCD相机和显微物镜采集图像,经过计算机图像处理程序进行自动对准;图像边缘分辨是图像处理部分的关键,直接决定了对准精度。针对3种不同的图像边缘增强方法进行了掩模和硅片识别精度以及对准精度的研究,并且初步设计了几种对准标记。 相似文献
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王继红 《电子工业专用设备》1997,26(2):33-35
DSW投影物镜的温控系统王继红(中国科学院光电技术研究所四川双流610209)1引言分步投影光刻机是集成电路专用设备中的关键设备。随着光刻精度的提高,光刻机对环境的要求也越来越高,如对环境温度、压力、振动、洁净度等。虽然光刻机工作在超净恒温的环境下,... 相似文献
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晶片传输系统中切边探测和预对准技术 总被引:4,自引:0,他引:4
杨兴平 《电子工业专用设备》2003,32(1):43-47
介绍投影光刻机设备的晶片传输系统中切边探测和晶片预对准技术。 相似文献
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双面对准曝光中关键技术研究 总被引:2,自引:0,他引:2
王志越 《电子工业专用设备》2000,29(3):13-18,29
对双面曝光技术中的对准方式、曝光光源系统、对准工作台等关键技术进行了研究 ,并通过多年工作实践经验 ,对对准工作台的精度分析作了论述。 相似文献
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董志义 《电子工业专用设备》1992,21(3):35-43
本文提出了一台高分辩率激光扫描光刻系统的对准性能数据。该系统采用了通过成像物镜进行对准的同轴对准原理(TTL),其具有多束光路、亮场和暗场照明及高低倍放大光学系统的特点。整机的总套刻精度优于0.1μm。 相似文献
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