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多晶硅表面微机械光学角速率传感器 总被引:1,自引:0,他引:1
多晶硅表面微机械技术是微机电系统(Microeletromechanical Systems,MEMS)中重要的加工技术。本文采用这种加工技术,提出了一种基于Sagnac效应的新型微机械学光角速率传感器(Optical Rotation Sensor,(ORS)。由于采用MEMS的最新技术,安将是一种低成本、微型化的ORS,文中给出了ORS中环形谐振腔的设计和基本理论分析,并提出了电路和控制系统的 相似文献
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本文从电阻应变式悬臂剪切梁传感器结构对非线性误差进行分析,采用有限元方法计算贴片孔位置对传感器的非线性误差影响,再通过试验对计算结果进行验证。结果表明悬臂剪切梁的承载孔位置对传感器的非线性误差影响可通过有限元方法定量计算。设计应用悬臂剪切梁式传感器时,对非线性误差应与传感器的其他误差综合考虑能有效提高传感器的精度。 相似文献
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本文主要介绍了电磁力电子天平的原理、机械结构,分析由组装导致的四角误差的原因,归纳出电子天平四角误差的调校方法。 相似文献
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本文叙述了传感器四角调整装置的自动控制系统的设计方法及一些技巧。本装置既可作四角调整之用,也可作为测力机,保证了传感器四角的精度。 相似文献
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孙振凯 《机械工人(冷加工)》1992,(3):32-35
齿向误差ΔF_β是评定齿轮在传动中载荷分布均匀性的重要误差指标,它指的是在分度圆柱面上全齿宽范围内,包容实际齿向线的两条设计齿向线之间的端面距离。测量斜齿轮齿向误差,可利用齿向仪、导程仪或螺旋角检查仪测量,也可利用万能工具显微镜或光学分度头等通用量仪进行螺旋线的点 相似文献
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正弦规测量锥角的误差分析江苏盐城量具刃具厂(224001)郭俊峰正弦规工作原理如图所示。正弦规的两圆柱直径相等,且中心连线与正弦规主体工作面平行,因此,两圆柱与量块组成的直角三角形的锐角a等于主体工作面与平板间的夹角。a角的对边是量块组尺寸H,斜边是... 相似文献
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压力传感器动态性能分析与动态补偿 总被引:5,自引:0,他引:5
在对炮口冲击波测试中,压力传感器的动态性能指标是否满足测量要求至关重要。本文通过GLS(SF)方法建立压力传感器的数学模型,并由数学模型求出动态性能指标。然而该传感器的动态性能指标不能满足测量要求,针对此问题本文采用零极点相消的方法设计出动态补偿滤波器,明显提高了该传感器的动态性能,最终解决了该冲击波的测量问题。 相似文献
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针对旋转柔性梁的弯曲振动问题,提出了一种高精度的有限元——梁柱元。根据旋转梁弯曲时与梁柱相同的受力特点,推导了梁柱元弯曲变形的形状函数,采用传递矩阵方法导出了单元的刚度矩阵及相应的一致质量阵。证明了梁柱元刚度矩阵中各元素的泰勒展开式前两项正好是采用常规弯曲梁元形状函数得到的弹性刚度矩阵和几何刚度矩阵对应的元素的和,因而采用梁柱元分析旋转梁元弯曲振动问题具有很好的精度。对铰支和固支旋转梁振动分析的数值算例也证明了这个结论。 相似文献
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齿轮减速器扭振特性实验辨识及简化动力模型研究 总被引:2,自引:0,他引:2
本文通过对二级齿轮减速器扭振特性的实验测定,识别了系统的动力学参数。在此基础上提出用三质量弹簧简化模型代表复杂齿轮减速器的方法,并对简化模型的特性参数进行了辨识,为齿轮传动系统的动力学分析,提供了一种有效的分析方法。 相似文献
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在机器人腕力传感器的动态特性分析中,最关键的步骤之一是从传感器输入输出信号中提取精确的脉冲响应函数和频响函数。介绍了一种新的提取腕力传感器脉冲响应函数的方法——相关小波法。在建立腕力传感器的简化动力学模型的基础上,模拟了机器人与环境相互碰撞及机器人在强噪声环境中的典型工作条件,用相关小波法提取了模型系统的脉冲响应函数和频响函数,并与传统的FFT方法进行了比较。结果表明,相关小波法比FFT方法具有更明显的优势,获得了更高精度的脉冲响应函数和频响函数的提取。相关小波法为腕力传感器,同时也为其他传感器的动态特性分析提供了一种新的、有效的方法。 相似文献
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机械振动影响着电子秤动态测量过程中质量的测量精度,以电子秤和被测物体为研究对象,应用机械振动原理,分析了机械振动对电子秤在动态测量中所产生的误差,利用力学模型和数学模型对该误差进行了计算分析,归纳出控制动态测量误差的一般公式,得出了秤体质量与被测物体质量之比是控制机械振动对电子秤测量误差影响的主要参数,从而为电子秤的设计与制造提供了依据。 相似文献
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连铸机结晶器四连杆振动机构及其振动误差分析 总被引:1,自引:0,他引:1
在连铸机结晶器振动机构中,四连杆机构被广泛应用。本文针对这种情况,讨论了其作为一种仿弧振动机构的振动误差分析理论和应用。 相似文献
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硅谐振梁式压力传感器模拟计算 总被引:3,自引:0,他引:3
本文给出一种硅谐振梁式压力传感器的敏感结构:以2×2mm2的方形硅膜片直接敏感被测压力,膜片的上表面架设有600×50×5μm3两端固支的硅谐振梁,间接感受压力作用,谐振梁封装在真空腔内。利用谐振梁的固有频率与被测压力的关系进行测量。针对这种谐振敏感结构的特征,建立其数学模型,通过模拟计算,得到若干规律性的结果,给出一组合理的设计参数。 相似文献