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电子显微镜(TEM)真空系统的真空度要求在6.67×10~(-3)Pa 以上。为了改善真空性能,H—800型电子显微镜首先将不锈钢衬管插入电子束通道,以减小抽气体积,而将其它部件置于真空之外后,又减少了放气源。另外,H—800设置了两个抽气系统,分别使用了三台抽速为160l/min 机械泵(RP1,2,3)和两台抽速为570l/S 的油扩散泵。所以,该真空系统的真空度可达1.33×10~(-4)Pa 或更高。 相似文献
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喷射氟里昂是真空检漏中一种简单而实用的方法。日本HITACHI透射电子显微镜经维修后,其高压电子枪的真空度达到1.33*10^-3Pa,灯丝的帮h为HITACHI公司所给指标的两倍。 相似文献
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首先对电镜真空系统中采用低温技术的几个实例进行了论述,并分析了采取低温措施后,电镜的部分技术指标得到了提高。这些改善措施对于高分辨率电子显微学研究工作是有利的。以日立 H-800型电子显微镜为实例加以说明。 相似文献
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本文为《实用真空技术》一书的核心章节,作者认真总结了工人师傅的丰富维修经验,理论与实践相结合,对扩散泵的维修技术作了全面、系统、深入细致的论述,对读者有参考价值. 相似文献
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