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纳米科学和技术的新进展 总被引:1,自引:0,他引:1
介绍纳米科技几个主要方面的最新研究进展 :纳米级精度的测量 ;扫描隧道显微镜和原子力显微镜 ;超精密加工和原子级加工 ;纳米材料 ;微型机械和微型机电系统 ;微型机械的制造等 相似文献
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微米纳米技术及微型机电系统 总被引:22,自引:8,他引:14
微型机电系统和微型制造技术是一个新兴的技术领域。本文论述微米纳米制造技术的发展过程,微细加工的进展,微型机电系统的概念、主要研究课题,以及它的应用领域。 相似文献
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本文介绍了一个新兴的机械电子研究和应用领域-微型机电系统的产生、发展和应用前景,这种机电系统有着传统机电系统不能比拟的特点和优势,例如经济、制造快速等。本文列举了几个常见的微型机电系统和它们的应用举例。与微型机电系统密切相关的微细加工技术在本文中有详细的介绍,以硅加工和LIGA技术为例,本文比较了微细加工技术之间的特点和各自的应用范围,最后说明微型机电系统有广阔的发展前途。 相似文献
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微机电系统(MEMS)纳米摩擦学研究进展 总被引:2,自引:3,他引:2
随着微型机电系统(MEMS)的快速发展,MEMS摩擦学已成为当前纳米摩擦学研究中最活跃的前沿领域之一。微观尺寸上的摩擦磨损和润滑对整个MEMS系统的性能、稳定性和寿命起着决定作用,因此研究MEMS的微观摩撩学性能至关重要。本文对近年国内外MEMS摩擦学研究的新进展作了综述,介绍了MEMS系统的纳米摩擦学特性,讨论了包括环境条件、材料处理、表面改性、分子超薄膜润滑等在解决MEMS摩擦和润滑问题上的研究状况,提出了当前相关研究的几个重要问题。 相似文献
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苑国良 《世界制造技术与装备市场》2002,(3):41-42
一、纳米学科的兴起 著名的物理学家、诺贝尔奖金获得者Richard Feyn-men早在20世纪60年代曾预言:如果我们能控制物质小规模的排序,将获得很多具有奇异性能的物质。1984年,Gleiter首次采用气体冷凝方法,制备成铁纳米微粉。随后,美国、联邦德国和日本先后研制成纳米级粉体及块体材料。1990年在美国召开了第一届纳米科技学术研讨会,标志着“纳米”成为科学的一个里程碑。此后,人类对 相似文献
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