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《真空镀膜技术与设备》是东北工学院真空技术教研室李云奇教授等七位同志为满足教学需要组织编写的教材,1989年出版后得到一些院校师生及科研生产单位的欢迎,本书很快售尽,现根据读者要求予以重印。 本书共有11章,分别为引论真空镀膜基础、真空蒸发镀膜、真空溅射镀膜、真空离子镀和束流沉积技术、化学气相沉积技术、真空离子注入技术、薄膜微细加工技术、真空镀膜设备着干构件的设计与计算、薄膜厚度伪测量与监控以及真空镀膜设备的安装与维护。 本书注重对薄膜的基本理论、基本知识与基本技能等方面的阐述,综合参考并运用了国内有关单位… 相似文献
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