硅基力敏传感器及其工业应用（上）

一 硅基力敏传感器的现状 硅基力敏传感器是指以硅（单晶或多晶）材料为基础，利用MEMS工艺，其特性参数受外力或应力变化而明显变化的敏感元件制成的传感器。这里的力包括重力、拉力、压力、力矩、压强等物理量。力敏传感器包括力、压力、差压、液位传感器等。     

硅锥场致发射力敏传感器的实验研究

本文介绍了硅锥阵列场致发射力敏传感器的基本原理和结构以及硅锥工艺,并对这种传感器的力敏相关参数的电特性进行了初步测试,获得了较为理想的结果。     

力敏传感器在粉粒流量计中的应用

一、前言 近年来,粉粒式流量计已被广泛用于水泥、矿山、粮食、化工和冶金等行业的生产和计量控制,用来测量粉粒物料的瞬时流量和累计重量。目前国内众多的流量     

硅压力传感器的过载保护设计

通过测量硅膜片的结构设计和压力传感器外界保护结构设计,实现了压力传感器过载保护的目的。针对差压传感器表现为正负双腔和中心过载保护膜片联动保护的设计方案,即当过载压力达到超高差压之前,使高压侧膜片和基体贴合,低压侧膜片鼓出,阻止超高差压传入传感器内;对于表压和绝压传感器表现为测量端和过载保护膜片联动的设计方案,即当过载压力达到超高压之前,使测量端膜片和基体贴合,过载保护膜片鼓起,阻止超高压传入传感器内。     

力敏传感器专用工艺装备研究

"力敏传感器专用工装设备"研究是国家关于"传感器产业化技术"研究的重大项目之一,是研制、开发和生产高性能传感器的技术保障.其工艺水平的高低直接决定传感器产品的性能和质量.本文从攻关解决的关键技术、创新点、技术水平及对我国传感器产业技术进步的影响、知识产权等角度介绍力敏传感器科研生产所必需的几台关键设备的攻关成果及所取得的技术水平和主要成绩.     

MPX系列硅压力传感器讲座（五）：利用MPX系列硅压力传感器进行精密…

本文介绍利用美国摩托罗拉ＭＰＸ系列硅压力传感器进行精密液位控制的原理及液位控制系统的结构和调节方法。     

汽车用硅基压力传感器环境试验方法分析

文中概述了汽车电子产品中典型代表的汽车用硅基压力传感器的环境适用性.对温湿度、振动、冲击、盐雾、腐蚀、油泥污染等环境条件及传感器的失效情况进行了分析,列举了目前国内外采用的相关试验标准及标准方法.针对汽车用硅基压力传感器的实际工况使用条件,指出现有国内外环境试验标准中试验方法的局限性.     

电容式测压微传感器的特性分析

本文主要对电容式测压微传感器的力学特性和电学特性进行分析。文中通过对测量电路工作过程和特性的深入探讨、仿真和验证,证明这种传感器的测量电路具有良好的线性度和稳定性。通过对传感器的敏感元件硅膜片的力学分析,建立了传感器的力学模型。分析的结果表明：传感器敏感元件和电容器的物理特性是影响传感器输出响应线性的主要因素。     

英特尔开发出硅基超高感度光传感器

美国英特尔最近成功开发了高速响应的硅基高感度光电二极管,性能超过了原来的InP等化合物类的APD。由于同时实现了高性能和低成本,因此除长距离光缆的受光元件外,还可用于量子加密通信、高性能图像传感器和生物芯片等。     

用铌基弹性膜片的耐蚀微压传感器

用铌基弹性合金Nb—25Ti～5Al薄片为弹性膜片,用3J53合金棒材车制壳体,两者相焊成传感器元件。所装成的耐蚀微压传感器稳定性好、温漂小、精度高、反应快、频响范围宽、量程低且耐蚀性优异。特别适用于测腐蚀流体的微小压力(<1MPa)。几年来实用于各方面,皆收到良好的应用效果。     

精密智能压力传感器及其应用

精密智能压力传感器(Precision Pressure Transducer)是基于霍尼韦尔先进的硅压阻技术，内含微处理器进行数字补偿、组态．控制和通讯的智能传感器。其测量综合精度为满量程的0．05％，在军用、航天及工业等领域的压力测量中有广泛的应用。     

称重传感器的选用原则

作者结合多年从事称重测力控制系统工作的经验,介绍了在选用称重传感器时,应怎样考虑其称量范围、计量性能、与称重显示器的匹配等诸方面技术指标的原则问题.     

硅基PZT薄膜微型悬臂的特性及其在微型传感器执行器上的应用

在硅材料表面沉积PZT薄膜并通过MEMS工艺可以形成硅基PZT薄膜悬臂结构,在外加电场的作用下,悬臂将发生弯曲并输出位移和力,形成微型执行器;在外加集中力和载荷的情况下,可以产生表面感应电荷,借此测量外界力和压力的大小,形成传感单元.这里从PZT薄膜的制备、微型悬臂结构的制备、特性以及目前在微型传感器、微型执行器的主要应用方面作了综述性说明.     

硅微谐振传感器微弱频率变化的提取新方法

由于硅微谐振传感器在感测压力、温度变化时存在频率变化较弱的特点,提高其灵敏度和测试分辨率显得尤为必要,所以提出利用系统从混沌状态到大周期状态转变时所表现出的共振锁频性质,进行了传感器微弱频率变化信号的仿真实验提取.将带通采样和降采样应用到信号预处理,建立了利用混沌的测试系统,同时指出该系统能实现传感器不同测试精度和灵敏度要求的柔性测量.     

通过经济的传感器封装来满足顾客的应用要求（一）

通过经济的传感器封装来满足顾客的应用要求（一）ＨａｒｏｌｄＪｏｓｅｐｈ,ＶｌａｄｉｍｉｒＶａｇａｎｏｖＥＧ＆ＧＩＣＳｅｎｓｏｒｓ－Ｍｉｌｐｔａｓ．ＣＡ一、引言今天硅传感器公司所面临的最重要的问题之一就是如何有效地封装传感器以满足广大领域的应用。和其它...     

基于单片机硅微机械谐振传感器真空测量研究

本文介绍了一种新颖的基于单片机的硅微机械谐振传感器测量方法及其实现。在微传感器工作原理理论分析的基础上,证明其适合于真空环境测量。利用闭环测控电路方式,使整机具有良好的灵敏度和可靠性。讨论了测量仪的测量原理、硬件组成和软件设计。该测量仪的真空度测量范围接近10^2-10^-1Pa,具有可靠性高,响应速度快等优点。     

扩散硅压力传感器的温度特性及其补偿

本文分析了扩散硅压力传感器灵敏度温漂的各种曲线,同时给出了一种简单的温度补偿方法.这种方法虽然不能得到准确解,但是它的补偿结果非常好.采用这种方法补偿对所用的外围器件要求不需要非常严格,而且适用于窄、宽温范围.本文给出了补偿前后的对照表.     

SG—75扩散硅压力传感器

本文介绍了工业压力变送器用全固态结构的SG-75扩散硅压力传感器的研制。传感器压力范围0.16～50MPa,满量程输出120～230mV/0.78mA,精度0.2％F·S,工作温区-30～90℃。该传感器现已批量生产。