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本文以光干涉原理为基础,分析多光束干涉原理特点及其在平面形貌(平面度)测量中应用可能,提出应用移相方法对被测镀高反膜表面进行调制,得到一系列被调制的干涉图样,经计算机对干涉图样进行自动采集和图像解包裹,获得被测表面的三维形貌数据,并通过实际测试验证了该方法的可行性和科学性. 相似文献
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概括了波长移相干涉技术的特点,将基于波长移相干涉技术的台阶测量算法分成两类:时域算法和频域算法。时域算法包括开瑞(Carre)算法和多波长组合算法等,频域算法包括基于时域傅立叶变换找基频算法、塔可达(Takeda)算法等,文中分析了这些算法在实际应用中需要考虑的技术问题,针对时频域算法特点,提出了基于时域傅立叶变换的差分算法,实验结果与分析证明这一算法的正确性和可行性。 相似文献
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磁盘表面粗糙度移相干涉测量仪的PZT驱动分析与设计 总被引:1,自引:0,他引:1
采用PZT振动产生移相,研制开发了可用于测量磁盘表面粗糙度的高精表面光学轮廓测量仪,本文在阐述系统工作原理之后,介绍其中的相移驱动装置的设计与实现。 相似文献
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基于相移干涉理论设计并实现了微平面三维形貌测试系统,针对三维形貌检测解包裹过程中出现的问题,改进了现有的残差点判断法,能够更加准确、快速地确定残差点的存在.对相位解包裹算法进行了系统研究.分析了干涉图中残差对相位解包裹的影响,提出了一种基于二阶导数的区域增长解包裹算法.在实际测量中,最终结果得到了明显的改善,证明了该方法的有效性,提高了系统精度、采用此算法,系统的纵向测量误差小于2nm. 相似文献
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采用三平面互检测量方法,分别在等倾干涉仪和相移干涉仪上对平晶平面度进行了绝对测量比对。针对两种干涉仪不同的测量原理,提出了一种规范方法以从相移干涉仪数十万点阵测量数据中,提取符合等倾干涉仪测量数据格式的结果;对比等倾干涉仪的结构与环境控制方法,研究了相移干涉仪进行平面度绝对检验过程中的温度、温度梯度、温度分层情况,采取双重保温措施下达到了0.002μm的测量重复性,和0.01μm的绝对检验测量不确定度。与等倾干涉仪的检定结果的差异小于0.01μm,证明了相移干涉仪用于平晶的平面度检定工作可行性。 相似文献
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文章提出了一种新的检测方法即用数字波面干涉仪检测平晶的平行度.分析了测量不确定度的来源,并对测量不确定度进行了分析评定.与传统的方法相比在保证测量准确度的前提下,大大提高了工作效率. 相似文献
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首次从理论上分析基于单模光纤的位移干涉仪用于高速漫反射面速度测量的相位误差,包括来源和大小及其与系统各参量的关系.计算了光束从光纤出射,经漫反射面反射,再耦合进单模光纤的光场表达式.结果表明,相位误差的来源包括两部分:光束传输衍射效应及漫反射面表面的随机相位特性.由相位误差引起的位移和速度相对误差都在10-6量级,并且同时采用VISAR和光纤位移干涉仪来测量爆轰加载下铜飞片的速度轨迹.实验结果表明,单模光纤位移干涉仪的实际测量精度可以和VISAR相当,证明了单模光纤位移干涉仪用于高速漫反射面速度测量的可行性. 相似文献
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在JJG28-2000平晶检定规程中,对平晶有效直径d范围内的平面度和(2/3)d范围内的平面度均有规定的要求.本文将对此问题进行分析,最后给出了符合现行规程要求的新测量方法,补充了计算公式. 相似文献
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