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本文介绍了所研制的二维微定位柔性系统和一维精密转动系统,进行了相关技术的研究并给出了设计参数,使SPM能够满足高精度下的大尺寸平面样品以及球形被测样品的全范围检测,扩大了扫描探针显微镜(SPM)在超精密工程中的应用范围。 相似文献
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随着扫探针显微镜技术发展和广泛应用,扫描探针显微镜的技术标准化问题在国内外受到越来越多的关注.然而在数据格式方面,由于所用硬件平台的不同等原因,各制造商所生产的扫描探针显微镜大多使用专用的数据格式.这些数据格式又往往互不兼容,给数据后续的分析处理和交流共享带来不便.本文首先对扫描探针显微镜中数据格式的发展及应用较多的格... 相似文献
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综述了扫描探针显微镜(SPM)的微悬臂梁弹性常数Kn的校准方法,主要包括物理尺寸法、动态测量法和静态测量法。物理尺寸法计算方便,可给出任何方向、任意形状的弹性常数表达式,但测量精度不高,适用于精度要求不高的场合;动态测量方法适用于任意形状悬臂,校准过程简单快捷,不易损坏悬臂;静态测量法采用外加设备如标准悬臂或者标准加压设备,操作过程麻烦,易损坏悬臂。但动态和静态测量法的精度较高,因此适用于要求提供精确力信号的场合。目前,静态测量法中采用标准弹簧校准的测量精度可达2%~5%,校准过程方便快捷,具有一定的发展潜力。 相似文献
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扫描探针显微镜(SPM)作为一种广泛应用的表面表征工具,不仅可以表征三维形貌,还能定量地研究表面的粗糙度、孔径大小和分布及颗粒尺寸,在许多学科均可发挥作用.以纳米材料为主要研究对象,综述了国外最新的几种扫描探针显微表征技术,包括扫描隧道显微镜(STM)、原子力显微镜(AFM)和近场扫描光学显微镜(SNOM)等方法,展示了这几种技术在纳米材料的结构和性能方面的应用. 相似文献
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