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陶瓷衬底上淀积薄膜α—Fe2O3材料的微结构的气敏特性研究 总被引:3,自引:1,他引:2
本文用常压化学气相沉积(APCVD)工艺在陶瓷衬底上成功地制备出了具有超粒结构的α-Fe3O3气敏薄膜,对所制备的薄膜进行了X射线衍射分析和扫描电子显微分析(SEM),研究了淀积工艺条件对α-F32O3薄膜的粒度的影响,气敏特性研究表明,用APCVD工艺轩的超微粒α-Fe2O3薄膜对烟雾呈现出很高的灵敏度和良好的选择性。这种薄膜可用于感烟探测器。 相似文献
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掺锡对α—Fe2O3薄膜微结构和气敏特性的影响研究 总被引:1,自引:0,他引:1
本文用常压化学气相淀积法(APCVD)制备了α-Fe2O3薄膜,对所制备的薄膜进行了X射线衍射分析和表面形貌(SEM)分析。对薄膜的气敏特性进行了测量。结果表明,用APCVD工艺制备的α-Fe2O3薄膜对烟者极为敏感并且具有良好的选择性;本研究还对所制备的α-Fe2O3薄膜进行了有效的掺杂,对掺杂样品的气敏特性测试表明四价金属元素Sn的掺入对α-Fe2O3薄膜的气敏特性有显著的影响。实验表明用AP 相似文献
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采用一种简单的新工艺分别在硅片和氧化铝陶瓷基片上制备了r-Fe2O3薄膜。该工艺分3步完成:首先利用Fe(NO2)3酒精溶液通过浸渍涂布工艺制备a-Fe2O3薄膜,其次a-Fe2O3薄膜在氢气流中、320 ̄350℃之间热处理30min被还原为Fe3O4薄膜,最后Fe3O4薄膜在空气中250℃左右热处理30min被氧化为r-Fe2O3薄膜。XRD和SEM分析结果表明该r-Fe2O3薄膜呈尖晶石物相和 相似文献
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用电弧等离子体法制各纳米α-Fe_2O_3并研究其气敏特性,结果表明,在没有掺杂的情况下,纳米α-Fe_2O_3就具有较好的气敏特性。其原因是纳米粒子具有较大的比表面积和较高的晶界比例,从而导致对气体的吸附能力和扩散能力增强。本文用原位XRD方法研究了纳米α-Fe_2O_3的气敏机理,结果表明,在还原性气氛和加热条件下,α-Fe_2O_3并没有被还原成Fe_3O_4,其气敏机理主要是表面效应控制型。 相似文献
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通过X射线和透射电镜等分析手段,研究了机械合金化(MA)对Fe_(71.3)Al_(28.4)(CeO_2)_(0.3)和Fe_(73.3)Al_(9.8)Si_(16.6)(ceO_2)_(0.3_成分合金组织结构的影响。实验结果表明:随着MA时间的增加,α-Fe固溶体形成。当MA至72h后,α-Fe固溶体相对稳定化,其点阵常数、有效晶粒直径不再变化。 相似文献
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新型氧敏CeO2—x薄膜的制备及结构研究 总被引:1,自引:1,他引:0
用射频磁控溅射法制备了CeO2-x高温氧敏薄膜。通过改变O2/Ar比,制备出不同组分和结构的CeO2-x薄膜。用Ce3d的XPS谱了Ce2+的浓度。XRD和AFM分析表明,薄膜经空气中高温退火后,形成了立方体CaF2型小晶粒,晶粒大小明显依赖于退火条件和膜厚。 相似文献
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电弧等离子体法制备的纳米a—Fe2O3的气敏特性 总被引:13,自引:3,他引:10
用电弧等离子体法制备纳米a-Fe2O3并研究其气敏特性,结果表明,在没有掺杂的情况下,纳米a-Fe2O3就具有较好的气敏特性。其原因是纳米粒子具有较大的比表面积和较高的晶界比例,从而导致对气体的吸附能力的扩散能力增强。本文用原位XRD方法研究了纳米a-Fe2O3的气敏机理,结果表明,在还原性气氛和加热条件下a-Fe2O3并没有被还原成Fe2O3其气敏机理主要是表面效应控制型。 相似文献
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掺锑a—Fe2O3的结构和性能 总被引:4,自引:3,他引:1
用化学共沉淀与固相反应相结合的方法,在a-Fe2O3中掺入一定量的锑离子。X射线衍射(XRD)分析表明,掺锑量(Sb/Fe原子比)小于0.2,材料仍保持a-Fe2O3的晶体结构,但是加入量〉0.2时,有铁、锑复合氧化物生成。通过分析Sb的掺入对a-Fe2O3的晶粒生长及电学性质的影响,认为该系列材料的气敏性能有大幅度的提高,是锑的掺入改变了a-Fe2O3的气敏机理。 相似文献
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乙二醇甲醚体系中α-Fe_2O_3纳米晶制备与结构分析 总被引:2,自引:0,他引:2
研究了在硝酸铁乙二醇甲醚溶液体系中,用溶胶-乳化-凝胶法制备氧化铁纳米晶,首次将表面活性剂(SDS)引入溶胶-凝胶化过程,并采用一种高效缩合催化剂来加速此过程.结合TEM、XRD和TG-DTA分析手段对产物进行了表征,结果表明,加入的表面活性剂(SDS)有助于纯相α-Fe2O3纳米晶的生成,而缩合催化剂钛酸了酯的加入则大大缩短凝胶时间,所得粉体的原始晶粒尺寸为30nm左右.若以常用的硅酸乙酯代替钛酸丁酯,则胶凝时间明显延长,最终产物为β和α氧化铁的混晶相(γ-Fe2O3为主晶相),晶粒尺寸约为10nm,并从中提出了一条改进γ-Fe2O3基气敏材料性能的新思路. 相似文献
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本文用XRD和TEM研究了Fe_(73.5)Cu_1Mo_3Si_(13.5)B_9非晶合金在520℃,20-120min退火后形成的纳米晶结构。结果表明,晶化相为局部具有DO_3超结构的α-Fe(Si),尺寸约为14nm,α-Fe(Si)晶粒由DO_3有序区和无序区组成。随退火时间的延长,α-Fe(Si)的体积分数,Si含量及DO3有序区尺寸增加。在退火时间为60min时,残余非晶相处于一特殊结构状态。α-Fe(Si)相和残余非晶相结构对合金的起始磁导率均有影响。 相似文献
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PECVD法淀积氟碳掺杂的氧化硅薄膜表征 总被引:1,自引:0,他引:1
以正硅酸乙酯(TEOS)和八氟环丁烷(C4F8)为原料,采用等离子体增强化学气相淀积(PECVD)方法制备了氟碳掺杂的氧化硅薄膜(SiCOF).样品的X射线光电子能谱(XPS)和傅立叶变换红外光谱(FTIR)分析表明薄膜中含有Si-F、Si-O、C-F、C-CFx、CF2等构型.刚淀积的薄膜的折射率约为1.40.对暴露在空气中以及在不同温度下退火后薄膜的折射率做了测量,并对其变化机理进行了讨论,同时表明了理想的淀积温度应是300℃. 相似文献
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利用含有Ca,La和Fe成分的水溶胶(摩尔比为Ca:La:Fe=0.25:0.75:l),经浸渍──提拉──干燥──焙烧过程分别在玻璃衬底及Al_2O_3基片上制备了薄膜。通过XRD和XPS分析表明玻璃衬底上的薄膜是成分准确的钙钛矿结构的(Ca_0.25La_0.75)FeO_3薄膜,而Al_2O_3基片上的薄膜是成分不确切且呈混合相的薄膜;借助SEM观察了薄膜的表面微结构;测试Al203基片上的薄膜对酒精的气敏效应,发现在较低的工作温度下,薄膜对低浓度的酒精蒸气有高的灵敏度。 相似文献