矩形截面槽牵引分子泵分子流态下抽气特性的研究

本文对常见的矩形槽牵引泵在分子流态下的通道抽气机理进行了分析,建立了计算牵引泵抽气特性的数学模型,给出了等槽宽变槽深矩形牵引通道抽气特性的计算方法,对改进分子泵的设计具有实际意义。     

筒式牵引分子泵离心变形理论分析计算及其简化算法

本文分析了转子离心变形量计算在牵引分子泵设计中的重要性，给出了有限单元计算和经典力学计算两种方法，证明了两种计算方法的等效性，对指导牵引分子泵设计具有重要意义。     

涡轮分子泵三维叶列抽气性能简化计算的几率矩阵法

为了进一步提高泵的性能，现代涡轮分子泵的叶列形状越来越复杂，因此现有的一些计算方法使用时有一定的困难。然而，Ｙ·Ｗｕ［１］［２］提出的几率矩阵法能有效地解决各种复杂形状的叶列性能计算问题，但计算的工作量比较大，尤其是将二维模型改为三维的模型时，这个问题就更为突出。为此，我们利用简化的几率矩阵法，解决了三维模型的计算问题，节省了计算时间，理论计算与实验结果基本上一致［３］。     

涡轮分子泵曲面叶片抽气特性研究

涡轮分子泵广泛应用于半导体与薄膜工业、核物理及表面科学等领域,是获得超高真空环境的核心机械设备。本文从一体成型的涡轮转子的可加工性出发,提出了一种涡轮叶片的结构改进方案,并分别使用二维模型和三维模型对改进前后的结构进行性能评估:在相同几何结构下,二维模型计算单级涡轮叶列的何氏系数略高于三维模型,压缩比略低于三维模型。同时,改进模型在解决涡轮叶片叶根可加工性的同时,其最大何氏系数和最大压缩比均有一定程度的提升。     

无油分子泵机组的组装

介绍了将ALCATEL公司生产的一台ATPl00涡轮分子泵、一台MDP50ll牵引分子泵及一台VRC公司生产的lBy6型干泵组装成无油分子泵机组的过程。文中给出了泵间配合的计算、机组方案的设计、连接管路、仪器支架的设计及选择。本机组所采取的设计方案使三个泵都最大限度地发挥了优点避免了缺陷，较好地满足了使用要求，为今后选购单泵和组装无油分子泵机组提供了可靠的理论和实验依据。     

分子泵中螺旋通道在过渡流和滑流态抽气特性的研究

螺旋通道过渡流和滑流状态下抽气特性的理论是分子泵研究的最重要的课题之一。在这篇文章中，介绍了一种螺旋槽移动的计算抽气特性的理论模型。根据这一模型，可以模拟分子泵在过渡流和滑流工作条件下的抽气性能。这一理论模型是ＭＤＰ设计的基础和抽气特性优化的必要条件。     

涡轮分子泵抽气性能计算的误差分析

采用数据回归方法,建立了不同叶片倾角、节弦比条件下单级涡轮叶片正反向传输几率与速度比的数学关系式,通过计算机编程可直接获得单级涡轮叶片的正反向传输几率,进而求出涡轮叶片的抽气性能,提高了计算效率。分别采用涡轮叶片几何中值参数计算方法、沿涡轮叶片齿长逐段积分方法,对单级涡轮叶片和涡轮分子泵的抽气性能进行了计算,并与实验结果进行了对比。发现:采用涡轮叶片几何中值参数计算涡轮叶片抽气性能存在误差,对涡轮分子泵抽气性能的计算值偏高,其计算误差远大于分段积分法的计算误差,后者更适用于对分子泵抽气性能的设计计算。     

轨道分子屏极高真空系统的抽气方程

地面真空系统中,气体处于封闭的真空容器内,达到平衡状态时,真空系统的抽气方程式是:P=Q/S;轨道分子屏系统是开放的,或者说具有部分真空容器,相应的抽气方程应该是怎样的形式呢?本文提出了一个物理模型,推导出了半球型及球冠型轨道分子屏极高真空系统的抽气方程.通过解含时间的微分方程,可得到相同的抽气方程.该方程适用于其它形状的轨道分子屏极高真空系统.     

涡轮分子泵叶列抽气性能的计算方法改进

涡轮分子泵广泛应用于清洁高真空的获得。本文采用实验粒子蒙特卡洛算法,使用COMSOL对二维模型进行计算,更新了单级叶列抽气性能参数数据库,并在此基础上提出了计算涡轮叶列传输几率的新方法——面积加权法,同时根据改进算法编写计算程序。面积加权法更加接近于涡轮叶列的工况,使用此方法提高了计算准确度,为涡轮分子泵组合叶列的计算提供了可靠的支撑,为涡轮分子泵设计与性能评估提供了方法与依据。     

分子泵的世纪回顾与展望

分子泵自1912年诞生以来,至今已快近一个世纪了,它在初期进展较缓慢,在1970年以前,分子泵的应用还仅限于核物理,电真空,表面科学等领域,但近20年来由于半导体产业的兴起和薄膜工业的发展,分子泵才被人们所重视,并得到了兴旺和发达,现代的分子泵已发展到实用和普及的阶段,本文回顾了分子泵分析近百年的发展历史,详细地介绍了分子泵在各个时期的发展状况,对初期的分子泵,涡轮分子泵,磁悬浮轴承和气体静压静轴式涡轮分子泵,复合式分子泵,低温型涡轮分子泵,新型牵引分子泵,陶瓷涡轮分子泵,轴反应生成物的涡轮分子泵和极高真空涡分子泵等做了重点的分析,最后指出分子泵的发展前景。     

螺旋槽式牵引泵过渡流态抽气特性的直接蒙特卡洛模拟

为研究螺旋槽式牵引分子泵(DMP)过渡流态下的抽气特性,采用直接模拟蒙特卡罗(DSMC)方法对抽气通道内的流动规律进行了数值模拟.通过数值模拟,考察了抽气通道几何参数:入口、出口槽深,槽长,螺旋升角以及螺旋槽数量与泵抽气特性参数:传输几率的关系.模拟结果表明:增加抽气通道入口槽深可提高泵的抽速;出口槽深、螺旋倾角均存在最佳值,可获得大的抽速和压缩比;延长槽长、增加槽数对抽速影响不大,可以提高压缩比.本文的研究结果表明,直接模拟蒙特卡罗方法可以较好地模拟牵引分子泵三维抽气通道内过渡流态的流动特性,可用于优化设计抽气通道几何参数,提高牵引分子泵的抽气性能.     

现代分子泵理论研究与进展

本文根据分泵的发展过程，重点对分子泵在分子流和过渡流态下的理论计算方法进行了系统的评价和讨论。并对当前分子泵的理论研究提出了建议。     

间隙对涡轮分子泵抽气特性影响的蒙特卡罗模拟

本文建立了包括间隙泄漏在内的涡轮叶片三维分子动力学抽气模型．运用ＭｏｎｔｅＣａｒｌｏ方法计算单叶列的抽气性能，研究了涡轮分子泵中运动叶列顶端与泵壁间的间隙泄漏效果．计算结果展示出间隙相对叶列长度的大小（间隙比）对压缩比有很大影响，尤其是在高的叶列运动速度和重分子量气体下抽气．间隙效果对抽速影响较小．     

涡轮分子泵入口结构改进的计算研究

针对涡轮分子泵的入口管道束流效应和涡轮端盖反射效应对传输几率的不利影响、以及大口径涡轮分子泵与小型仪器相连接的难题, 本文提出分子泵入口结构的改进方案:将涡轮转子的平板端盖改成锥形反射屏结构, 把过渡连接件做成圆弧过渡段结构。文中根据实际结构参数, 建立了不同结构类型的计算模型, 采用试验粒子蒙特卡洛方法, 基于自由分子流态基本假设, 利用Molflow+软件, 计算了各个结构模型的传输几率。计算结果表明:当倾角α的取值范围在60°~70°、圆锥底角β的取值范围在25°~45°之间时, 理论上可将涡轮分子泵的抽气速率提升5%左右。     

低温水泵和分子泵组合替代低温泵的新设备

本文介绍了一种新型超高真空辅助设备－低温水泵,用之和分子泵组合,可以获得１０＾－８Ｐａ的清洁超高真空,用在半导体集成电路生产过程中,可以使产品质量以及生产效率均得到改善和提高,抽气机理以及设计要点均在文中有所论述。     

两种螺旋通道结构牵引分子泵的性能比较

这篇文章主要介绍了计算两种牵引分子泵抽气特性的理论模型。利用模型可以模拟牵引分子泵在过渡流和滑流工作条件下的抽气性能。     

溅射离子泵阳极筒-阴极板间距对抽气特性影响的数值研究

建立了描述溅射离子泵抽气单元抽气特性的计算模型.采用商业软件COMOL Multiphysics,将等离子体模块、磁场模块、带电粒子追踪模块进行耦合,计算得到了阳极筒内潘宁放电特性参数、气体离子入射阴极板能量和角度.引入非垂直入射溅射产额公式,计算得到阳极筒内壁溅射产额及抽气单元抽速.模拟计算结果与实验数据的对比表明,...     

三级差分抽气分子束质谱装置的设计和研究

研制了具有三级涡轮分子泵差分抽气系统的分子束质谱装置,该装置在１３３００Ｐａ典型气体采样压力下,三级差分抽气区的压力分别达到５×１０＾－１,３×１０＾－３,１．２×１－＾－４Ｐａ。利用该装置,已成功地实现了对活性离子物种Ｎ＾＋和Ｎ２＾＋的“原位”检测。