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以硅基板镀制单层HfO2薄膜前后的表面微观形貌的变化为例,开展了光学表面功率谱密度的计算及表征研究。首先给出了一维功率谱密度(PSD1D)、二维功率谱密度(PSD2D)以及各向同性功率谱密度(PSDISO)的计算方法和具体步骤。然后使用原子力显微镜测量了硅基板镀膜前后在1 m1 m、5 m5 m、10 m10 m、20 m20 m四种扫描尺寸下的表面轮廓。在此基础上使用MATLAB编程计算得到这四种扫描尺寸下的PSDISO,对这些PSDISO使用几何平均算法拼接得到具有足够大频率范围的PSDISO-Combined。结果显示,硅基板镀膜前后的PSDISO-Combined在低频段基本相同,中高频段出现了明显差异。分析指出这是由镀膜后表面柱状晶体结构引起的。提出了对PSDISO在频域上积分得到表面均方根粗糙度ISO,再同由定义式计算得到的STD作对比的方法。计算得到的ISO与STD基本相同,验证了PSDISO计算方法的准确性。 相似文献
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根据分形几何理论,用W-M函数表征压阻式加速度传感器固支梁的表面形貌,并且提出把分形参数D与传统统计参数Ra结合起来共同评定微观形貌质量。利用MSA-400-TPM2型白光干涉仪对其进行测量,通过实验验证。 相似文献
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研制了一种用于大面积光学薄膜表面无损表征的新型原子力显微镜(AFM)。利用开放式样品台及探头系统可检测大尺寸、大重量的样品。样品最大尺寸可达600 mm×1000 mm。利用X、Y方向上的步进电机可实现探头在大尺寸样品表面任意位置的定位。另外还设计了优化的光点跟踪光路以实现大范围扫描成像,在扫描范围和反馈范围增大的同时,保持了较高的精度。利用步进电机和扫描器配合扫描,可得到序列图像,通过序列图像的拼接可获得更大范围的扫描图像。本文中测试了三种大面积薄膜样品,实验结果表明,单幅扫描图像最大范围达20 μm×20 μm,同时保持高的横向及纵向分辨率。 相似文献
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《电子工业专用设备》2008,37(7)
领先的晶圆处理技术及设备供应商WaferMas-ters Inc.近日宣布推出激光光学表面光度系统OSP-300。该系统可提供内嵌式非接触表面轮廓表征,用于各个工艺步骤问,该产品可用于研发和生产。 相似文献
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应用原子力显微镜观测牙齿充填材料的表面结构 总被引:1,自引:0,他引:1
牙齿充填材料用作粘结剂并与口腔内液体相互作用时,它的表面结构和表面粗糙度都起着十分重要的作用,且牙齿充填材料的表面结构和表面粗糙度与牙菌斑的形成也有很大的关系。原子力显微镜具有很高的分辨率,可对样品的表面结构进行直接观测。本文利用原子力显微镜对牙齿充填材料的表面微观结构进行了观测和量化分析,得到了表征样品表面结构的原子力显微镜图像和样品表面的粗糙度等参数。 相似文献
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标准化是当前扫描探针显微镜领域(SPM)的一项重要工作.国际标准化组织ISO自2004年起已经将SPM标准化列入其工作框架之内,并建立了相关的分委员会、技术委员会和工作小组.本文介绍了国际上当前有关SPM标准化方面努力和主要趋势:SPM术语的标准化被认为是SPM标准化工作范围内首先需要考虑的问题,其相关标准即将发表;SPM数据管理及处理的标准化则是另一项正在进行的有利于数据访问、处理和共享的重要工作.可溯源计量型原子力显微镜(AFM)的发展解决了纳米尺度的度量问题,能够通过对标准物质进行定量分析与定标实现量值的传递.当前发展能够被计量型AFM鉴定的参考物质以及标准化仪器校正过程是实现SPM标准化之前的当务之急.为了促进SPM领域ISO标准的实现,一种新的针尖特性表征结构(tip characterizer)已经被开发出来.这种tip characterizer由超晶格组装技术实现,能够描述针尖的形状并且同时进行侧向尺度的校正.本文探讨了这种新型tip characterizer的性能.这种tip characterizer不易损坏针尖,具有很好的重复性,并能帮助实验观察分析针尖形状和结构几何特性之间的关系. 相似文献
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在电场力显微镜(EFM)下利用不同金属镀层微探针,在微纳米尺度下对聚酰亚胺薄膜的表面电荷生成特性进行研究。采用电场力显微镜导电探针在聚酰亚胺薄膜表面注入电荷,并对微纳米区域产生的电荷进行表征,结果表明不同金属镀层的微探针对聚酰亚胺薄膜上电荷注入效果不同。铂铱合金镀层具有比钴铬合金镀层更高的功函数fm,因此前者在金属-电介质接触中产生更大肖特基势垒,进而降低了电荷的注入程度。该研究为微纳米尺度下探索聚合物绝缘材料表面电荷生成、发展机理提供了一个新的研究方法和途径。 相似文献
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扫描探针显微镜(SPM)作为一种广泛应用的表面表征工具,不仅可以表征三维形貌,还能定量地研究表面的粗糙度、孔径大小和分布及颗粒尺寸,在许多学科均可发挥作用.以纳米材料为主要研究对象,综述了国外最新的几种扫描探针显微表征技术,包括扫描隧道显微镜(STM)、原子力显微镜(AFM)和近场扫描光学显微镜(SNOM)等方法,展示了这几种技术在纳米材料的结构和性能方面的应用. 相似文献
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扫描电子显微镜(SEM)作为一种行之有效的科研分析工具,可对多种植物材料的表面形貌进行观察研究,具有较广的应用范围.本文论述了扫描电子显微镜样品的制备以及在植物花器官、种子表皮、种子形态、叶片表皮、内含物、病原体以及在植物细胞水平的研究进展,并对今后扫描电子显微镜的应用前景进行了展望,以期为利用SEM从事植物研究的科研... 相似文献
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激光共聚焦显微镜在磨损表面粗糙度表征中的应用 总被引:2,自引:0,他引:2
磨损是材料常见的表面失效现象,粗糙度是数字化描述材料磨损表面形貌特征的最常用参数.采用激光共聚焦显微镜(LSCM),通过调节物镜倍率、测量视场和过滤参数等,能够得到材料磨损表面的真实形貌,同时能够对磨损表面三维(3D)形貌特征进行精确数字化描述.对常见的粗糙度值0.5~2.0μm磨损表面采用20×物镜扫描测量比较合适;粗糙度小于0.5μm的磨损表面宜采用50×物镜;粗糙度大于2.5μm宜采用10×物镜.对比较规则的磨损表面,采用1~3个物镜视场叠加扫描即可得到比较精确的粗糙度值;对于不太规则的磨损表面,则需要3~5个物镜视场叠加扫描.借助这一手段,采用上述优化参数对Cr5冷轧辊材料磨损各阶段试样表面形貌及粗糙度轮廓曲线进行表征、分析,效果较好. 相似文献
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应用扫描电子显微镜对番荔枝属九个番荔枝品种的叶表面角质、蜡质、表皮毛、气孔等微形态进行了观察比较.结果显示:它们之间的叶表面表皮毛、角质、蜡质和气孔等微形态均有较大的差异.秘鲁番荔枝、AP杂交番荔枝、无核番荔枝上下表面均具有单列丝状毛,气孔只分布于下表面;普通番荔枝、圆滑番荔枝、粗鳞番荔枝叶表面均无表皮毛;秘鲁番荔枝、AP杂交番荔枝、普通番荔枝、粗鳞番荔枝上下表皮角质呈不规则的岛状突起,而圆滑番荔枝、无核番荔枝表面角质较平,角质膜形状不甚清晰;以上所述番荔枝叶表面都覆盖有密厚的针晶状蜡被;除圆滑番荔枝的气孔有副卫细胞外,其它气孔只有保卫细胞而无副卫细胞;刺番荔枝、山刺番荔枝、牛心番荔枝的叶表皮毛为短棍棒状,其表皮角质细胞呈乳突状或波状突起;山刺番荔枝的棒状毛顶端钝圆,而刺番荔枝与牛心番荔枝的棒状毛顶端尖锐;刺番荔枝和山刺番荔枝只有下表皮才具有棒状毛,其气孔形状近似圆形,孔口略内陷于表皮层,牛心番荔枝表面角质呈不规则波状突起,气孔细长稍突.由于这些不同的叶表面微形态是长期受各物种原产地的气候、环境条件影响所形成的,因此研究番荔枝品种的叶表面微形态结构,对正确引种和推广番荔枝果树种植有着重要的意义. 相似文献
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石墨表面扫描隧道显微镜纳米级加工研究 总被引:2,自引:0,他引:2
利用自制的扫描隧道显微镜(STM),进行了石墨表面的纳米级加工研究.在用STM对固体材料表面进行纳米级超微加工过程中,当探针-试样间施加一高电压脉冲时,电子反馈回路将使探针急速回缩,导致实际有效电压脉冲宽度远小于所施加的电压脉冲宽度.我们专门设计了由计算机编程控制的瞬时"保持"功能,即在高电压脉冲作用过程中,使探针始终固定在原有位置,并保持原有探针-试样间距不变.因而在进行固体材料表面纳米级超微加工时,可准确地测得有效电压脉中宽度.通过在大气中对石墨表面的蚀刻研究,首次测得在电压脉冲幅值为4V时,有效脉宽阈值为(0.04±0.01)μs. 相似文献
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本文综述了我们利用扫描隧道显微镜和低能电子衍射对锗硅表面结构和动态过程进行了系统化和比较性的研究。研究结果除了具有重要的基础意义外,对半导体异上延生长衬底选择以及量子线和量子点自组织生长模板的选择都有指导意义。 相似文献
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采用直流电化学刻蚀方法制备扫描隧道显微镜钨针尖,研究了电化学刻蚀过程中NaOH溶液浓度、钨丝浸入长度和刻蚀电压对针尖形貌的影响。通过扫描电子显微镜(SEM)测量针尖曲率半径和针尖纵横比值,以表征针尖的尺寸和形状;通过能谱仪(EDS)分析针尖表面成分,以表征表面清洁度;通过场发射显微镜(FEM)得到Fowler-Nordheim (F-N)曲线来检测针尖发射性能。实验结果表明,当溶液浓度为2 mol/L、钨丝浸入长度为4 mm、刻蚀电压为3 V时,可以得到曲率半径约为100 nm、纵横比值为13的针尖,且表面无钨的氧化层。FEM结果显示当对针尖施加500 V的负偏压时,针尖可以稳定发射50 nA量级的电流,且针尖性能具有良好的一致性。 相似文献