准分子激光在微光刻技术中的应用

<正>IBM公司研究人员于1982年首先将准分子激光技术应用在半导体光刻工艺中。此后,逐步商品化的准分子激光技术成功的用在接触式光刻和掩膜制造工艺中。但其最终目标是将这一技术用于分步投影光刻机中,因为它是当前半导体器件制造的关键设备。自从1986年AT&T贝尔实验室报导了他们研制的世界上第一台准分子激光分步投影光刻机之后,许多实验室及光刻机制造厂商开展了这个项目的研究工作。一些厂商开始接受用户订单。准分子激光用于分步投影光刻技术的前景看来是光明的。     

用准分子激光标刻硅片

加拿大安大略州Lumonics公司的准分子激光器正用于标刻系统。该系统是这家公司的激光标刻机产品系列中新的改进型。激光标刻机的工作原理是:让一束激光通过一块模板，把模板的象聚焦在待标刻的物件上。聚焦光束的强度足以从物体表面除去部分材料，从而形成由模板所限定的图象。     

西德研制成折射率为0.63的激光玻璃

西德玻璃商Schott玻璃公司把一种激光玻璃公诸于众，它的相对非线性折射系数只有0.63是个空前低的值。与至今其他公司生产的最好的激光玻璃的折射系数0.9~0.95相比，这样小的系数使Schott的材料非常适合于高能应用。     

西德购买美国的激光跟踪系统

西德武器技术采购局(West German Bureau of weapons Technology and Procurement)将购买GTE夕尔凡尼亚公司电光部生产的车载式激光跟踪系统。这种激光跟踪系统能记录空中飞行目标(飞机和导弹)的速度和位置,跟踪距离达40公里(带合作目标的飞行器),系统的成本比照相系     

复杂微光刻图形版图设计系统

介绍了一种自主开发的复杂微光刻图形版图绘制系统。该系统能根据用户的要求自动成组地批处理各种圆环、螺旋线、椭圆环、扇形、条形码等图形，以及根据用户输入的任意表达式来生成特殊形状图形，同时它具有方便的图形形态处理功能，包括图形任意角度的旋转、旋转拷贝功能；重叠图形和回字图形挖空并加工辅助功能；位图格式图形轮廓化处理功能及图形切割、切块功能等。该系统极大地提高了目前集成电路版图设计工具软件绘图功能，使其更能适用于微电子、微光学、微机电系统等微光刻领域的复杂图形设计，是一种实用性很强的软件模块。     

准分子激光线宽对光刻性能的影响

描述了激光线宽对光刻过程的影响模型建立过程中所使用的方法.成像透镜产生的色差结合实际激光光谱可以把激光线宽的影响包括在光刻模拟的模型中,使用PROLITH软件模拟了线宽对空间像的临界尺寸、焦深、曝光宽容度的影响,孤立线和半孤立线条尺寸在240nm到140nm的范围内完成研究.实验结果表明,光刻过程中增加激光线宽使空间成像质量变差,较大的线宽也导致了曝光宽容度的损失.     

准分子激光直刻横向影响区实验研究

采用248nmKrF准分子激光直接刻蚀金属和半导体,在加工后的试件表面上观察到了横向影响区。将其定义为两个部分,通过各部分的大小和颜色变化情况来描述横向影响的程度,研究了它们与激光参数之间的关系。在实验结果的基础上,提出了减小横向影响区的措施和方法。     

准分子激光曝光系统研究

本文基于准分子激光曝光系统的特点，对准分子激光束的整形，光束能量分布“均化”，曝光剂量控制，光学材料选取等关键问题，提出了解决的方法。并介绍了一种高均匀性ＫｒＦ准分子激先曝光系统的研制结果。     

美国运输机机载激光系统研制进展

美国运输机机载高能激光(AHEL)系统是下一代武器,能够在复杂环境中实施精确地隐秘打击。第1套实战化的机载激光武器,将在2022年进行演示试验。首先介绍了AHEL系统的应用需求、研制计划,并分析了系统结构和面临的技术挑战。其次梳理了AHEL系统的研制进展,并由系统参量评估了AHEL系统的作战性能。综合分析可知,AHEL系统采用最佳组件,通过快速原型方法,实现了激光武器系统在AC-130J飞机上的集成,并借鉴了以往机载激光计划的经验教训,降低研制风险。最后分析了其下一步的技术发展方向。     

全固态激光系统可替代准分子激光器

可调谐激光源已成为包括光化学、光谱学和激光遥感在内许多重要激光研究领域中不可或缺的器件。从 70年代中期起 ,Nd∶YAG激光抽运染料激光器就是世界各实验室的常用器件。 Ti∶宝石激光器和光参量振荡器等可调谐激光系统的出现带来了前所未有的性能和可靠性。但可以预见 ,对于需要高光谱亮度 (窄带宽 )的应用 ,其商业化进程将很慢 ,这在很大程度上是因为这些系统的大小和复杂性。Positive Light公司采用斯坦福大学的专利许可 ,开发了新一代紧凑的可调谐固体激光器 ,将满足窄带宽、大范围可调谐系统的需求。它正在汽车、航空和工业场合及…     

用准分子激光系统探测臭氧

美国宇航局戈达德空间中心研究人员正利用臭氧层吸收XeCl准分子激光辐射的特点来监测地球臭氧保护层消耗的情况。     

紫外可调频准分子激光系统

报道一种结构简单的紫外可调频放电泵浦准分子激光系统,只用一个火花隙控制两台准分子激光器实现了振荡放大。在XeCl(中心波长308毫微米)谱区实现了调频输出,单脉冲能量11毫焦耳,带宽0.07毫微米,束散角约为0.2毫弧度。     

带激光辅助照明的微光夜视仪的研制

文章叙述了带激光辅助照明的夜视仪的研制,它利用激光照明和CCD成像克服了传 统微光夜视仪的缺点。研制的样机通过多次外场试验证实已达到了设计要求。     

美国研制最强激光

美国专家目前正在研制世界上最强的激光。在一座足球场大小的实验室里,研究人员将192束激光汇聚于300m外—个橡皮大小的目标上。在这千分之一秒的传播时间当中,激光能量将被提高数十亿倍,产生能量相当于美国全国发电总量1000倍的短暂激光脉冲。这些脉冲将被用     

微光机电系统的微绞链研制

本文讨论了非硅微机械工艺和微绞链的研制工艺。我们研制的非硅表面微机械工艺采用两次或三次掩模电镀层，聚酰亚胺和光刻胶分别作为底层和第二、第三层的牺牲层。用这套工艺，研制成功了三种不同种类的微绞链。微绞链能在基片表面作０—１８０度自由转动。     

新型准分子激光屈光矫正治疗仪的研制

本文详细介绍了新型准分子激光屈光矫正治疗仪的研制机理。对治疗仪的光路及其软、硬件系统进行了全新设计。并制作出ArF准分子屈光矫正治疗仪。实验证明,扫描质量和系统可靠性均得到明显改善。     

激光标刻系统技术参数分析

介绍了激光标刻的应用领域和加工原理,并详细说明目前三种常见激光标刻方式的特点。以振镜扫描式激光标刻为例,分析激光标刻系统技术参数对加工效果的影响,以及分析影响标刻质量的主要参数。     

美国“首次”进行准分子激光手术

据说,堪萨斯城眼科专家John D.Hunkeler博士做了第一个美国准分子激光手术,为一位73岁的患者校正散光眼.