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合肥工业大学朱武、干蜀毅编著、王先路教授主审的《真空测量与控制》一书于2008年4月由合肥工业大学出版社出版发行。《真空测量与控制》系统介绍了真空测量、真空校准、真空检漏、真空控制的原理和方法。主要内容包括:真空测量技术、液位式真空计、热传导真空计、热阴极电离真空计、冷阴极电离真空计、分压力测量和残余气体分析、真空计校准、真空检漏的基 相似文献
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合肥工业大学朱武、干蜀毅编著、王先路教授主审的《真空测量与控制》一书于2008年4月由合肥工业大学出版社出版发行。《真空测量与控制》系统介绍了真空测量、真空校准、真空检漏、真空控制的原理和方法。主要内容包括:真空测量技术、液位式真空计、热传导真空计、热阴极电离真空计、冷阴极电离真空计、分压力测量和残余气体分析、真空计校准、真空检漏的基 相似文献
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合肥工业大学朱武、干蜀毅编著、王先路教授主审的《真空测量与控制》一书于2008年4月由合肥工业大学出版社出版发行。《真空测量与控制》系统介绍了真空测量、真空校准、真空检漏、真空控制的原理和方法。主要内容包括:真空测量技术、液位式真空计、热传导真空计、热阴极电离真空计、冷阴极电离真空计、分压力测量和残余气体分析、真空计校准、 相似文献
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依据JJG45-1999《比对法校准真空计校准规程》,使用真空计量装置对ZDK-I型真空计进行示值误差测量,并对测量结果不确定度进行了分析评定,给出测量结果不确定度的报告。 相似文献
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为了便于开展电离真空计的绝对检定和付标准电离真空计的相对检定,我们研制了单级玻璃小孔校准装置。小孔片是由玻璃片打孔后再经研磨抛光而制成的,小孔的边缘呈刀口状,刀口厚度为0.5毫米,小孔片被安装在两个玻璃球泡相切的位置上。被校规管被接在校准室球泡的赤道位置上。参考标准是滴定管式流量计。真空获得是用大口径抽速的玻璃凸腔泵。整个装置的设计和加工要求尽可能地符合国际标准。不用烘烤在启动扩散泵后二个小时校准室即可达 10-7托真空度。在10-3-10-5托量程里对电离真空规的总校准误差小于±5%。 一、按准装巨的原理和结构 小孔… 相似文献
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合肥工业大学朱武、干蜀毅编著、王先路教授主审的《真空测量与控制》一书于2008年4月由合肥工业大学出版社出版发行。《真空测量与控制》系统介绍了真空测量、真空校准、真空检漏、真空控制的原理和方法。主要内容包括:真空测量技术、液位式真空计、热传导真空计、热阴极电离真空计、冷阴极电离真空计、分压力测量和残余气体分析、真空计校准、真空检漏的基本原理、各种检漏方法、氦质谱检漏仪及其它检漏仪、标准漏孔、真空测量仪器电路、真空设备与系统的自动控制等。 相似文献
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合肥工业大学朱武、干蜀毅编著、王先路教授主审的《真空测量与控制》一书于2008年4月由合肥工业大学出版社出版发行。《真空测量与控制》系统介绍了真空测量、真空校准、真空检漏、真空控制的原理和方法。主要内容包括:真空测量技术、液位式真空计、热传导真空计、热阴极电离真空计、冷阴极电离真空计、分压力测量和残余气体分析、真空计校准、真空检漏的基本原理、各种检漏方法、氦质谱检漏仪及其它检漏仪、标准漏孔、真空测量仪器电路、真空设备与系统的自动控制等。 相似文献
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马志兵 《真空科学与技术学报》2013,33(2)
介绍了一种基于扩散硅传感器的低真空测量仪表YZ-111型压阻真空计.仪表由传感器单元、信号调理单元、A/D采集单元、中央处理单元、按键和显示单元等组成.该仪器采用进口扩散硅压阻式传感器.信号被调理后由高精度数字采集系统采集、分析,直接输出数字信号.配以温度补偿技术,保证它的高精度.通过用高精度真空计校准,并与之比较,其测量结果达到预期. 相似文献
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正合肥工业大学朱武、干蜀毅编著、王先路教授主审的《真空测量与控制》一书于2008年4月由合肥工业大学出版社出版发行。《真空测量与控制》系统介绍了真空测量、真空校准、真空检漏、真空控制的原理和方法。主要内容包括:真空测量技术、液位式真空计、热传导真空计、热阴极电离真空计、冷阴极电离真空计、分压力测量和残余气体分析、真空计校准、真空检漏的基本原理、各种检漏方法、氦质谱检漏仪及其它检漏仪、标准漏孔、真空测量仪器电路、真空设备与系统的自动控制等。 相似文献
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介绍用磁控溅射制作的从大气往真空约覆盖5个量程的“绝对型”电容薄膜真空规，以及与该真空规配套的真空计的电路。该真空计测量范围为1．3～105Pd，真空规与电容信号检测电路置于同一金属壳内，以避免外界干扰。规的恒温胜温度波动小于±0．1℃，有效地降低了温度的影响。电路的非线性小于0．4％，高真空下北输出漂移小于0．1％，在13～105Pa各量程内，最大校准误差小于读数的4％。 相似文献
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正合肥工业大学朱武、干蜀毅编著、王先路教授主审的《真空测量与控制》一书于2008年4月由合肥工业大学出版社出版发行。《真空测量与控制》系统介绍了真空测量、真空校准、真空检漏、真空控制的原理和方法。主要内容包括:真空测量技术、液位式真空计、热传导真空计、热阴极电离真空计、冷阴极电离真空计、分压力测量和残余气体分析、真空计校准、真空检漏的基本原理、各种检漏方法、氦质谱检漏仪及其它检漏 相似文献
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序言 低于大气压的压力状态称之为真空,真空度可定义为该状态下的压力,这个定义能够连续地表现从低真空到超高真空整个真空范围的压力状态。 为使物理量的标准能够被广泛地应用,.必须建立2个标准:即具备绝对标准和为了能够将绝对标准与实际许多测量值联系起来进行比较的副标准。在日本工业标准中,规定了标准的各种真空度的测量法。在日本电子技术综合研究所,用麦克劳真空计等真空度标准的计量装置,保持着10-3托以下压强的真空度标准。用这套装置校准,作付标准用的电离真空计,可以通过日本真空协会得到,该标准系统的详细情况本刊已有介绍。本… 相似文献
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<正>合肥工业大学朱武、干蜀毅编著、王先路教授主审的《真空测量与控制》一书于2008年4月由合肥工业大学出版社出版发行。《真空测量与控制》系统介绍了真空测量、真空校准、真空检漏、真空控制的原理和方法。主要内容包括:真空测量技术、液位式真空计、热传导真空计、热阴极电离真空计、冷阴极电离真空计、分压力测量和残余气体分析、真空计校准、真空检漏的基本原理、各种检漏方法、氦质谱检漏仪及其它检漏 相似文献