新型扫描电镜最佳工作参数的模拟

扫描电子显微镜中的背散射电子信号强度与原子序数大小成正比 ,在尝试利用背散射电子信号来获取样品表面的原子序数衬度分布时 ,未经精细抛光样品表面形貌的起伏对背散射率有明显的影响 ,甚至在平均原子序数较小的区域可能会探测到对应较大原子序数的背散射电子信号。为防止这一现象的发生 ,已有一种新型的分析扫描电子显微镜问世[1,2 ] ,该电镜具有二级电磁透镜系统 ,经第一级透镜初聚的电子束再经物镜聚焦到样品表面 ,背散射电子的探测系统位于两透镜之间 ,背散射电子和入射电子经一弱磁场分开后进入探测系统 ,因此该电镜可探测 1 80°左…     

低入射能量下电介质样品出射电子特性

近年来,低入射能量下电介质样品出射电子特性研究在电子显微成像、电子束曝光等领域得到了广泛关注。结合数值计算和实验测量,研究和分析了石英样品出射电子电流的动态变化特性及相关因素的影响。结果表明,二次电子能谱的峰值半宽度比金属样品要小,几率最大的出射能量约为2 e V。随着电子束持续照射,表面电位逐渐下降并趋于稳定,二次电子电流逐渐增大至稳定值,背散射电子电流基本保持不变。稳态二次电子电流和背散射电子电流随入射能量的变化基本保持不变,二者随束流增大近似线性增大。样品台偏压越高,二次电子电流越小,背散射电子电流基本不变。     

一种伽码激光的实现方式

提出了波长为λi的入射激光与速度为v0、通过波长为λw周期磁场的电子束背散射产生波长λf激光的方案。只要v0足够大,就有λf远小于λi。扭摆磁铁覆盖有缝隙的超导片后,λw虽不变,但有效背散射区纵向长度s能显著减小。足够强的入射激光也能使s显著减小。与电子束平行的激光谐振腔能产生强度足够大的入射激光。这样,波长λf激光就能实现。即使出射激光的光子数少于入射激光光子数,出射激光的功率仍可以大于入射激光的功率。     

低失能近轴背散射电子的探测及应用

介绍了扫描电镜中的一种背散射电子采集和测量系统，该系统能探测那些较低能量损失且散射角接近180°的背散射电子。测量了在Au、Pt、Ag和C靶中的低失能近轴背散射电子的背散射率。结果显示该探测系统比常规电镜中的探测系统具有更高的成分衬度，因此在靶成分的分析中有广阔的应用前景。     

定向铸造Ni基合金的组织及取向的研究

北京有色金属研究总院近几年在国家科委支持下对本院的JSM-840扫描电镜进行接收系统和数据处理系统的技术改造。自行研制和装配了电子背散射衍射装置及编写了自动识别和标定菊池花样程序。实现了扫描电镜电子背散射衍射图像接收、数字处理和全自动的标定电子背散射衍射花样。     

新型背散射电子探测器的应用

新型背散射电子探测器是由鲁宾逊(Robinson)于1974年最先提出来的。这种探测器由大型闪烁晶体与光电倍增管组成。它具有2000mm~2的接收表面,拥有大的接收立体角和短的工作距离,从而增强了信号强度,改善了信噪比。近年来,针对低原子序数,表面平坦的样品,其分辨率不高的缺点,又推出了适于超低压观察的低电压背散射电子探测器。因此,在扫描电子显微镜中得到广泛的应用。新型背散射电子探测器与其它类型的背散射电子探测器相比,其获得的图象有以下特点:一、具有与二次电子图象相当的空间分辨率——3nm。     

表面离化函数φ（0）的研究

用试验方法测定了不同衬底材料上各种薄膜的表面离化函数Φ（０），并与Φ（０）的计算值加以比较。在计算中引入了一个有效的电子背散射系数，代表了衬底，薄膜原子序数不同时对Φ（０）的综合效应。在此基础上，详细讨论了Φ（０）值与衬底、薄膜二者的电子背散射系数，以及薄膜质量厚度的关系。     

ISO/FDIS 24173电子背散射衍射取向测定方法通则

为了更好规范、推广电子背散射衍射分析技术,本文介绍了EBSD取向分析方法标准化的形成过程,基于GB／T19501—2004（（电子背散射衍射分析方法通则》标准,由中国主导起草并负责、制订的ISO24173（（电子背散射衍射取向测定方法通则》国际标准各阶段制订过程。作为ISO24173召集人,宝钢负责组织国内、外专家组制订该标准,目前已顺利进入FDIS阶段。文中还列出ISO／FDIS24173标准目录及标准各条款的主要内容。     

电子背散射衍射系统的研制和改进

电子背散射衍射装置是获取材料的亚微米的范畴晶体学信息扫描电镜附件 ,此装置可在观察材料的形貌及分析成分的同时研究材料的取向关系。本文介绍了两种不同档次的电子背散射衍射接收系统 ,该系统的CCD以快速方式接收的灵敏度为 5mlux,积累方式接收的灵敏度为 1 0 μlux ,分辨率为 51 2dpi,像元数分别为 51 2× 51 2× 8bit、51 2× 51 2× 1 6bit,扫描卡最高的分辨率为 4 0 96× 4 0 96,并成功地安装在北京有色金属研究总院JSM 84 0扫描电镜上。此系统设计合理、结构简单、操作方便安全。同时编写了识别和标定电子背散射衍射花样的软件     

MonteCarlo方法在微束分析中的应用

我们发展了一种新的ＭｏｎｔｅＣａｒｌｏ模型用于模拟电子在固体中的散射过程和级联二次电子的产生及发射过程。这个模型不含参数，而且模拟计算出的背散射电子的能量分布与实验结果符合极好，证实了ＭｏｎｔｅＣａｒｌｏ模型对于理解电子能谱分析技术和扫描电子显微术中的物理过程是极为有效的。