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新的光学薄膜——类金刚石碳膜 总被引:1,自引:0,他引:1
众所周知,金刚石非常有用,但在某些工业领域里,比如半导体工业或光学工业中,需要金刚石薄膜。到目前为止,虽很少制得真正的金刚石薄膜,却也获得了很大的进展。采用等离子体淀积技术或离子束工艺已制备出了类金刚石的碳膜,这种碳膜也可称它为菱形碳膜或无定形碳膜。其电阻率可达10~(12)Ω·cm,折射率为1.9~2.0,在2~20μm间没有严重的吸收带,莫氏硬度达8级。用它作锗的增透膜,锗片厚度为1mm,在10.6μm处透射率可达93~95%。一、制备类金刚石碳膜的几种方法热分解淀积在低压下热分解烃气使碳沉 相似文献
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《大气与环境光学学报》1997,(2)
国家“863”科技攻关项目—准分子激光制备纳米金刚石薄膜装备,1月23日在牡丹江市通过国家科委论证。由牡丹江光电技术研究所提出的准分子激光制备纳米金刚石薄膜装备项目,是在该所成功地研制出世界第一台500W级高功率旋转开关准分子激光器的基础上,运用激光PVD方法,制备出金刚石超微晶粒(纳米晶粒)组成的纳米金刚石膜.由于这种纳米金刚石膜,与各种实用化衬底具有良好的附着力,因此,在摩擦磨损、工具、模具、医学及其一些红外光学涂层领域有着广阔的应用前景。专家们认为,利用500W级高功率旋转开关准分子激光器研制的纳米金刚… 相似文献
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HFCVD方法沉积金刚石薄膜的生长研究 总被引:1,自引:0,他引:1
本文讨论了金刚石薄膜应用于光学领域所偶到的问题,研究了热丝方法生长应用于光学膜的金刚石薄膜过程中,衬底表面的预处理和沉积条件如碳源浓度、衬底温度等对制备膜晶粒尺度和晶粒间界以及膜表面形貌的影响。 相似文献
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最近几年 ,碳纳米材料由于它在物理和化学方面的应用前景 ,引起了科学工作者们的广泛注意。这些材料包括碳纳米管[1] 、纳米线[2 ] 、Fullerenes[3 ] 、纳米墙[4] 和纳米金刚石[5] 等。其中Fullerenes和纳米金刚石被认为是零维材料 ,碳纳米管和纳米线是一维材料 ,纳米墙是二维材料。Wu[4] 等人在制备碳纳米管的过程中发现了纳米墙 ,并给出它的SEM照片。但没有给出它的精细结构。我们在金刚石的制备过程中发现了一种由无序的碳片组成的纳米薄膜 ,并利用扫描电子显微镜 (SEM)和高分辨电子显微镜 (HREM)对它进… 相似文献
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用化学气相沉积 (CVD)的方法制备出的金刚石薄膜具有很高的硬度和优异的耐磨能力 ,但在干摩擦过程中 ,金刚石薄膜经常造成摩擦对偶的严重磨损 ,使金刚石薄膜的应用受到一定的限制[1,2 ] 。本文用微波等离子体化学气相沉积的方法 ,先在单晶Si(1 0 0 )片上制备出厚度为 40 0nm左右的纳米金刚石薄膜 ,然后采用高能N离子束轰击的方法 ,对纳米金刚石薄膜进行离子束轰击 ,以期达到改善金刚石薄膜摩擦性能的目的。实验用微波等离子体化学气相沉积 (MWCVDmicrowavechemicalvapordeposition)的方法在单… 相似文献
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对金刚石膜(及类金刚石膜)与传统光学材料的特性作了比较,分析了美军对于金刚石膜军用光学应用的需求以及金刚石膜在现有高科技武器装备中的应用前景,介绍了研制纳米金刚石膜的关键技术问题(主要是CVD和PLD方法)以及国内外研究和应用现状。 相似文献
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文章对用于FEA的非晶态金刚石碳膜的制备、测量、场致发射特性以及发射性能改良的掺氧非晶态金刚石碳薄膜作了介绍。 相似文献
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铁电钛酸锶钡BaxSr1-xTiO3(BST)是一种拥有十分优越铁电/介电性能的材料,在可调谐微波器件方面具有很好的应用前景。本文概括介绍了BST薄膜的研究意义、基本结构、薄膜的制备方法,并针对可调谐微波器件应用需求,详细探讨了通过掺杂、组分梯度变化、纳米铁电多层薄膜以及将铁电BST与新型介电Bi2O3-ZnO-Nb2O5(BZN)薄膜相结合等对铁电薄膜性能进行优化的手段,最后对该领域的前沿问题从材料研究层面作了小结与展望。 相似文献
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化学气相沉积(CVD))金刚石薄膜优异的光学性能在近几年得到了广泛的重视,关于它的研究也在近几年取得了较大的突破。综述了CVD金刚石薄膜的光学性能,着重从成核、生长和后期处理三个方面对光学级CVD金刚石薄膜的制备进行了讨论,并对今后的研究作了展望。 相似文献
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薄膜晶体管(TFT)作为开关元件广泛应用于平板显示领域,沟道层材料的选择直接影响了TFT的性能.近年来,基于非晶氧化物半导体(AOS)沟道层材料的TFT已成为具有潜力替代传统硅材料(非晶硅或多晶硅)沟道层TFT的新一代技术,有望应用于超大屏显示、3D显示、柔性显示以及透明显示等新一代显示领域.综述了AOS TFT沟道层的研究进展,重点介绍了AOS TFT用AOS沟道层在材料体系、成膜技术、薄膜的后续处理工艺、材料体系中各元素含量以及掺杂等方面的研究成果,并分析了AOS沟道层对AOS TFT性能的影响以及存在的问题,对AOS TFT的未来发展趋势进行了预测和展望. 相似文献
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