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引人注目的金刚石半导体元件上海财经大学吴龙生上海卫生局电教制作中心邵东迄今为止,人们用来制造半导体元件的半导体元素只有锗和硅两种,这是人所共知的。然而,近来科学家们利用人造金刚石薄膜成功地制成了金刚石二极管、金刚石三极管和金刚石场效应管,这不能不说是... 相似文献
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氮气压强对脉冲激光沉积类金刚石薄膜和红外光学特性的影响 总被引:4,自引:2,他引:2
为了研究氮气压强对脉冲激光沉积(PLD)类金刚石(DLC)薄膜和红外光学特性的影响,在脉冲激光沉积类金刚石薄膜的实验过程中,把沉积腔抽真空到10-5Pa,再在沉积腔中分别充入10-3、10-2和10-1Pa的氮气来沉积类金刚石薄膜。用拉曼光谱仪和X射线光电子能谱仪(XPS)对类金刚石薄膜的微结构与组成进行检测分析;用原子力显微镜(AFM)对薄膜的表面形貌进行检测分析;用傅里叶变换红外光谱仪(FTIR)对类金刚石薄膜的红外光透射谱进行检测分析。实验结果表明,沉积腔中的氮气压强从10-3Pa增加到10-1Pa时,类金刚石薄膜中sp3键含量增加;C-O和C=O含量减少;石墨晶粒尺寸减小;薄膜表面粗糙度显著增大。与此同时,氮气压强增加还导致类金刚石薄膜对红外光的增透作用减弱、增透范围变窄。 相似文献
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《中国激光》2010,(12)
为了研究在氮气中激光的脉冲能量对类金刚石薄膜的微结构组成、表面形貌和红外光学特性的影响,在KrF准分子脉冲激光沉积(PLD)类金刚石薄膜的实验中,在沉积腔中充入10-1Pa氮气并保持其他实验参数不变,脉冲能量分别取120 mJ和150 mJ来沉积类金刚石薄膜。用拉曼光谱仪和X射线光电子能谱仪(XPS)对类金刚石薄膜的微结构与组成进行检测分析;用原子力显微镜(AFM)对薄膜的表面形貌进行检测分析;用傅里叶变换红外光谱仪对类金刚石薄膜和硅衬底的红外光透射谱进行检测分析。实验结果表明,脉冲能量从120 mJ增加到150 mJ导致类金刚石薄膜中的氮含量和sp3键含量增加,C-O,C=O和O的含量减少,石墨晶粒的数量减少、尺寸变小,薄膜表面的粗糙度显著降低。同时,脉冲能量增加导致类金刚石薄膜对红外光的增透作用减弱,增透范围变窄。 相似文献
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单晶金刚石飞秒激光加工的烧蚀阈值实验 总被引:2,自引:0,他引:2
采用不同功率的飞秒激光对单晶金刚石分别进行了单脉冲分离烧蚀实验和多脉冲累积烧蚀实验,计算得到了单晶金刚石材料的单脉冲烧蚀阈值和多脉冲累积烧蚀阈值,并研究了多脉冲作用下单晶金刚石烧蚀阈值的变化。结果表明:单晶金刚石的飞秒激光单脉冲烧蚀阈值为8.80 J/cm^2;随着有效脉冲数增加,烧蚀阈值逐渐减小;当有效脉冲数小于124时,烧蚀阈值随有效脉冲数的增加而急剧减小;当有效脉冲数增加到486后,烧蚀阈值减小的趋势趋于平缓。有效脉冲数486、激光平均功率10.7 W是最优的激光加工工艺参数。 相似文献
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低压金刚石的生长实验自八十年代至今已取得了很大成功。但采用合理的计算方法定量化地预测出金刚石生长条件在国内外还是一个新的课题。本文根据非平衡热力学耦合理论模型绘制了甲烷-氢气体系金刚石生长投影相图,并收集了1982-1997年大量的实验结果,经比较相一致,并讨论了氢原子在金刚石生长过程中的作用。计算得到的相图与经典平衡相图有本质不同,有金刚石生长区,因而可以合理解决金刚石低压下连续生长而石墨被腐蚀的实验事实与经典平衡热力学之间的矛盾。本文的计算结果可以为CVD金刚石生长实验提供定量化的压力条件的选择和优化实验条件。 相似文献
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《电子材料与电子技术》2007,34(3):33-33
加州大学洛杉矶分校科学家开发出一种制造超硬材料的新方法,这种超硬材料具有极强的耐磨性和抗裂性。
超硬材料的用途非常广泛,无论是钻探石油和修公路用的钻头,还是精密仪器和手表表面的抗磨涂层,都需要使用超硬材料。金刚石之所以是世界上最硬的材料,是因为金刚石的碳原子间具有极短的共价键。然而,金刚石不能用于切割钢铁,因为切割钢铁将毁坏金刚石刀片。立方结构的氮化硼是金刚石的替代品,可以用来切割钢铁,但它是在非常高的温度和压力条件上合成的,其价格比金刚石还要昂贵。 相似文献
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为了研究激光法制备纳米金刚石的相变机理,采用纳秒脉冲激光冲击微米级石墨悬浮液,并做强酸高温氧化提纯处理,结合X射线衍射、喇曼光谱、高分辨率透射电镜等表征手段以及热力学和动力学分析方法,对实验结果进行了理论分析和实验验证。合成得到分散均匀、尺寸在4nm~12nm的超细纳米金刚石。结果表明,纳秒激光辐照下,石墨是通过固态-气态-液态-固态的形式转变为金刚石结构的;与毫秒脉冲激光相比,高功率密度、短脉宽的纳秒激光为金刚石核的生长提供了大的过冷度,提高了金刚石的形核率和生长速率;但是纳米金刚石的生长温度范围极小,冷却过程中石墨结构与金刚石结构同时形核、长大,引起金刚石颗粒表面的石墨化,限制了纳米金刚石的生长。 相似文献
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报道了用微波等离子体化学气相淀积技术在TaN2电阻材料上淀积高质量金刚石薄膜的制备工艺,以及扫描电镜、X射线衍射、拉曼光谱、压痕测试的测试结果。探讨了提高金刚石膜在非金刚石衬底成核密度与粘附性的实验方法,从实验上证实了CVD金刚石膜可以用作TaN2热敏打印头表面保护层。 相似文献
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考虑蒸发效应、等离子体屏蔽效应与脉冲间能量累积效应基础上,建立脉冲激光烧蚀青铜金刚石砂轮传热物理模型,应用模型对脉冲光纤激光修锐青铜和整形金刚石分别进行传热数值计算,依据数值仿真结果,开展脉冲光纤激光烧蚀青铜轮和青铜金刚石砂轮的实验。理论研究和实验研究表明:相关条件下,当激光功率密度小于2.10108 W/cm2时,只能对青铜金刚石砂轮修锐;当激光功率密度大于2.10108 W/cm2小于2.52108 W/cm2时,能对青铜金刚石砂轮实现整形和修锐的合二为一;当激光功率密度大于2.52108 W/cm2时,能对青铜金刚石砂轮实现大深度修锐,但影响磨粒突出结合剂的高度和磨削性能,以上研究为脉冲激光烧蚀青铜金刚石砂轮研究提供理论指导与工艺优化,同时实验结果与数值模拟结果一致,也验证了传热模型的正确性。 相似文献
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场发射阴极金刚石薄膜的制备方法有很多,本文是利用微波等离子化学气相沉积的方法制备薄膜,文中详细介绍了正交分解法实验制备金刚石薄膜的过程。并对薄膜进行扫描电镜、拉曼光谱、X射线实验,分析了其形貌与结构;用场发射二级结构研究薄膜的场发射性能,简单分析了金刚石薄膜的成因和场发射的性能。 相似文献
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低压气相法合成的金刚石薄膜和天然金刚石一样,具有优异的力学、光学、电学、化学及热学性质。可广泛应用于机械、电子和光学等工业领域,因而引起了人们极大的兴趣。金刚石还具有半导体性质。并能在多种衬底上利用低压气相合成金刚石膜,还可进行选择性的掺入需要的杂质。这就为制备金刚石半导体器件提供了可能性。实验表明,在金刚石膜生长过程中进行掺杂强烈地依赖于晶体生长方向 相似文献
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用于替代纯Co的粉末材料的激光焊接在金刚石工具制造中的应用 总被引:2,自引:0,他引:2
在金刚石工具制造中,人们一直主要使用纯钴作为包缚和粘接金刚石磨粒的胎体材料。由于Co是贵重金属而使生产成本居高不下。针对这种情况,本文提出用国外成本较低的NEXT合金及其添加剂替代纯钴,并用激光焊接成成品做对比实验。首先用LSM240全自动激光焊接机进行焊接,然后对材料力学性能、激光焊接工艺参数、焊缝显微组织和切割实验数据等进行分析。发现:使用NEXT合金后,焊缝气孔率约为8%、强度1800Mpa,胎体材料对金刚石磨粒的包缚力增强,金刚石工具的使用寿命提高了一倍多、同时金刚石容易出刃,锋利度较好。实验表明用NEXT合金代替纯钻有很好的工业应用前景。 相似文献