微机电系统与微细加工技术

微系统是微型机构、微型传感器、微型执行器以及信号处理和控制电路甚至接口、通信和电源于一体的微型器件或系统。微系统的习惯术语有:MEMS(Micro Electro-Mechanical System,微机电系统)或MOEMS(微光机电系统,美国)、Micro-Machine(微机械,日本)、Micro Systems(微系统,欧洲)。从其尺寸角度,可分为     

微型机电系统在医疗中的应用

微型机电系统是一个新兴的技术领域,其主要优点是体积小、重量轻、能耗少、响应快、大批量、成本低等,有广泛的应用前景。在概述微型机电系统的基础上,介绍了用于医疗的微型机电系统,包括微型传感器、微流量系统、微仪器,以及其它MEMS系统。最后简介了国内在这方面的发展状况。     

微系统集成技术研究的动向

在微电子、微机械和微光学的基础上,集成传感器、执行器和信号处理单元于一体的微系统技术,是现代技术发展的一个新动向。微系统技术在微传感器、微执行器、微光学和专用集成微型仪器等方面有较大发展。微系统在一些工业中获得应用。     

微米纳米技术及微型机电系统

微型机电系统和微型制造技术是一个新兴的技术领域。本文论述微米纳米制造技术的发展过程,微细加工的进展,微型机电系统的概念、主要研究课题,以及它的应用领域。     

医用硅微型压力传感器

医用硅微型压力传感器谢国章一、引言微机械最早和最成功的应用是医用微型压力传感器．这种传感器的尺寸一般在１ｍｍ以下，体积微小到可用吞服法、皮下注射法或插管法植入人体内，对病灶进行最直接的测量和监控，成为极有力的治疗手段和诊断手段。其医疗应用主要包括神经...     

微电子机械技术的现状与发展

微电子机械技术是国际上新兴的科学前沿，它的发展会象微电子技术那样引发一场新的产业革命。本文介绍了微电子机械技术的主要工艺以及在微结构、微传感器、微执行器和微系统方面的研究进展，并对今后的研究动态进行了论述。     

微电子机械技术的现状与发展

微电子机械技术是国际上新兴的科学前沿，它的发展会象微电子技术那样引发一场新的产业革命。本文介绍了微电子机械技术的主要工艺以及在微结构、微传感器、微执行器和微系统方面的研究进展，并对今后的研究动态进行了论述     

纳米科学和技术的新进展

介绍纳米科技几个主要方面的最新研究进展 :纳米级精度的测量 ;扫描隧道显微镜和原子力显微镜 ;超精密加工和原子级加工 ;纳米材料 ;微型机械和微型机电系统 ;微型机械的制造等     

纳米科学和技术的新进展

纳米科学与技术是深入到原子级微观世界的新科技,最近获得了极大的进展.这是一个新的科技发展领域,有可能使多个科技领域产生重大突破,各国都给予极大的重视.文中介绍了纳米科技几个主要方面的最新研究进展情况:纳米级精度的测量;扫描隧道显微镜和原子力显微镜;超精密加工和原子级加工;纳米材料;微型机械和微型机电系统;微型机械的制造等.     

几种新型集成硅微(型)传感器系统

介绍了作者近年来在硅微机械加工技术和半导体集成电路技术相结合的基础上研制的硅微机械与光纤组合式阵列声传感器、集成硅微机械光压力传感器和微型多道成像光谱分析系统的结构、工作原理及制造工艺.