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为了分析不同边界传热条件下薄膜热电偶的动态特性,对薄膜热电偶瞬态测温过程建立零维传热模型。运用集总热容法分析对流换热、辐射换热两种边界条件下薄膜热电偶传热过程,通过建立热结点表面能量平衡关系得到传感器动态特性理论参数。采用水浴阶跃法、激光脉冲法对CO1-K型薄膜热电偶进行动态标定实验,通过对动态响应曲线进行Z-t变换得到薄膜热电偶动态特性实验参数。实验结果表明,集总热容法能够正确分析薄膜热电偶的动态特性,且计算不同边界条件下薄膜热电偶时间常数过程简单,时间常数理论值接近实验值。 相似文献
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薄膜热电偶温度传感器研究进展 总被引:1,自引:0,他引:1
随着低维材料技术的发展和对测温要求的提高,薄膜热电偶温度传感器应运而生,其快速响应特性为测量瞬变温度提供了可能。综述了薄膜热电偶温度传感器国内外发展现状,着重介绍了薄膜临界厚度的确定、扩散现象的影响、制备工艺等关键技术,并对其未来发展做出了展望。 相似文献
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航空发动机用薄膜热电偶研制 总被引:1,自引:0,他引:1
《传感器与微系统》2019,(4):82-85
针对航空发动机涡轮叶片表面温度测试的迫切需求,采用薄膜沉积工艺,能够在Ni基高温合金表面制备热电性能较好的中温K型(NiCr/NiSi,<600℃)、高温R型(Pt—13%Rh/Pt,<900℃)、超高温(ITON/Pt,<1 100℃; In ON/ITON,> 1 200℃)等薄膜热电偶。薄膜热电偶由NiCr Al Y过渡层、热生长Al_2O_3层、Al_2O_3绝缘层、功能层和Al_2O_3保护层构成。通过静态标定结果分析,其塞贝克系数分别达到38. 26,10. 60,78. 60,123. 10μV/℃,在恶劣环境下具有良好的稳定性和一致性,使用寿命均大于10 h。 相似文献
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陶瓷基Pt/ITO薄膜热电偶的制备与性能研究 总被引:1,自引:0,他引:1
为了准确测量涡轮叶片表面温度,采用掩模图形化和射频磁控溅射的方法,在A12O3陶瓷基片上沉积Pt/ITO薄膜热电偶,并对其进行了静态标定.结果表明:Pt/ITO薄膜热电偶在1 000℃进行大气气氛退火,随着退火时间的增加,样品热电势输出曲线稳定性逐渐增强,Seebeck系数也较大,标定曲线均具有很好的线性度,退火5h的样品的最大测温误差仅为16.03℃,可在400~1100℃温度范围热循环中稳定工作约20 h.ITO薄膜厚度对Pt/ITO薄膜热电偶热电性能几乎没有影响. 相似文献
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基于虚拟仪器的热电偶自动计量检定系统 总被引:2,自引:2,他引:2
热电偶的检定是其使用过程中必不可少的工作环节。自动检定不仅工作效率高,而且可以提高检定准确度。虚拟仪器技术是计算机技术应用于仪器领域的最新成果,以虚拟仪器技术为基础,介绍了热电偶检定系统的新方法,使得热电偶的检定真正实现了自动化,同时,具有数字和图形显示方式,以及分析、打印和数据处理等多种功能,还阐述了系统的硬件结构和软件流程,并在实际应用中得到验证。 相似文献
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提出一种基于二进制加权电容DAC阵列的比较器校准技术,并基于该技术65nm CMOS工艺下设计实现了一款低功耗高精度动态比较器。基于版图数据的模拟仿真结果表明,在1.2V的工作电压下,该校准技术可以将失调电压降低至0.25mV以下,功耗为0.33μW,功耗开销增大57%。 相似文献
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加速度传感器动态特性虚拟标定系统设计 总被引:2,自引:0,他引:2
基于虚拟仪器技术,设计了加速度传感器动态特性标定系统。利用LabVIEW图形化编程特点及其强大的开发功能,在微机及采集卡组成的硬件平台上,实现了界面友好的操控及显示软面板设计,以及激励信号的发生与标定数据的采集、存储和处理。同时,通过EXCEL实现了LabVIEW与MATLAB之间的数据通信,并利用MATLAB进行动态性能指标的最优计算。实验证明:该系统具有性能稳定、精度高和人机交互友善方便等特点。 相似文献
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正弦压力发生器在传感器动态校准中的应用 总被引:1,自引:0,他引:1
在介绍正弦压力发生器工作原理的基础上 ,讨论了在应用正弦压力发生器校准传感器动态性能时应用系统的组成和功能。同时 ,给出了采用正弦压力发生器校准传感器动态特性的两个实例。校准结果表明 :这两个传感器分别属于一阶和二阶模型 ,所得的参数模型在幅频和相频特性两方面都与实验结果一致 相似文献
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提出了预压水激波管动态校准方法。通过施加预压给水激波管产生的脉冲信号,在水激波管所产生的频率丰富的脉冲信号基础上叠加不同的静态预压,利用准δ脉冲校准原理,对高压测试系统进行动态校准。对3种高压传感器的测试数据分别建立了数学模型,进行了频谱分析,得出了3种高压传感器的频率响应特性。 相似文献