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磁控溅射W_(1-x)Ti_xN薄膜的结构与摩擦学性能研究 总被引:1,自引:0,他引:1
采用双靶反应磁控溅射的方法,通过改变基体相对于靶材的位置制备了一系列不同化学成分的W1-xTixN薄膜。用X射线衍射仪,扫描电子显微镜,能量散色谱等检测手段对薄膜的表面状态,化学成分以及结构等进行了表征,采用UMT-3型多功能摩擦磨损试验机,在室温、大气环境、无润滑的条件下对不同成分WTiN薄膜的摩擦学性能进行了评价。试验结果表明:薄膜的化学成分伴随着位置的改变在W0.80Ti0.20N和W0.18Ti0.82N的范围内发生变化;在经历了800℃,1 h的退火以后不同位置制备的薄膜先后出现了TiN,TiN0.6O0.4,W2N,W等多种物相结构;随着Ti含量的增加,薄膜的纳米硬度最高可达29.8 GPa,弹性模量最高可达277.5 GPa。一系列摩擦数据显示x=0.52的薄膜在所制备的WTiN薄膜体系中拥有最佳的摩擦学性能。 相似文献
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硬质TiAlN薄膜作为最有前途的TiN薄膜替代材料,具有比TiN薄膜更高的硬度、低摩擦因数、良好的高温稳定性和耐腐蚀性等优异性能,在石油、刀具、模具、电力、航空发动机等领域得到广泛应用。本文综述了TiAlN薄膜近年来国内外的应用及发展情况,着重阐述了TiAlN薄膜的制备方法,以及工艺参数对TiAlN薄膜性能的影响。同时对TiAlN硬质涂层的结构和性能进行了全面介绍,指出了TiAlN硬质薄膜性能优化的方法,并对TiAlN硬质薄膜的研究以及应用方向进行了展望。TiAlN硬质薄膜会随着科研人员的进一步深入研究以及应用的需求向复合化、多元化、纳米多层结构方向发展。 相似文献
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中频磁控溅射沉积DLC/TiAlN复合薄膜的结构与性能研究 总被引:2,自引:2,他引:0
采用中频非平衡磁控溅射沉积工艺,并施加霍尔离子源辅助沉积,在高速钢W18Cr4V及单晶硅基体上制备了梯度过渡的DIE/TiAlN复合薄膜.利用扫描电镜(SEM)、X射线光电子能谱仪(XPS)、显微硬度计、摩擦磨损仪等分析检测仪器对DLC/TiAlN复合薄膜的表面形貌、晶体结构、显微硬度、耐磨性等性能进行了检测分析.实验及分析结果表明:DLC/TrAlN薄膜平均膜厚为1.1μm,由于薄膜中的Al含量较多,使得复合薄膜的表面比DLC薄膜的表面要粗糙一些;通过对复合薄膜表层的XPS分析可知,ID/IG为2.63.由XPS深层剖析可知,DLC/TiAlN薄膜表层结构与DLC薄膜基本相同,里层则与TiAlN薄膜相似.在梯度过渡膜中,复合膜层之间的界面呈现为渐变过程,结合的非常好.DLC/TiAlN薄膜的显微硬度为2030 HV左右.与DLC薄膜显微硬度接近,低于TiAlN薄膜的显微硬度.但是DLC/TiAlN薄膜的耐磨性要好于TiAlN薄膜和DLC薄膜;DLC/TiAlN薄膜的耐腐蚀性能略好于DLC薄膜. 相似文献
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偏压对反应磁控溅射TiN薄膜结构以及性能的影响 总被引:1,自引:0,他引:1
本文采用直流反应磁控溅射技术,以Ar和N2为反应前驱气体制备了TiN功能装饰薄膜.重点研究了衬底负偏压对沉积TiN薄膜的色泽、性能及微结构的影响.采用台阶轮廓仪、X射线衍射仪、EDS能谱仪、纳米压痕仪等分析了薄膜的粗糙度、晶相、组分、纳米硬度以及弹性模量.结果表明,采用适宜的衬底负偏压调控轰击离子能量,能够有效阻止薄膜结构中空位以及缺陷的产生,从而有效避免薄膜表面的紫黑色氧化钛的生成,有利于表面光滑的金黄色TiN薄膜制备,同时使薄膜具备更优异的力学性能.实验结果还表明基体偏压可显著影响TiN薄膜的择优生长取向:随偏压增加,薄膜由(111)晶相择优生长转变为(200)晶相的择优生长,(200)晶相的薄膜比(111)晶相薄膜具有更佳的力学性能. 相似文献
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4Cr13不锈钢表面镀TiN薄膜组织结构及性能的研究 总被引:1,自引:1,他引:1
采用多弧离子镀技术在4Cr13不锈钢上沉积TiN薄膜,在其他参数不变的条件下,研究不同弧电流下薄膜的组织、结构及性能。利用扫描电子显微镜、X射线衍射仪、显微硬度计、划痕仪和往复式摩擦磨损仪分别对薄膜进行表面形貌观察,物相分析,以及表面硬度、结合力、耐磨性检测。实验结果表明:弧电流对薄膜的表面形貌有明显的影响,随着弧电流的增大,薄膜表面的液滴数目和尺寸逐步增大;薄膜的相结构主要由TiN相组成,在(111)面有较强的择优取向,且随着弧电流的增大,衍射峰强度略有增加;随着弧电流的增大,薄膜的硬度先增大后减小,硬度值最大为2897HV;随着弧电流的增大,薄膜的结合力先增大后减小,当弧电流为105A时,薄膜的结合力最大,为75N;随着弧电流的增大,薄膜的摩擦系数先减小后增大,当弧电流为105A时,薄膜的耐磨性最好。 相似文献
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果蔬保鲜膜的研究进展 总被引:6,自引:4,他引:6
果蔬保鲜应控制包装储存环境中O_2和CO_2的体积比,控制储存环境的相对湿度,及时排除果蔬在包装存储中释放的乙烯、乙醇等气体。果蔬保鲜膜主要有普通保鲜膜、微孔保鲜膜、防雾功能保鲜膜、可食性保鲜膜、硅窗调气保鲜膜和抗菌保鲜膜等。在果蔬保鲜的实际应用中,一般采用复合式保鲜法。多功能保鲜膜及可降解的无公害保鲜膜将是今后果蔬保鲜膜的发展趋势。 相似文献
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C. L. Murrieta‐Martínez H. Soto‐Valdez R. Pacheco‐Aguilar W. Torres‐Arreola F. Rodríguez‐Felix E. Márquez Ríos 《Packaging Technology and Science》2018,31(3):113-122
Edible and biodegradable films are made of renewable resources, offer an alternative to synthetic plastics for packaging, and, unlike these, can be placed between phases in direct contact with food. Although there are different sources, such as lipids and carbohydrates, proteins are popular due to their abundance and their nutritional qualities. Protein for film elaboration can be extracted from cereals (gluten, prolamins), milk (casein, whey), muscle (myofibrillar), and the connective tissue (gelatin) of marine or terrain species. Requirements may vary depending on their future application; therefore, it cannot be said that 1 source or the other is better, because film properties will also differ due to their method of obtention. Therefore, it is necessary to know what kind of film is needed in order to choose the most suitable one. 相似文献
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Ayumi Murakami 《Thin solid films》2008,516(12):3888-3892
Super-hydrophilic porous titania thin films containing mesoscale channels were successfully synthesized by the carbonatation reaction. An amorphous Li-Ti-O film with a smooth surface was prepared on a glass substrate by radio frequency magnetron sputtering using a Li2TiO3 target in an Ar atmosphere. The as-deposited films were carbonated at 400 °C for 10 h in CO2, resulting in the formation of Li2CO3 and the development of characteristic through-channels. After dissolution of the Li2CO3 in distilled water, porous TiO2 thin films with mesoscale through-channels were fabricated. The obtained porous films had a large surface area and show a rapid decrease in the water contact angle or excellent super-hydrophilicity. 相似文献
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Ti合金化DLC膜的结构和力学性能 总被引:5,自引:0,他引:5
在一台увнипА-1型双激发源等离子弧薄膜沉积装置上制取Ti合金化DLC膜,用纳米硬度计、显微硬度计、原子力显微镜以及X射线衍射仪和光电子能谱仪等手段对薄膜的力学性能和结构进行了分析和测定。摩擦磨损试验在一台球-盘滑动磨损试验机上进行。比较了不同钛合金化程度的DLC膜及热处理前后的性能变化。结果表明,薄膜的力学性能与Ti含量有非单值关系,但摩擦系数随Ti含量增加而升高;热处理后薄膜显微硬度显著升高的原因是生成了碳化钛硬化相。 相似文献
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超硬多层薄膜的研究现状及展望 总被引:1,自引:0,他引:1
超硬多层薄膜的性能随调制周期的变化而发生变化,在某一范围出现超模、超硬等异常效应.由于其潜在的实际应用价值及理论意义,超硬多层薄膜成为近年来人们研究的热点.综述了近年来国内外学者对超硬多层薄膜的研究结果,介绍了其超硬多层薄膜类型、主要性能特点以及制备工艺,并对未来的发展趋势进行了展望. 相似文献