罗茨真空泵机组设计中的一些关键问题

罗茨真空泵机组是应用面极广的真空获得设备。设计中对机组体现好的适用性和经济性，一些关键问题须引起重视。     

气冷式直排大气罗茨真空泵及机组的应用选型

本文介绍气冷式直排大气罗茨真空泵及机组的工作特点及应用选型。旨在通过范例的分析，为不同的用户使用气冷式直排大气罗茨真空泵，充分发挥该泵的抽速大、耐压高、无污染、低功耗的优点，提供可参考的范式。     

气冷式直排大气罗茨真空泵及机组的热平衡计算

气冷式罗茨真空泵需要携带泵外换热器，以保证泵在高压差下正常工作而不会产生过热，热平衡计算是泵及机组成功设计的关键，本文对热平衡计算进行了探讨，研究表明，气冷式罗茨真空泵的温升，取决于工作气体本身的性质以及泵排气口压力与进气口压力的比值（即压缩比）。     

罗茨泵噪声测量方法研究

罗茨真空泵噪声的测量一贯沿用GB/T 21271《真空技术——真空泵噪声测量》,没有充分考虑到罗茨真空泵噪声的发声特殊性,测量条件严重脱离了罗茨真空泵现实的安装和运行条件,不能真实反映罗茨真空泵的噪声水平,影响了泵噪声的研究和控制.经过多年研究和论证后,提出了在符合罗茨真空泵真实安装和运行状态下的、采用全矩形平行六面体测量表面的罗茨真空泵噪声测量方法,从而保证了泵噪声测量值的真实性和准确性.     

两叶与三叶转子气冷式罗茨真空泵气动噪声分析

气冷式罗茨真空泵的噪声主要由机械噪声和气动噪声组成,气动噪声具有强度高、危害大的特点,是气冷式罗茨真空泵的主要噪声.应用FLUENT软件动态模拟泵的内部流场,对两叶、三叶转子的气冷式罗茨真空泵的气动噪声进行比较,分析气动噪声产生的来源,为设计低噪声的气冷式罗茨真空泵提供参考.同时对两种转子的气冷式罗茨真空泵的噪声进行测试,三叶转子的气冷式罗茨真空泵的噪声明显低于两叶转子的气冷式罗茨真空泵.     

滑阀真空泵,罗茨真空泵及其真空机组

滑阀真空泵、罗茨真空泵及其真空机组谈治信（兰州物理研究所，兰州７３００００）分类号：ＴＢ７５２滑阀式真空泵（简称滑阀泵）和罗茨真空泵（简称罗茨泵）及其由该泵组成的真空机组近几年来随着真空冶金、真空热处理、真空冷冻干燥、真空镀膜等各种领域的发展需要而得...     

罗茨真空泵专业生产厂

罗茨真空泵专业生产厂——北京仪器厂北京奥勃真空设备分厂我厂是罗茨真空泵的专业生产厂。１９８０年由机械工业部下达我厂研制ＺＪ－３０型罗茨真空泵的任务在国内首先研制成功。以噪声低在全国著称，产品销往全国各高等院校和科研单位。至今已生产了近２０年。１９８２...     

罗茨真空泵性能考核指标—极限压力的探讨

本文论述了目前国内罗茨真空泵以极限压力作为主要性能指标所存在的考核难的问题，提出了罗茨真空泵标准中以漏率取代极限压力作为性能考核指标的合理性和可行性。     

圆弧包络线在罗茨转子型线设计中的应用

罗茨转子是罗茨鼓风机、罗茨压缩机、罗茨流量计和罗茨真空泵等设备中最关键的核心部件。罗茨转子的设计成功与否，对这些设备的性能至关重要。本文使用计算机动画编程的方法，对圆弧包络线的生成和性质进行了研究，并将其应用于罗茨转子型线的设计中。文中还引入了形状系数c和峰顶系数c1，详细给出不同类型的圆弧型线的罗茨真空泵容积利用系数随形状系数c和峰顶系数c1的变化情况。文末给出了一个转子加工的实例。     

三叶转子气冷式罗茨真空泵的流场数值分析

本文利用数值模拟软件FLUENT建立三叶转子气冷式罗茨真空泵的二维计算模型,采用动网格技术对气冷式罗茨真空泵内部流动进行动态模拟。分析了转子在转动情况下泵内部流场的变化、内部流场的压强分布以及进排气腔的速度分布,得出泵内部流场的流动规律,为气冷式罗茨真空泵的设计和分析提供理论依据,同时可以用于气冷式罗茨真空泵的性能预测及优化设计。     

油扩散泵抽气速率与被抽气体的关系

通过对油扩散泵抽气速率、气体分子平均热运动速度和分子流态下气体流导的分析，指出油扩散泵对不同气体的抽气速率具有选择性，给出了泵对不同气体和空气抽气速率比值的计算值，同时指出电离规的规管常数与气体种类有关。     

新颖的4000吨亚磷酸-二甲酯真空抽气系统

叙述在亚磷酸－二甲酯真空抽气系统中采用气冷罗茨真空泵机组代替过去一般采用的多台W型往复式真空泵并联组合，可以大大降低功率消耗、提高抽气效率及其节约维修费用。     

蒙特卡洛法在HIRFL-CSR钛升华泵设计中的应用

介绍了用蒙特卡洛法计算HIRFL-CSR钛升华泵对于不同气体吸附系数在分子流条件下的吸附概率,并分析了挡板的形状、位置设置对于吸附概率的影响.通过实验测试,发现HIRFL-CSR钛升华泵对H2的抽速与计算值接近,证明用蒙特卡洛法模拟计算、设计钛升华泵是可行的.     

HL-2A装置中性束注入器高抽速钛泵及其实验运行分析

针对中性束注入等离子体加热过程中的高真空条件要求,借助于国际合作方式,我们为HL-2A 装置中性束注入器设计了一种大吸附面积的高抽速钛泵系统.钛泵系统抽速设计值为30万L/s,由两台大泵和一台小泵组成,两台大钛泵分别置于注入器主真空室左右两侧,小钛泵置于注入器副真空室右侧.运行实验结果表明,钛泵完全满足HL-2A中性束注入实验的要求.本文主要介绍了钛泵的工程设计和实验运行结果,简要分析了HL-2A装置中性束加热系统高抽速钛泵的运行特点.     

微型溅射离子泵放电模拟与抽气特性研究

为了解溅射离子泵抽气过程中内部放电与抽速的关系,考虑了N2分子的激发、电离及粒子之间的弹性碰撞等过程,利用COMSOL软件对微型溅射离子泵内部气体放电进行了数值模拟研究.得到了电子密度、温度、粒子轨迹、入射角度及入射能量的分布变化,并分析了这些因素对抽速的影响.在搭建的实验平台上对微型溅射离子泵进行了抽速测量,得到了不...     

喷嘴角度对水银扩散泵抽气性能影响的DSMC模拟研究

扩散泵由于其大抽速、连续稳态工作的优点,有望应用于未来聚变堆的偏滤器抽气系统中,以降低目前托卡马克装置中广泛采用的捕集式低温泵所带来的高氚存储量问题。由于氚相容性的限制,目前的商业油扩散泵无法直接应用于聚变堆中,水银将是理想的扩散泵工作介质。为了支持未来聚变堆偏滤器抽气系统的水银扩散泵设计,需要针对水银扩散泵开展设计优化研究。本文采用直接模拟蒙特卡洛方法,基于KT-150扩散泵结构,研究了喷嘴角度对水银扩散泵的抽气速度及水银返流率的影响。结果表明喷嘴角度为45°时能够达到最佳的抽气速度1.53m^3/s,同时返流率没有显著提升。     

罗茨真空机组预抽阶段的抽气特性比较研究

针对罗茨泵真空机组在启动预抽阶段的三种工作模式——旁通式、直通式和变频式,分别建立了简化计算模型,推导得出罗茨泵进入正常稳态工作之前罗茨机组的有效抽速计算公式,以及被抽容器的抽气时间计算方法.通过一个计算示例,对比得出了三种不同启动预抽方式的压力-时间曲线,结果表明,直通式、旁通式、变频式工作模式下容器的抽气时间依次减...     

圆弧-泛摆线齿轮油泵及其在罗茨泵上的应用

阐述了罗茨泵安装油泵的必要性,介绍了圆弧-泛摆线齿轮油泵的工作原理、特点、计算方法及安装结构.     

HL-2M装置真空室预抽气系统的研制

通过搭建HL-2M真空室整体预抽气系统,对真空室的设计、加工和安装工艺是否达到超高真空技术要求进行了试验检测.采用三套分子泵机组和一套低温泵机组作为主抽系统,对HL-2M真空室进行了预抽,72小时后真空室真空度达到3.7×10-5Pa,超过了预期的预抽真空度.在本底真空度为3.7×10-5Pa的条件下采用静态定容法测试...