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以酒精为碳源,用热丝CVD法对不同表面状态的Al2O3衬底进行了金刚石薄膜沉积的比较,用扫描电镜,喇曼光谱和X射线衍射等方法检测了沉积出的金刚石膜的质量,并讨论了它们对成核和生长的影响。 相似文献
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燃烧化学沉积纳米α- Al2O3薄膜及晶化处理 总被引:1,自引:0,他引:1
提出了沉积纳米陶瓷薄膜的一种新方法-燃烧化学沉积法。该方法省去了真空条件,直接在空气中沉积纳米陶瓷薄膜。其主要特点是将配制好的初始液体雾化,让该液雾穿过高温火焰流体。初始液体在火焰流中发生化学反应,并形成反应火焰流,该反应火焰流体系在火焰流的前方基底上沉积出纳米陶瓷薄膜,然后再通过热处理进行晶化处理,使形成晶态相。本文以制备α-Al2O3纳米薄膜为例,介绍用该方法的制备过程,并用SEM和TEM分析了α-Al2O3纳米薄膜的显微形貌和结构。 相似文献
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用O2/C2H2燃烧火焰法在各种不同性质的衬底材料上直接合成金刚石薄膜,研究了硬质合金刀头的不同的冷却方式下,对合成金刚石膜的影响。结果表明:YG6硬质合金由于Co的存在影响了金刚石膜的质量;当冷却方法不当时,硬质合金头刃部易过热;采和分段沉积法可改善金刚石膜与硬质合金的附着性。 相似文献
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高温等静压烧结Al2O3-ZrO2纳米陶瓷 总被引:7,自引:0,他引:7
本工作用化学共沉淀法制备了平均晶粒尺寸约20mm的20mol%Al2O3-ZrO2复合粉体,不含有Y2O3作为四方氧化锆的稳定剂,粉体的煅烧温度为750℃,XRD结果表明,粉体中含100%立方氧化锆相,未发现有Al2O3结晶相存在。该粉体用高温等静压方法,在1000℃和200MPa的条件下烧结1h,得到了平均尺寸为50nm的致密陶瓷,样品密度为密度的98%左右。 相似文献
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燃焰法沉积金刚石薄膜的实验研究 总被引:2,自引:0,他引:2
研究分析了燃焰法沉积金刚石薄膜时基片表面处理状态,燃烧气体流量比基片温度对薄膜成核密度、质量和晶体形态的影响。结果表明,在不同粒度的研磨粉研磨的基片表面上金刚石薄膜成核密度不同;燃烧气体流量配比对金刚石薄膜的质量影响很大;基片温度是影响金刚石薄膜晶体形态的一个重要因素。 相似文献
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MPCVD法在氧化铝陶瓷上的金刚石膜沉积及其成核分析 总被引:7,自引:0,他引:7
用微波等离子体化学气相沉积(MPCVD)法在氧化铝陶瓷基片上沉积了金刚石薄膜。实验表明,对基片进行适当的预处理,包括用金刚石研磨膏仔细研磨和沉积前原位沉积一层无定形碳层,可显著提高成核密度;对硅衬底和氧化铝基片上金刚石膜的成核过程进行了对比分析,并提出了提高氧化铝基片上沉积金刚石的成核的措施。 相似文献
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类金刚石碳膜的制备工艺 总被引:3,自引:2,他引:3
用射频-直流等离子体化学气相沉积法制备出类金刚石膜,用多因素和单因素正交试验设计方法对类金刚石的沉积工艺进行了研究,结果表明,极板偏压、真空度和气体成分是影响膜沉积速率的主要因素。沉积速率与PV成正比,且随反应气体深度单调增加,但当C2H2浓度低于10%时,几乎不能成膜。 相似文献
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金刚石薄膜在硬质合金表面的沉积与结合强度 总被引:5,自引:0,他引:5
研究了准分子激光辐射WC-6W+%Co(YG6)硬质合金工具衬底产生的选择性蒸发和表面改性作用,YG6表面的钴含量被有效地降低。研究了在硬质合金YG6工具衬底沉积金刚石薄膜的良好工艺参数范围,由于钴的存在和迁移,沉积金刚石薄膜的温度和甲烷浓度范围变窄。 相似文献