微型装配用的硅夹钳

高度柔性和可靠的夹钳与搬运机器人,广泛地应用在电子工业和机器制造的许多领域。然而,现有夹持工具的几何尺寸、造型及其控制,阻碍了夹持系统在微系统、微操作、微装配以及微并接技术中的应用。简单的解决办法也许是线性缩小传统的夹钳,但这是不可能实现的,因为,这方面需要的夹持系统本身,已属于微技术系统。所以需要在微技术基础之上寻求新的解决方案。     

微型部件的柔性装配

目前在装配方面不断通过有组织的措施,充分发挥合理化的潜力。在精密装配与微型装配工作中,通过作业过程的改善,能对生产效率的提高起决定性作用。而现在可供使用的作业工艺,对于多种多样的产品还不能提供经济的柔性装配。在微型化产品的装配中,由于其零件的尺寸很小,而且要求的装配精度又很高,结果便产     

国内微型器件装配技术的现状与应用

微机电系统(MEMS)以飞快的速度发展成为一个集微型机械、微传感器、微能源、微致动器、微控制器、微执行器、信号处理和智能控制于一体的新兴研究领域。微机电系统结构的复杂性促进了微装配技术的蓬勃发展，吸引了大批国内外研究人员对其进行广泛研究。本文首先分析了微器件装配技术对微机电系统的重要性及其产生的深远影响，然后介绍了近年来国内微装配技术的发展现状和参与微装配项目研发的研究单位的一些有应用价值的研究成果，最后阐述了微装配系统的发展趋势。     

微型结构的观察与测量方法

为了成功地应用微型技术,不仅需要能制成微型结构,还要求能对其操纵和监控。因此微型装配成为一个重要的课题,同样,微型结构及成套微系统的质量控制也是很重要的。     

微型光电机械系统（2）

微机械、微电子技术是三微系统工程的组成部分，本刊第4期已阐述了微光学技术的发展。本文的第二部分介绍微机械和微电子集成系统的技术现状和应用前景。     

微型结构的高精密定位

微系统工程中的现代定位系统,不仅反映在它的机械精度.注意力应当特别放到与复杂系统相连接的电子学系统的通信能力.在激光微细材料加工中,激光脉冲序列必须与基板的定位保持同步.微系统工程有许多特殊要求,最明显的一个例子就是产生电波用的波导.可以通过在适当材料基质(如氧化硅)去除材料的办法,制成微型结构的波导,其深度与宽度约从几微米到几百微米,其纵向延伸与变化受基质的限制.通过对这种波导的几何形状的确     

微装配技术的研究进展及其展望

微装配是电子制造、微制造、机器人操作等制造领域的共性前沿技术之一,近年来得到了广泛的研究与应用.首先,指出了微装配技术与纳米装配技术的本质区别,阐明了尺度效应和粘附效应给微装配技术带来的问题与挑战;分别介绍了传统微装配技术和新兴自装配技术的最新研究进展,讨论了一些急待解决的关键技术问题;最后对微装配技术的研究趋势进行了展望.     

微型半球陀螺平面电极装配方法设计

微型半球陀螺采用静电激励和电容检测技术实现陀螺的振型控制及信号读取,电容间隙的装配工艺是陀螺的关键工艺之一.该文对采用平面电极的微型半球陀螺装配工艺进行了探索,并根据谐振子的结构尺寸计算了装配误差的控制范围,设计了一种采用精密垫片实现微小间隙的装配方法,该方法通过垫片的厚度控制电容间隙.对采用此方法装配的陀螺电容间隙进...     

利用LIG技术制造夹钳

在航天、国防、医学、核物理学领域,有着对仪器设备向小型化、复杂化、集成化方向发展的要求。在这一动力驱动下,精神机械加工、ＬＩＧＡ技术以及硅技术有了长足发展,制造出许多部件和产品,但对于复杂的微机电系统,单靠这些难以实现,需要进行系统的装配工作,微夹钳也是在这一需求下发展起来的,除此之外,在细胞操作箕 细操作过程中也迫切需要这样的执行软件。本文利用ＬＩＧＡ技术进行了这方面的研究工作,并得到了一些结果     

微型执行元件的最新动向

近年来，人们对微机械寄予很大期望。但是要实现微机械，尚有许多研究课题。诸如微执行元件，微细结构元件的加工或组装技术，能量供应技术以及控制通信技术等。其中微执行元件的选定或者微机械的设计以及包括传感器的控制系统设计均起很重要的作     

利用LIGA技术制造夹钳

在航天、国防、医学、核物理等领域,有着对仪器设备向小型化、复杂化、集成化方向发展的要求。在这一动力驱动下,精密机械加工、 Ｌ Ｉ Ｇ Ａ 技术以及硅技术有了长足发展,制造出许多部件和产品。但对于复杂的微机电系统,单靠这些技术难以实现,需要进行系统的装配工作。微夹钳也是在这一需求下发展起来的。除此之外,在细胞操作和其他微细操作过程中也迫切需要这样的执行软件。本文利用 Ｌ Ｉ Ｇ Ａ 技术进行了这方面的研究工作,并得到了一些结果。     

微型泵的驱动技术

本文通过对近几年来各类微型泵研究的比较,从微型泵设计的关键技术－驱动方式的角度进行考虑,着重以压电致动泵,热气致动泵,电磁致动泵和记忆合金振膜泵等微型泵进行讨论。     

微型器件的自装配技术

自组装技术起源于生物化学领域。20世纪90年代以来,这种新型的装配技术得到了关注并且经历了较快的发展,同时在微机电系统(MEMS)等研究领域显示了潜在的应用前景。本文阐述了自组装技术的发展,介绍了多种自组装方法,包括利用毛细力、重力以及亲水(疏水)力作为驱动的多种自组装过程,着重总结了自组装技术在MEMS领域的应用。     

利用光驱动微型物体

1.引言自古以来人们都知道电磁波具有动量,因而,电磁波的辐照会产生压力。这就好比由于风力的作用会产生风压一样,将其称为辐射压,尤其是利用光照射时,将会产生光辐射压,又称为光压。早在1900年,P.N.Lebedev、1904年E.F.Nichols和G.F.Hull就已对利用光照射产生光压作了验证。譬如射向地球的太阳光强度,在大气层外为1.35kW/m~2,在地面上为1.0 kW/m~2左右。而地面上每1m~2镜面积所接收的光压仅为0.67dyn.当时,通过减少空气摩擦来观测光压是极其困难的,因而使得对光压的研究无法进展。直至1970年A.Ashkin经过实验,利用激光照射捕获微型物体获得成功以后,光捕获、     

微机械电子学系统

本文简要地评述了微机构、微传感器、微执行器的发展,提出了微机械电子学系统的概念,指出了微机械电子学系统的发展前景。     

玻璃微型结构产品

如果想把玻璃用在微系统工程中,必须将其制成公差很小的精确规定的结构。采用玻璃生产中通常的浇铸方法,是满足不了这些要求的,而且,难以按理想的尺寸进行机械加工,如钻孔、铣削或抛光。     

微型生化分析系统

介绍了一种基于微型光纤光谱仪的微型生化分析系统,对其进行了标定和实验测试。实验中对Fe^2 -邻二氮菲溶液体系的吸收谱进行了测试,做出了相应的工作曲线。并将测试结果与国内的722型分光光度计的实测结果进行了比较,实验结果表明该微型生化分析系统已达到实用化的要求,且具有实时全光谱(350～800nm)分析、体积很小等优点,是一种理想的微型生化分析系统。