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相似文献
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1.
无碳污染微通道板电子透射膜   总被引:4,自引:1,他引:3       下载免费PDF全文
提出利用静电贴膜技术制备无碳污染MCP电子透射膜工艺方案,探讨了贴膜与辉光气体放电的关系,制备了4nm厚MCP电子透射膜.实验测得该电子透射膜的成分只有铝和氧元素,MCP带膜前、后的体电阻和暗电流没有变化,MCP带膜后电子增益略有增加.  相似文献   

2.
闫金良 《红外技术》2003,25(4):84-87
微通道板(MCP)电子透射膜是决定Ⅲ代微光像管稳定性和可靠性的主要因素.采用有机衬底掩膜技术和冷基底溅射相结合的方法在MCP输入面制备非晶态Al2O3电子透射膜,测量了带膜MCP紫外光辐照清洗前后的电学特性. 讨论在多孔MCP输入面形成连续电子透射膜与气体辉光放电的关系,工艺失败对MCP的危害性.  相似文献   

3.
微通道板非晶态Al2O3电子透射膜   总被引:12,自引:5,他引:12  
文中介绍了MCP非晶态Al2O3电子透射膜在成像器件中的作用,阐述了膜层的选择,形成条件与方法,给出了膜层形成及其与辉光气体放电的关系,测量了膜层及带膜MCP的些特性,并进行了初步分析了讨论。  相似文献   

4.
微通道板电子透射膜及其粒子透过特性的研究   总被引:4,自引:0,他引:4  
文中介绍了微光像管中微通道板电子透射膜及其形成技术,研究了粒子(电子和离子)透过特性.给出了死电压概念、死电压曲线、死电压与膜厚关系曲线以及半视场对比测试结果;给出了采用XPS进行成分分析的结果.介绍了电子透射膜的离子透过特性,给出了表征膜层对离子阻止能力的离子透过率的概念,提出了离子透过率测试的原理方案和相关技术等问题.  相似文献   

5.
首次碰撞时电子的能量对微通道板的增益产生影响.为了揭示它们之间的变化关系,分别测试了标准型和高性能6μm孔径的微通道板的电流增益和电子增益随首次碰撞时电子能量的变化关系曲线,讨论了两者在微光像增强器中的相对优势,预示高性能MCP使用于微光像增强器中的技术潜力.  相似文献   

6.
闫金良 《电子学报》2004,32(6):1023-1025
微通道板(MCP)离子阻挡膜在Ⅲ代微光像管中起到延长寿命的关键作用. 分析了目前离子阻挡膜制备方法的优缺点,提出一种在MCP输入面制备离子阻挡膜的新型工艺,此工艺不造成MCP通道壁内表面碳污染.在MCP输入面制备了4nm厚Al2O3离子阻挡膜,测量了MCP离子阻挡膜的离子阻挡特性和电子透过特性. 实验表明,4nm厚Al2O3离子阻挡膜能有效地阻止反馈离子,透过电子.  相似文献   

7.
8.
采用多级MCP级联技术可大大提高MCP的增益。本文主要介绍了国产V型和Z型2种级联MCP的结构、增益特性测量,并对其测量结果进行了较详细的分析。  相似文献   

9.
汪述猛  唐光华  杨炳辰 《光电子技术》2021,41(2):132-134,142
三代微光像增强管需在所使用的微通道板(microchannelplate,MCP)输入面制备离子阻挡膜,以阻挡正离子轰击NEA光电阴极,维持和提高器件使用寿命.为此,研究开发了一种新的MCP离子阻挡膜制备工艺,先采用专用胶体填充MCP微孔,再用电子束蒸发Al2O3膜,蒸发速率为0.05 nm/s,蒸镀后用异丙醇去除微孔...  相似文献   

10.
本文综述了原子分辨率的原子序数衬度成像与原位电子能量损失谱分析、亚埃透射电子显微学、像差校正透射电子显微学和材料的微观结构表征与原位性能测试的最新发展和应用。在配置球差校正器、单色器和高能量分辨率过滤器的FEGTEM/STEM中,用相位衬度像/Z衬度成像与原位电子能量损失谱分析方法,在亚埃的空间分辨率和亚电子伏特能量分辨率下,可以研究各种材料的原子尺度界面和缺陷的原子和电子结构、价态、成键和成分等。配置球差校正器后,可明显提高透射电镜的点分辨率,把点分辨率延伸到信息分辨率,同时显著减小村度离住。随意改变球差系数Cs和离焦值△f,像差校正透射电子显微镜可提供新的成像模式。把特殊的样品杆插入电镜后,可把扫描隧道显微镜(STM)或原子力显微镜(AFM)功能相结合,开展材料的显微结构表征与原位的性能测试,不仅能得到物质的与显微像、成分、衍射有关的信息,同时还可以测量电学、力学性能,也可以研究在外场(温度、应力、电和磁场)作用下材料微观结构演变及结构与性能间的关系。  相似文献   

11.
介绍了微通道板(MCP)防离子反馈膜在三代微光象增强器中的作用,测量了防离子反馈膜的电子透过特性和离子透过特性,比较了用带膜MCP做成的二代薄片管和不带膜的MCP做成的二代薄片管的脉冲幅度分布、寿命和阴极灵敏度衰减。实验发现,非晶态Al2O3防离子反馈膜能有效地透过电子,阻止反馈离子,降低闪烁噪声,延缓阴极灵敏度衰减,延长象管工作寿命。  相似文献   

12.
MCP是一种超快响应的电子倍增器,在像增强器和光电倍增管中有广泛应用。本文首先介绍了MCP输入增强膜原理,之后利用真空镀膜方法在MCP的输入端镀制了一层具有高二次电子发射系数的膜层,并通过面电阻、XPS表征了膜层特性。通过试验,对比测量了镀膜MCP和常规MCP像增强器的信噪比、MCP增益以及像增强器分辨力,测量结果表明,镀膜MCP像增强器的信噪比、MCP增益较常规MCP像增强器的信噪比、MCP增益均有提高,但像增强器分辨力有所下降。常规MCP像增强器的信噪比平均为25.27、MCP增益平均为209.5、像增强器分辨力平均为61 lp/mm,而镀膜MCP像增强器的信噪比平均为29.53、MCP增益平均为450.5、像增强器分辨力平均为54.75lp/mm。镀膜MCP像增强器信噪比和MCP增益提高的原因是MCP输入端镀膜以后,表面二次电子发射系数提高。另外由于MCP输入端表面二次电子发射系数提高,导致镀膜MCP输入端表面散射电子数量的增加,使得镀膜MCP像增强器分辨力有所下降。  相似文献   

13.
介绍了利用高倍放大的超薄多层膜的剖面图,经FC数字化图像处理系统进行数字化处理后,给出详细的定量结构参数的详细过程。并给出了对利用平面磁控溅射淀积的10个周期数的Mo/Si周期多层膜的实际处理结果,获得了界面上的渗透层厚度和粗糙度值,并与小角X光衍射法测得的结果进行了比较。  相似文献   

14.
纳米级富氮SiOxNy薄膜的电子注入损伤研究   总被引:2,自引:0,他引:2  
研究了在30V的直流偏压下,对PECVD工艺制备的SiOxNy薄膜进行电子注入,并结合俄歇谱和红外光谱对实验结果进行了讨论。结果表明,薄膜内有较多的受主陷阱,平带电压漂移在小电流下有显著变化,该方法对薄膜界面造成的损伤较小,禁带中的界面态密度变化不明显。  相似文献   

15.
介绍了微通道板的电子增益及其测量的UV光电法,并着重分析了UV光透过Au薄膜引起的附加输出(或附加增益)对测试结果的影响,给出了减小的途径,指出了应用前景.  相似文献   

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