用于光刻模拟的快速计算稀疏空间点光强的方法

使用光刻仿真工具模拟掩模图形到硅圆片的转移成像结果,可以分析集成电路在工艺规则下产品的可靠性和部分电学特性．基于Gabor的“主波分解”方法,一个部分相干成像系统可以用相干成像系统的叠加来近似,再对空间图像进行高斯卷积来模拟光刻胶的实际扩散效应,从而获得一种精确、快速用于光刻模拟的稀疏空间点光强计算方法．根据光学系统的传输交叉系数的特性,提出和探讨了两种矩阵分解的方法．     

基于MC算法的光刻仿真微结构的三维重建

在深度光刻中为了仿真微结构的形状,需要利用三维光场分布的数据对其进行三维重建。而MC(Marching Cubes)算法是三维重建中构造等值面的代表性的方法之一。以MC算法为基础,首先介绍了如何利用MC算法来绘制三维光场数据的等值面,然后分析将等值面和边界所围成的空洞补全的方法,最后研究了如何利用有限元分析软件的参数化设计语言将生成的面模型转换成实体模型。该方法重建的几何模型不但可以用于微结构形状误差分析,而且还可方便的用于建立有限元模型,直接应用于有限元分析。     

基于光刻模型的光学邻近校正切分优化方法

在处理二维图形时需要耗费大量时间调试配方.为此,提出一种基于光刻模型的切分优化方法.采用纹波抑制的切分方法,并根据空间光强曲线的极值点分配切分片段,通过格点搜索选取方法参数,从而获得最优切分方案.实验结果表明,该方法能获得稳定的配方调试时间,且与参考配方结果相比,具有较好的光学邻近校正精度,可使边位置误差平均降低5％.     

基于Voronoi多边形的移动目标跟踪算法

分析讨论了Voronoi多边形的特性以及在目标监测与跟踪中的应用,提出了一种基于Voronoi多边形的移动目标跟踪算法。仿真实验结果分析表明,算法的计算和通信开销小,有效地节省监测节点的能量消耗,提高移动目标的监测效能。     

部分求值技术用于复杂系统仿真建模

该文对复杂系统仿真技术进行了理论分析 ,提出了利用部分求值技术在复杂系统仿真建模的方法 ,并给出了部分求值的理论证明 ,对复杂系统仿真给予理论上的支持。     

传感器自适应跟踪算法研究及仿真系统实现

雷达和红外作为目标跟踪常用的两种探测手段,各有其优缺点,利用雷达高精度的距离测量和红外高精度的角度测量,通过信息融合技术充分实现二者的优势互补,并结合交互式多模型(IMM)跟踪思想,给出对目标位置的精确估计;设计基于雷达/红外多传感器跟踪平台的自适应融合跟踪算法,实现根据目标不同运动特性进行跟踪模型灵活、合理切换的自适应目标跟踪,改善对目标的综合识别,达到更好的跟踪效果;选取当前工程实践中广泛应用的目标运动模型,设计基于VC++环境的目标跟踪仿真系统软件,并利用MFC界面制作技术创建可视化目标跟踪仿真软件平台,对跟踪算法性能进行验证。     

洗衣机仿真系统的设计与实现

研制了一种洗衣机仿真运行控制系统，该系统可以按照预先没定的参数对洗衣机进行控制，并将洗衣机的运行参数实时地记录下来存入数据库，为洗衣机新产品的开发提供原始参考数据。该系统使用了较多类型的传感器，可以作为设计一些智能测量控制系统的参考。     

一种改进的单纯形优化算法及其仿真研究

研究一种收缩系数和扩展系数适时适当变化的单纯形优化学习算法。用MATLAB语言编制仿真程序,该程序简单、通用。仿真结果表明,该算法与N—M法相比,有效地提高了寻优速度。     

单边带调制解调系统的SystemView仿真研究

单边带调制技术是模拟调制中的重要技术,本文简要介绍产生单边带信号的几种基本方法,然后通过在SystemView软件中对其进行仿真分析,进一步说明单边带调制解调系统的原理及方法。     

对涡轮流量传感器的仿真研究

涡轮流量计在测量仪表中是一种非常重要的仪表。因其测量精度高、重复性好、体积小、重量轻而得到广泛的应用。但随着其测量流体粘度的增大,测量的线性度变差,对仪表系数产生很大的影响。以往的研究大多是理论分析、实验,而本文则是利用了近些年兴起的数值仿真技术来对涡轮传感器内部的速度场、压力场进行仿真,提出了对涡轮前后导流件叶片形状、叶轮叶片形状、叶轮顶隙大小的改进意见。     

地震微观前兆预报网络系统设计研究(4)——网络系统设计

提出了地震微观前兆预报网络系统设计的一整套详细方案,包括地震模型、基岩传感器网络和数据融合、信号处理技术和网络系统设计.本文介绍网络系统设计方案,包括光纤传感器在地震预报网络中的应用、传感器网络平台的选择和网络设计、地震源定位的相干声阵列处理技术、光数据通信技术.     

分布式光纤测温系统及高速数据采集与处理

分布式光纤测温系统是一种用于实时测量空间温度场分布的传感器系统。介绍了一种以数字信号处理器(DSP)为核心,以并行高速流水线式A/D转换器、先入先出队列芯片(FIFO)、可编程逻辑器件(CPLD)为主体的分布式光纤测温系统。其数据采集速率每秒可达10×107次,空间分辨力达1m,温度分辨力为1℃,并能直接在主机中解调出温度数据。     

基于有限元的电容临近传感器研究

建立了电容临近传感器的三维仿真数学模型,用FEA对不同参数的传感器进行了仿真,比较分析了被测物距离、电极宽度、电极长度间隙比等对传感器灵敏度的影响,并与理论计算进行比较,结果表明:测量系统的灵敏度与电极宽度和电极长度间隙比近似成正比,与被测物距离近似成反比.该研究对电容临近传感器的结构设计有指导意义.     

导管操作系统中力觉传感器信息的获取与控制研究

针对导管操作系统中力觉传感器反馈力的获取与控制进行了研究,导管前端采用光纤力传感器测量导管的顶端力;导管侧壁采用基于PVDF材料开发的微力传感器来测量导管的侧壁力。该导管操作系统对力觉传感器的输出信息进行了监测,实现了一种带有受力信息监测的主—从模式的新型导管操作系统。实验结果表明:该系统能够较好地实现受力信息的反馈。     

Automated entry system for Chinese printed documents

In this paper, we present a new automated Chinese printed document entry system. This system features automated text/ graph segmentation, and multi-font, multi-size printed Chinese character recognition. Experimental results show that 95.8–99.4% of the top 10 printed characters can be correctly recognized, with the speed of 0.16 seconds/character.     

室内无人飞艇导航系统的研究与仿真

根据室内飞艇导航应用的特点,介绍了超宽带(UWB)导航系统在室内无人飞艇自主飞行系统中的应用方法,根据室内场所等条件的要求,建立了室内飞艇系统的导航模型,以Matlab/Simulink为平台,对UWB进行了实时导航的仿真实验.实验结果不仅证明该导航方法具有较高的导航精度,而且为进一步研究室内飞行器导航系统开辟了一条比...     

接触式图像传感器应用于表格文档信息处理

表格文档在日常生活中运用十分广泛 ,它应用于人口普查、银行票据、各类报表等领域 ,对这类文档进行计算机自动处理具有重要的现实意义。表格文档信息处理系统主要由文档原始图像获取、文档结构提取和填写信息识别等部分组成。在分析了国内外表格文档信息自动录入系统的优缺点后 ,采用一种基于接触式图像传感器 (CIS)摄取表格文档的原始图像信号 ,利用硬件获得了高质量的图像信号。采用光学字符识别 (OCR)技术对填写的表格文档信息进行识别。该表格文档信息处理系统具有对表格文档的纸张和填写的要求低和识别准确度高的特点。     

基于HLA的卫星分布仿真系统设计与实现

基于HLA(高层体系结构)规范,利用自主版权的AST-RTI(运行时间框架)软件,设计并实现了具有开放性、可扩展性、稳定性的卫星分布仿真系统。该系统完成了卫星侦察、通讯的过程仿真以及数据处理评估。解决了一系列关键技术,如时钟同步、大数据量信息传输、第3方软件集成、仿真Agent技术等。     

相位调制型光纤压力传感器与智能检测系统

介绍了光纤传感器检测系统的特点和结构组成。重点分析了相位调制型光纤压力检测系统的原理及以单片机为核心的信号处理方法 ,最后给出实验结果