基于MC算法的光刻仿真微结构的三维重建

在深度光刻中为了仿真微结构的形状,需要利用三维光场分布的数据对其进行三维重建。而MC(Marching Cubes)算法是三维重建中构造等值面的代表性的方法之一。以MC算法为基础,首先介绍了如何利用MC算法来绘制三维光场数据的等值面,然后分析将等值面和边界所围成的空洞补全的方法,最后研究了如何利用有限元分析软件的参数化设计语言将生成的面模型转换成实体模型。该方法重建的几何模型不但可以用于微结构形状误差分析,而且还可方便的用于建立有限元模型,直接应用于有限元分析。     

基于光刻模型的光学邻近校正切分优化方法

在处理二维图形时需要耗费大量时间调试配方.为此,提出一种基于光刻模型的切分优化方法.采用纹波抑制的切分方法,并根据空间光强曲线的极值点分配切分片段,通过格点搜索选取方法参数,从而获得最优切分方案.实验结果表明,该方法能获得稳定的配方调试时间,且与参考配方结果相比,具有较好的光学邻近校正精度,可使边位置误差平均降低5％.     

基于Voronoi多边形的移动目标跟踪算法

分析讨论了Voronoi多边形的特性以及在目标监测与跟踪中的应用,提出了一种基于Voronoi多边形的移动目标跟踪算法。仿真实验结果分析表明,算法的计算和通信开销小,有效地节省监测节点的能量消耗,提高移动目标的监测效能。     

微分代数系统的数值仿真算法

介绍了微分代数系统ＤＡＥ的基本概念及仿真算法,特别指出了用ＢＤＦ方法求解高指标常系数线性ＤＡＥ系统时的数值稳定性缺陷。最后,针对飞行器轨道约束实时控制问题,给出了３阶收敛的代数约束算法。     

部分求值技术用于复杂系统仿真建模

该文对复杂系统仿真技术进行了理论分析 ,提出了利用部分求值技术在复杂系统仿真建模的方法 ,并给出了部分求值的理论证明 ,对复杂系统仿真给予理论上的支持。     

传感器自适应跟踪算法研究及仿真系统实现

雷达和红外作为目标跟踪常用的两种探测手段,各有其优缺点,利用雷达高精度的距离测量和红外高精度的角度测量,通过信息融合技术充分实现二者的优势互补,并结合交互式多模型(IMM)跟踪思想,给出对目标位置的精确估计;设计基于雷达/红外多传感器跟踪平台的自适应融合跟踪算法,实现根据目标不同运动特性进行跟踪模型灵活、合理切换的自适应目标跟踪,改善对目标的综合识别,达到更好的跟踪效果;选取当前工程实践中广泛应用的目标运动模型,设计基于VC++环境的目标跟踪仿真系统软件,并利用MFC界面制作技术创建可视化目标跟踪仿真软件平台,对跟踪算法性能进行验证。     

洗衣机仿真系统的设计与实现

研制了一种洗衣机仿真运行控制系统，该系统可以按照预先没定的参数对洗衣机进行控制，并将洗衣机的运行参数实时地记录下来存入数据库，为洗衣机新产品的开发提供原始参考数据。该系统使用了较多类型的传感器，可以作为设计一些智能测量控制系统的参考。     

单边带调制解调系统的SystemView仿真研究

单边带调制技术是模拟调制中的重要技术,本文简要介绍产生单边带信号的几种基本方法,然后通过在SystemView软件中对其进行仿真分析,进一步说明单边带调制解调系统的原理及方法。     

对涡轮流量传感器的仿真研究

涡轮流量计在测量仪表中是一种非常重要的仪表。因其测量精度高、重复性好、体积小、重量轻而得到广泛的应用。但随着其测量流体粘度的增大,测量的线性度变差,对仪表系数产生很大的影响。以往的研究大多是理论分析、实验,而本文则是利用了近些年兴起的数值仿真技术来对涡轮传感器内部的速度场、压力场进行仿真,提出了对涡轮前后导流件叶片形状、叶轮叶片形状、叶轮顶隙大小的改进意见。     

一个用于排队系统仿真的中间件

如何在短时间内开发出高质量的仿真程序 ,越来越受到研究人员的关注。该文详细介绍了一个用于排队系统仿真的中间件QueueSystem ,利用QueueSystem开发排队系统仿真程序具有易学易用 ,灵活性强 ,开发速度快 ,代码质量高等优点 ,不失为一种好方法。文章不仅介绍了中间件的设计原则和技巧 ,而且具体展示了对象接口 ,并举例说明 ,对仿真程序开发人员具有很强的实践指导意义     

SVM based layout retargeting for fast and regularized inverse lithography

Inverse lithography technology （ILT）, also known as pixel-based optical proximity correction （PB-OPC）, has shown promising capability in pushing the current 193 nm lithography to its limit. By treating the mask optimization process as an inverse problem in lithography, ILT provides a more complete exploration of the solution space and better pattern fidelity than the tradi-tional edge-based OPC. However, the existing methods of ILT are extremely time-consuming due to the slow convergence of the optimization process. To address this issue, in this paper we propose a support vector machine （SVM） based layout retargeting method for ILT, which is designed to generate a good initial input mask for the optimization process and promote the convergence speed. Supervised by optimized masks of training layouts generated by conventional ILT, SVM models are learned and used to predict the initial pixel values in the‘undefined areas’ of the new layout. By this process, an initial input mask close to the final optimized mask of the new layout is generated, which reduces iterations needed in the following optimization process. Manu-facturability is another critical issue in ILT;however, the mask generated by our layout retargeting method is quite irregular due to the prediction inaccuracy of the SVM models. To compensate for this drawback, a spatial filter is employed to regularize the retargeted mask for complexity reduction. We implemented our layout retargeting method with a regularized level-set based ILT （LSB-ILT） algorithm under partially coherent illumination conditions. Experimental results show that with an initial input mask generated by our layout retargeting method, the number of iterations needed in the optimization process and runtime of the whole process in ILT are reduced by 70.8%and 69.0%, respectively.     

用于光刻模拟的快速计算稀疏空间点光强的方法

使用光刻仿真工具模拟掩模图形到硅圆片的转移成像结果,可以分析集成电路在工艺规则下产品的可靠性和部分电学特性．基于Gabor的“主波分解”方法,一个部分相干成像系统可以用相干成像系统的叠加来近似,再对空间图像进行高斯卷积来模拟光刻胶的实际扩散效应,从而获得一种精确、快速用于光刻模拟的稀疏空间点光强计算方法．根据光学系统的传输交叉系数的特性,提出和探讨了两种矩阵分解的方法．     

用于索引视域的凸多边形树

智能手机等设备在拍摄照片和录制视频时会将拍摄位置和光学参数记录到影像文件中,可以提取并利用这些信息,在二维平面空间中还原出图片所对应的扇形视域(field-of-view, FOV).将影像文件及其对应的FOV存储在计算机中,用来支持用户对影像文件的空间查询.一种典型的空间查询是用户在地图上指定查询区域,计算机找出拍摄到这个区域的影像返回给用户,其实质是找出与查询区域存在交集的FOV.为了提升查询效率,需要设计合理的数据结构来索引FOV.然而,现有的索引结构没有充分利用FOV的形状特点.使用五边形近似描述FOV,并设计凸多边形树来索引五边形.树的节点是k\\+*凸多边形.k\\+*凸多边形是包围一组多边形的最佳多边形,它的边数不超过k并且无效区域最小,即它本身与其内部元素的差集最小.提出了淹没算法来找出这样的包围多边形.在构建凸多边形树时,将逐一插入FOV,为每个待插入FOV选择最优叶子节点的标准是让FOV插入后新节点的无效区较小,新节点的增加区较小,并且旧节点与FOV的重合区较大.同时,提出了基于凸多边形树的FOV查询算法.实验结果表明凸多边形树与现有索引相比可以提升查询效率.     

OMNeT++平台上无线传感器网络仿真系统的研究*

仿真系统对于无线传感器网络尤其是大规模无线传感器网络的性能评价是必不可少的。通过仿真,人们能够在一个可控的环境里研究无线传感器网络,观察由不可预测的干扰和噪声引起的节点间的相互作用,减少投放后的网络维护工作。OMNeT++是一款开源的、基于组件的、模块化的开放网络仿真平台。在OMNeT++平台提供的网络仿真基础类库和开发环境的基础上,紧密结合无线传感器网络自身特点,从仿真模型、实现机制和应用场景等方面设计了无线传感器网络仿真系统,并在Linux操作系统上编程实现。通过实验验证,该仿真模型可以正确仿真MAC     

复杂物理模型仿真的多进程流水线方法*

介绍了一种利用并行运算解决高维度、非线性、强耦合系统模型仿真问题的方法。该方法以现场可编程门阵列(FPGA)技术为依托,在流水线设计思想的基础上,利用所提出的流水线算子概念实现了从非线性常微分方程向流水线数据通路的转换过程。该方法为在FPGA上设计模拟各种复杂物理模型的流水线数据通路提供了一种简单有效的解决方案。     

地震微观前兆预报网络系统设计研究(4)——网络系统设计

提出了地震微观前兆预报网络系统设计的一整套详细方案,包括地震模型、基岩传感器网络和数据融合、信号处理技术和网络系统设计.本文介绍网络系统设计方案,包括光纤传感器在地震预报网络中的应用、传感器网络平台的选择和网络设计、地震源定位的相干声阵列处理技术、光数据通信技术.     

分布式光纤测温系统及高速数据采集与处理

分布式光纤测温系统是一种用于实时测量空间温度场分布的传感器系统。介绍了一种以数字信号处理器(DSP)为核心,以并行高速流水线式A/D转换器、先入先出队列芯片(FIFO)、可编程逻辑器件(CPLD)为主体的分布式光纤测温系统。其数据采集速率每秒可达10×107次,空间分辨力达1m,温度分辨力为1℃,并能直接在主机中解调出温度数据。     

基于Truetime的无线传感器网络仿真研究*

分析现有典型仿真工具的基础上,引入了一种新的无线传感器网络仿真工具Truetime,并总结了其建模的关键步骤;最后以实例进一步明确了Truetime的使用方法,为无线传感器网络仿真提供了一种新的思路。     

基于有限元的电容临近传感器研究

建立了电容临近传感器的三维仿真数学模型,用FEA对不同参数的传感器进行了仿真,比较分析了被测物距离、电极宽度、电极长度间隙比等对传感器灵敏度的影响,并与理论计算进行比较,结果表明:测量系统的灵敏度与电极宽度和电极长度间隙比近似成正比,与被测物距离近似成反比.该研究对电容临近传感器的结构设计有指导意义.     

基于子字并行的串行图像处理算法表示方法

多媒体应用程序的一个最突出的特点就是其内在的并行性,要求同时对多个数据单元进行相同的规则操作,这种并行性被称为子字并行。如何让编译器产生有效的并行代码,如何从普通的串行C程序中识别出子字并行指令,是一个前沿性的研究课题。提出了一种用于实现对串行源代码进行显式表示的方法,该方法对数字信号处理领域常用的同步数据流图方法进行改进,结合模式匹配技术,着眼于内层循环,通过扩展规范的模式库,对带模式识别的数据流、控制流进行分析,能够从串行应用程序中自动地提取其固有的子字并行,得到显式的并行化中间表示,基于这种数据流图表示,采用改进的树模式匹配实现子字并行指令选择和代码生成。实验测试表明了该方法的有效性。