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类金刚石膜的结构与性能研究 总被引:8,自引:2,他引:8
用激光Raman谱和XRD谱对用直流-射频等离子体化学气相沉积法制备的类金刚石膜的结构进行了分析,并研究了工艺参数对膜的沉积速率,内应力和直流电阻率的影响,结果表明,类金刚石膜是由sp^2和sp^3键组成的非晶态碳膜,当负偏压高于300V时,膜中sp^3/sp^2键的比值随负偏压的升高而降低,类金刚膜的沉积速率与负偏压Vb的成正比,膜内存在1~4.7GPa的压应力,随负偏压的升高而降低,膜的电阻率 相似文献
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荷能粒子在类金刚石膜形成中的应用 总被引:1,自引:0,他引:1
类金刚石膜由于其优异性能和广泛应用已引起越来越多的研究兴趣。尽管各种化学和等离子体辅助CVD和PVD技术已用来沉积类金刚石膜(DLC膜),但其形成机理仍不清楚。本文通过分析荷能离子的作用,应用热峰效应和离子刻蚀效应来解释DLC膜的形成。 相似文献
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高硬度、低应力类金刚石薄膜的制备及其摩擦学行为 总被引:2,自引:0,他引:2
采用直流磁控溅射金属Al和C石墨组合靶,在单晶硅和不锈钢基底上成功制备出含Al的非氢类金刚石a-C(Al)薄膜。采用XPS、Raman、纳米压痕仪和摩擦磨损试验机等手段分析和研究了a-C(Al)薄膜的结构、力学以及摩擦磨损性能。结构表征显示,引入到类金刚石碳膜中的金属以原子或纳米团簇的形式存在,且一定程度上促进碳网络中sp2杂化键的形成。力学性能测试表明,a-C(Al)薄膜获得较低内应力同时,仍具有高硬度特性。摩擦学性能表明,a-C(Al)薄膜干摩擦时其摩擦系数约为0.07,磨损率仅为4.6×10–16 m3 N-1 m-1左右。良好的综合力学性能以及致密、连续的石墨化碳转移膜是a-C(Al)碳膜获得较好摩擦、磨损性能的关键因素。 相似文献
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纤维素类树脂纳滤膜的制备和应用是纳滤膜技术研究的热点之一。使纤维素类树脂纳滤膜具有杀菌效果、较高的水透性、耐氯性、化学稳定性和强度,又具有较好的分离性能是制备纤维素类树脂纳滤膜的重要课题。纤维素类树脂纳滤膜可以用于红色、蓝色、黄色染料废水处理。 相似文献
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电解制备类金刚石的碳镀层的方法为:将一种电解质加入有机化合物的水溶液中或加入液体有机化合物中,然后将欲镀工件和对电极放入该溶液中,在工件和对电极之间施加直流电或脉冲电流进行调制电解,这样就可以在工件表面上镀覆金刚石薄膜或非晶态碳薄膜。 相似文献
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类金刚石薄膜等硬质碳膜具有许多优异特性,其开发研究已引起人们的极大关注.文章就类金刚石薄膜和金刚石薄膜的最新制备方法与各种特性进行了解说. 相似文献
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This paper reports a composite thin film of platinum–diamond-like carbon (Pt-DLC). "Nonreactive" and reactive rf sputter deposition techniques were used for the preparation of these thin films under various ratios of Ar/CH4 . As-deposited thin films were characterized for microstructures using transmission electron microscopy and Raman spectroscopy, compositions using electron probe for microanalysis, surface morphology using scanning electron microscopy, and sheet resistance using four-point probe. Correlations among the growth parameter, film composition, and structure are presented. Such correlations were found to depend on the deposition technique. Improved electrical conductivity and reduced film stress were also found due to the addition of platinum to DLC. 相似文献
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五层共挤阻隔薄膜的结构、性能、工艺及表征 总被引:1,自引:0,他引:1
介绍了以聚乙烯、聚丙烯、尼龙6、乙烯-乙烯醇共聚物四种聚合物原料作为多层共挤复合膜的材料进行挤出成型制备高阻隔性的薄膜,其中以PA6和EVOH作为阻隔薄膜的阻隔层材料,将聚乙烯作制备阻隔薄膜的热封层材料。分别通过热重分析、流变性能测试详细讨论了各种聚合物原料的热稳定性、热流变性能等,并在此基础上探讨了五层共挤流延膜的加工工艺,而后又对制备得到的六种五层共挤流延膜的力学性能及阻隔性能进行了详细表征。 相似文献
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PVDC薄膜的阻隔性与加工技术 总被引:3,自引:0,他引:3
PVDC吹塑薄膜、层合膜和共挤出流延薄膜是高阻隔性的包装材料。PVDC树脂加工过程中易分解和它的结晶特性使它需采用特殊的加工设备和工艺。通过对薄膜生产过程的分步模拟,其结果解释了工艺中冷水槽、温水槽、拉伸比、室温存放中的有关结晶现象,有助于认识加工过程,指导PVDC产品的加工工艺及提高产品性能。 相似文献
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将乙基纤维素树脂与指示剂(MCP)、塑化剂磷酸三丁酯(TBP)、催化剂(TBAH)以及二氧化钛共混制备成呼吸末二氧化碳变色薄膜,探讨了制备工艺中乙基纤维素相对分子质量、乙基纤维素添加量、TBP添加量、干燥温度、涂膜厚度对薄膜变色敏感度和变色速度的影响。结果表明,本工艺制备的变色薄膜具有在0~5 %二氧化碳含量下,随着二氧化碳含量的不同,产生可恢复的颜色改变的能力;物料组成上选择乙基纤维素作为载体树脂,相对分子质量约为80000的乙基纤维素最为适宜;随着乙基纤维素添加量的减少、TBP添加量的减少、干燥温度的升高以及涂膜厚度的降低,薄膜的敏感度逐渐升高;随着TBP添加量的减少、涂膜厚度的增加,薄膜的响应时间和恢复时间均增加,且薄膜厚度从50 μm变化到300 μm时,恢复时间增加了3倍。 相似文献
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使用磁控溅射法在生物医用NiTi合金基体表面制备了Ti/TiN、Ti/DLC以及Ti/CNx梯度薄膜,利用扫描电镜研究了薄膜的截面形貌,并使用划痕仪及摩擦磨损仪研究比较了薄膜的力学性能。结果表明:薄膜均表面平整,与基底结合紧密。Ti/CNx薄膜与NiTi合金基底的结合力大于Ti/DLC薄膜,略低于Ti/TiN薄膜。3种梯度薄膜均能有效改善NiTi合金的耐磨损性能,其中,Ti/CNx薄膜拥有最低的摩擦系数和最完整的磨损表面,耐磨性最好。 相似文献