电子气终端纯化系统

由半导体气体设备公司(Semi-Gas Systems Ine．)制造的“Nanochem”气体纯化系统(图1)，是一种紧凑的纯化气体范围较广的终端纯化系统，对除去氧和水可达10ppb以下。另外，该纯化器还可从工艺过程气体中除去含氯的杂质。     

高纯氮终端纯化装置用智能控制仪

用单片微机对高纯N_2终端纯化装置进行测控,具有精度高,自动化程度高及体积小,成本低等优点。叙述的智能控制仪充分利用单片微机软硬件,对测量信号进行线性补偿处理,并采用PID算法进行控制;允许操作人员设置各种控温参数及报讯时间;不仅可用数码管显示11种运行参数,还可用灯光显示8种运行状态;此外,还具备超温声光报警功能;在抗干扰方面也有独到的处理。从系统要求及控制方法、硬件配置、软件设计等方面进行论述,为化工设备自动化提供了可借鉴的方法和思路。     

气体纯化技术进展

阐明了气体纯化技术发展的必然趋势．详细介绍了国内外气体纯化工艺过程和技术性能，指出了我国配气用５．５～６Ｎ高纯度底气压力型纯化技术开发研究的迫切性．     

高压终端纯化氮气中痕量杂质的分析

介绍了超纯氮中Ｈ２、Ｏ２、ＣＯ、ＣＯ２、ＴＨＣ、Ｈ２Ｏ的分析，并对其可靠性进行充分考察。     

高压终端纯化氢气中痕量杂质的分析

介绍了超纯氢中痕量Ｏ２、Ｎ２、ＣＯ、ＣＯ２、ＴＨＣ、Ｈ２Ｏ的分析，并对其可靠性进行了充分考察。     

气体纯化技术—分子筛吸附性能试验

以5A 分子筛、4A 分子筛、活性碳二种吸附剂分别对 O_2、N_2、CO_2、C_2H_2进行吸附试验。通过试验进一步了解分子筛及活性碳在不同温度、不同压力下对各种气体的吸附能力。选择最佳吸附系件,找出分子筛的吸附规律及持续吸附时间.使其在空分原料气净化、气体纯化中发挥更大的作用。     

气体纯化器在高纯气体检验中的运用

文中讲述了用DID微量气体分析系统,检验气体纯化器的纯化效果的试验过程,以图表的形式直观的描述了各种影响因素对纯化结果的影响。大家都知道气相色谱仪所用载气纯度越高,它的检测浓度就越低,用来检测高纯气体的水平就越高,所以微量气体分析系统往往需要用6N的载气,在国内较难买到瓶装气,而进口又相当昂贵。经介绍先普半导体技术(上海)有限公司生产的一款稀有气体纯化器可以很容易地把5N高纯气通过纯化,得到6N超纯气体,从而提高我们的色谱检验水平;同时作为辅助纯化器,有效地保证仪器内部纯化器的安全和寿命。     

氢化物气体的纯化方法

将粗制氢化物气体与镍硫化物接触 ,脱除粗制氢化物气体中含有的氧。     

林德公司改进气体生产技术

1989年9月上旬,联碳公司林德分公司披露了一项生产中等数量中等纯度氧和氮的新技术,该技术可望使非深冷法生产这些气体的成本降低20％～50％,并打开了低成本气体的新市场。林德公司的技术是随各主要工业气体生产厂商最近的提价决定,并指出对最主要的几种工业气体年增长率为3％～7％之后宣布的。深冷分离法占批量工业气体市场的     

气体的纯化方法及纯化装置

申请(专利)号:201010114317.X公开(公告)日:2014-02-12申请(专利权)人:大阳日酸株式会社摘要:本发明公开了一种气体的纯化方法,除去大量惰性气体中的氢气、一氧化碳、二氧化碳、氧气和水,使上述惰性气体与水分吸附剂接触以除去水,     

气体的纯化方法及纯化装置

正申请(专利)号:201010114317.X公开(公告)日:2014-02-12申请(专利权)人:大阳日酸株式会社摘要:本发明公开了一种气体的纯化方法,除去大量惰性气体中的氢气、一氧化碳、二氧化碳、氧气和水,使上述惰性气体与水分吸附剂接触以除去水,并且对惰性气体的流动进行整流,接着,使惰性气体     

在线式超高纯气体纯化器

在线式超高纯气体纯化器木村正城为研制兆位、千兆位级装置，近几年来，广泛进行了气体纯度和高集成度装置的性能研究。与此同时，还积极地进行了超高纯气供给技术的开发。其结果。确定了前所未有的超高纯气（气体中含有杂质浓度为１０－’、１０－‘’级）供给技术。超高...     

全球气体业务

工业气体公司以各种方式迎接全球性的挑战。总的来说，全球工业气体业务的前景是非常乐观的；生产能力及应用都在增长并且发展前景良好。但需要好好利用这个环境，做好计划和勤奋工作。几家主要的工业气体公司成功地运用了它们各自的策略。     

气体工业名词术语

高纯气体系统用针形阀 ( Used in High PurityGas System Needle Valve)是用来细调高纯气体流量的阀门 ,通常要求采用不锈钢材质 ,内漏及外漏速率均有严格要求 ,材质与气体接触的表面要经过特殊处理 ,以确保气体通过时无粒子脱落且不吸附气体 ;它具有针形的阀瓣和阀座。其调节精度主要取决于通径和阀针锥度的大小。国外已实现气体1 m L/h的精确控制。工作压力可高达 35MPa,适用温度 - 60～ 2 32℃。高纯气体系统用膜片阀 ( Used in High PurityGas System Membrane Valve)其工作原理是由与手轮一起转动的阀杆将阀头压下 ,使阀关闭。…     

实验室用的气体纯化系统

叙述了一种简单而有效的惰性气体和氮气的纯化系统，它能除掉气体中的机械杂质，氧和水，并能在高流量和高压力下工作。文中对系统的特性和吸附剂的再生方法作了说明。     

气体工业名词术语

高纯气体系统用气体过滤器 (Used in HighPurity Gas System Gas Filter)是依据碰撞、扩散和截获机理将气体中粒子过滤掉的装置。集成电路发展到兆位级后 ,对超净提出了更严格要求。SEMI标准对 1 0 /0 .1级以管道供给的氮和氩气中规定≥0 .1 μm粒子≤ 0 .4个 /L;1 6M DRAM用气中 >0 .1 μm的粒子 <1个 /L。在超高纯气体或电子气体供气系统中 ,为了脱除由于振动或气流冲击所造成的脱落粒子 ,应在阀门和配件下游和使用气前安装过滤器。粒子过滤器的选型及规格视气体控制规范而定。过滤器壳体一般采用 31 6不锈钢 ,滤芯有烧结的多孔金…     

简谈中国气体

回顾我国气体20多年所走的道路,通过分析同国外气体发展的差别,强调气体基础研究的重要意义,对我国特种气体由量的满足到质的飞跃充满信心.     

气体纯化技术进展

阐述了气体纯化技术进展的必然趋势，详细介绍了国内外气体纯化工艺过程和技术性能。指出了我国配气用５．５～６Ｎ高纯度底气压力型纯化技术开发研究的迫切性。     

半导体生产用氮气纯化工艺的改进

介绍了三个阶段的纯化工艺改造,即催化除氧和吸附干燥的纯化方法;从普氮分馏塔中直接抽取氮气终端纯化的方法;高纯氮塔中压直接送出。纯度99.999%N_2以上,露点-60℃以下,已能满足集成电路生产的需要。