DWDM窄带滤光片用高精度光学膜厚仪

随着信息技术的发展对高密度波分复用（ＤＷＤＭ）滤光片的需要越来越大。而高精度性能的光学薄膜膜厚监控系统是制备ＤＷＤＭ滤光片的关键,文中论述了所建立的制备用１００ＧＨｚ～５０ＧＨｚ ＤＷＤＭ滤光片的高精度高性能的光学膜膜厚监控系统。该系统的波长分辨力的０．１ｎｍ,重复性精度为±０．０５ｎｍ,信噪比与温度漂移特性分别±０．０１％和０．０５％／ｈ。还论述了该系统的实际实验结果。     

一种新型多功能快速分光式膜厚仪

介绍了一种高性能的多通道光学薄膜膜厚监控系统的设计与制作,系统使用了ＣＣＤ作为线阵探测器。详细论述了光源、接收器以及光纤导光系统的设计过程。实验表明该设备可以用于高精度高速测量,也适合于监控制作多层膜滤光片。     

一种新型多功能快速分光式膜厚仪

介绍了一种高性能的多通道光学薄膜膜厚监控系统的设计与制作,系统使用了ＣＣ秦为线阵探测器。详细论述了光源、接收器以及光纤导光系统物设计过程。实验表明该设备可以用于高精度高速测量,也适合于监控制作多层膜滤光片。     

用IAD法制作的高密集型分波复合器滤光片的特性

随着高密集型分波复合器需要的不断增加,在光纤通讯领域中,光学薄膜滤光片已经成为了一个很关键的光学元件。在高密集分波复合器中,我们用ＩＡＤ方法制作了低损失、高稳定性的超窄带滤光片并在本文加以讨论。在湿度环境试验中,这种高堆积密度的光学薄膜显示了没有任何波漂。在温度环境试验中,它的热稳定性为０．００１２ｎｍ ／℃。在使用Ｔａ２Ｏ５／ＳｉＯ２,用于１００ＧＨｚ的滤色片的场合下,窄带滤色片的插入损失为０．３４ｄＢ。在使用Ｎｂ２Ｏ５／ＳｉＯ２,用于２００ＧＨ２ 的滤色片的场合下,插入损失为０．１７ｄＢ,两者都显示了极好的分光光谱特性,甚至半宽为０．６６ｎｍ 的情况下,它们的截面ＳＥＭ 微结构显示了非晶结构,平坦的表面与界面。     

用IAD法制作的高密集型分波复合器滤光片的特性

随着高密集型分波复全器需要的不断增加,在光纤通讯领域中,光学薄膜滤光片已成为了一个很关键的光学元件。在高密集分波复合器中,我们用ＩＡＤ方法制作了低损失、高稳定性的带滤光片并在本文加以讨论。在温度环境试验中,这种高堆必度的光学薄膜显示了没有任何波漂。在温度环境试验中,它的热稳定性为０．００１２ｎｍ／℃。在ａ２Ｏ５／ＳｉＯ２,用于１００ＧＨｚ的滤色片的场合下,窄带滤色片的插入 失为０．３４ｄＢ。在使用     

HOM系列高精度光学膜厚监控系统的研制

叙述了新研制的适用于DWDM窄带滤光片成膜控制的高精度光学膜厚监控系统.该系统在光谱带宽0.1nm条件下,暗噪声小于±0.005%,性能优于目前的报道.使用它已成功地实现了100GHz,50GHzDWDM窄带滤光片全自动成膜监腔.由其派生出的HOM系列的其他类型光学膜厚监控系统,可适用于不同的优质膜的过程控制.     

HOM系列高精度光学膜厚监控系统的研制

叙述了新研制的适用于 DWDM窄带滤光片成膜控制的高精度光学膜厚监控系统。该系统在光谱带宽 0 .1 nm条件下 ,暗噪声小于± 0 .0 0 5 % ,性能优于目前的报道。使用它已成功地实现了 1 0 0 GHz,5 0 GHz DWDM窄带滤光片全自动成膜监腔。由其派生出的HOM系列的其他类型光学膜厚监控系统 ,可适用于不同的优质膜的过程控制     

HOM系列高精度光学膜厚监控系统的研制

叙述了新研制的适用于DWDM窄带滤光片成膜控制的高精度光学膜厚监控系统.该系统在光谱带宽0.1nm条件下,暗噪声小于±0.005%,性能优于目前的报道.使用它已成功地实现了100GHz,50GHzDWDM窄带滤光片全自动成膜监腔.由其派生出的HOM系列的其他类型光学膜厚监控系统,可适用于不同的优质膜的过程控制.     

光学薄膜在线宽光谱膜厚控制仪

本文介绍了一种高性能的实时宽光谱膜厚控制仪的设计与制作,详细介绍了该系统的工作方式及设计思想.实验表明该系统可以用于光学薄膜在线实时监控和光学薄膜光谱特性检测,并可能基于该系统开发薄膜自动控制系统.     

膜厚监控系统的光谱宽度对波分复用窄带滤光片性能的影响

通过对光学薄膜监控系统的分析,指出在波分复用超窄带滤光片的制备中必须考虑系统光谱宽度的影响.给出了监控波长带宽影响的模拟分析结果,表明监控波长带宽在滤光片通带半宽度一半以内时,可以满足膜系的性能要求.     

Precision design and control of a flexure-based roll-to-roll printing system

This paper presents the design, characterization, and control of a flexure-based roll-to-roll (R2R) printing system that achieves nanometer level precision and repeatability. The R2R system includes an unwinding/rewinding module, a web guide mechanism, and a core positioning stage consisting of two monolithic compliant X–Y stages that control the position/force of the print roller. During the printing process, capacitance probes, eddy current sensors and load cells are used to monitor the displacements of the flexure stage and contact force in real time. Control strategies, including decoupling, PID, and cascade control, have been implemented to decouple the cross-axis and cross-stage motion coupling effect and improve the overall precision and dynamic performance. In actual printing processes, the contact force and roller position can be uniformly controlled within ±0.05 N and ±200 nm respectively across a 4 in. wide PET web. To demonstrate the performance, a positive microcontact printing (MCP) process is adapted to the R2R system, printing various fine metal patterns, e.g., optical gratings and electrodes, in a continuous fashion.     

基于自适应卡尔曼滤波的光学监控信号处理

针对光学监控系统(OM S)实际工作环境的复杂性,导致监控信号中存在不稳定量测噪声,采用基于遗忘因子的自适应卡尔曼滤波(AKF)对光学膜厚监控信号进行去噪处理。建立了针对非线性OM S的AKF模型,仿真分析中针对存在突变信噪比(SNR)的输入信号设置相应AKF初始参数使滤波性能达到最优。结果表明自AKF输出监控信号精度明显优于常规卡尔曼滤波;同时利用AKF输出监控信号判读反射率极值点对应膜厚,最终理论膜厚监控误差<2nm。     

星载太阳辐射监测仪的太阳程控跟踪精度

为了避免太阳敏感器(DSS)指向故障导致星载太阳辐射监测仪(SIM)功能失效,为风云三号(FY-3(03))卫星的太阳辐射监测仪(SIM)设计了备份跟踪方式程控太阳跟踪并分析了其跟踪精度。利用星上儒略日时间和卫星轨道瞬根,基于类基准地表辐射网(BSRN)算法推导了轨道坐标系太阳矢量、俯仰角和偏航角。将计算结果与卫星给定指向数据进行了比较。结果表明:太阳矢量三轴偏差均小于0.1°,俯仰角平均偏差为0.024 6°,偏航角平均偏差为-0.080 4°。对利用程序计算的多轨道指向数据进行了太阳模拟跟踪控制实验,结果表明:SIM俯仰跟踪控制精度优于0.1°,偏航跟踪控制精度优于0.05°。为保证在轨跟踪精度,试验了俯仰零点角和偏航零点角,其分别为80.46°和-36.96°。最终分析结果表明,俯仰程控跟踪不确定度为±0.318°,偏航程控跟踪不确定度为±0.316°,满足SIM太阳跟踪精度±0.5°的要求。设计的太阳程控跟踪降低了SIM对光学指向器件的依赖,提高了在轨太阳跟踪的可靠性。     

一种基于Ni80Cr20薄膜的高精度中性密度滤光片的制备方法

Ni80Cr20合金薄膜在可见光波段展现出很好的光学中性度。真空镀膜系统中石英晶振膜厚传感器的测量误差是导致薄膜的实际光密度值偏离设定值的主要原因。为此,提出了一种提高中性密度滤光片光密度值精度的制备方法,即采用真空镀膜结合离子束蚀刻技术,通过对镀膜和蚀刻参数的精确控制,实现对薄膜厚度的精密调控,将光密度值的相对误差控制在±2%以内,绝对误差不超过±0.01,使得薄膜的厚度调控量处于原子层尺度,满足了滤光片在高精度要求下光谱系统中的使用要求。同时验证了中性密度滤光片在离子束蚀刻微量减薄后,依旧拥有良好的光学性能和表面平整度,使得离子束轰击蚀刻薄膜技术成为一种新的且可靠的薄膜厚度微量调控方法。     

Determination of methyl gallate in Bauhinia retusa extract by high-performance liquid and thin-layer chromatography

Two stability-indicating chromatographic methods are reported for the determination of methyl gallate in crude extracts of Bauhinia retusa. Separation by high performance thin layer chromatography was conducted on silica gel aluminum sheets using 9.5:0.5:0.2 (v/v/v) chloroform:methanol:acetic acid at 280 nm. The results from the 2–40 µg/band were used to prepare a linear calibration graph. The limits of detection and quantitation were 0.5 and 1.5 µg/band, respectively. The reverse phase high performance liquid chromatographic isolation of methyl gallate was performed at ambient temperature with an injection volume of 10 μL. The mobile phase consisted of 40:60 (v/v) methanol:0.1% ortho-phosphoric acid. The separation was performed at 1 mL/min using a detection wavelength of 280 nm. The calibration graph for methyl gallate was rectilinear from 0.02–40 µg/mL with limits of detection and quantitation of 0.004 and 0.010 µg/mL, respectively. For both methods, intra-day and inter-day precision were evaluated and the relative standard deviation was less than 2%, indicating good precision. The robustness was evaluated by making small and deliberate changes to appropriate parameters and the calculated relative standard deviation was less than 2%.The chromatographic methods were employed to determine methyl gallate in crude Bauhinia retusa extracts.     

30.4nm正入射成像系统滤光片的研究

多层膜反射镜在30.4nm正入射望远镜上是主要的反射元件,但是它在紫外、可见和近红外光波段也同样有很高的反射率,因此需要滤光片来消除这些长波辐射。选择合适的滤光片材料和膜层厚度对滤光片的性能起到重要的作用。本文根据原子散射因子,理论计算出几种材料波长和线性吸收系数之间的关系,确认铝是30.4 nm波段滤光片的最好材料;考虑到透过率和膜的强度的需要,确定了滤光片的膜层厚度。改进了现有的由Mcpherson 247掠入射软X射线-真空紫外单色仪和气体空心阴极光源组成的光谱测量装置,使其适合于透过率的测量,并且波长扫描精度为±0.17Å~±0.97Å,又用其对所制备的铝滤光片进行25.6 nm～1000 nm波段的透过率测量,测量结果显示它在30.4 nm 处的透过率为58.85%。为了比较全面地反映它的透过率情况,又测量了它在紫外、可见和近红外波段透过率,测量的透过率接近零,因此证明该滤光片满足30.4 nm成像系统的需要。     

非连续线性啁啾取样布拉格光栅型多信道光纤滤波器的设计

介绍了一种基于取样布拉格光纤光栅获得多信道光纤滤波器的方法。通过设计一种非连续阶梯型啁啾取样的布拉格光栅结构,可以分别实现单个信道宽度为50,100和200GHz的光纤滤波器。光纤滤波器的每个信道的宽度几乎完全相同,具有平顶、峭沿和高透射率特点,相邻信道间隔离深度超过28dB,平均插入损失不超过0.1dB,3dB带宽内相位响应起伏在5～30ps。利用介绍的方法制作具有相应非连续线性啁啾系数的全息相位掩模板,易于制作,成本低,重复性好。通过改变相应的光纤光栅参数,可以实现不同信道宽度的,性能稳定、可重复性高的光纤滤波器,在高速光通信系统以及光互连中有着非常好的应用前景。     

HPLC-MS/MS联用技术定量测定人血浆中恩替卡韦

建立HPLC-MS/MS联用方法定量测定人血浆中恩替卡韦浓度。以地西泮为内标,甲醇为有机相,甲醇-水为(5 mmol.L-1碳酸氢铵)梯度洗脱流动相,Waters-Eterra MS-C18(2.1×50 mm×5μm)色谱柱为分析柱,通过电喷雾离子源(ESI),以正离子多反应监测(MRM)方式检测。用于定量分析的离子对分别为m/z278.2→152.1(恩替卡韦)和m/z285.0→193.0(地西泮,内标)。恩替卡韦的线性范围为0.05~20μg.L-1,定量下限为0.05μg.L-1(n=6)。日内、日间精密度的RSD15%,平均回收率75%。