氮化硼扩散小结

为了增加产量和提高质量,我们在电路生产工艺线,基区硼扩散工序由原来液态源硼酸三甲脂改为固态源氮化硼进行硼扩散。经过一个阶段的实践,我们感到效果良好。主要优点是,浓度均匀,重复性好,系统简单,操作方便适于大量投片。现将工艺情况总结如下:     

片状氮化硼在C-MOS电路中的应用

在互补MOS电路中,系采用N型高阻5—10 Ω—cm单晶为基体材料用淡硼扩散的办形成一个杂质浓度在10~(16)cm~(-3)左右的P型区域,该区域杂质浓度的均匀性直接影响n沟的开启电压及C—MOS电路的成品率,目前我们采用粉状BN做淡硼扩散源,其均匀性和重复性还存在一定问题,特别是B_2O_3对石英器皿的腐蚀作用操作不便,为此有必要研究新源——片状BN源的扩散。     

片状氮化硼在数字集成电路扩散工艺中的应用

我们厂是一个生产数字集成电路的器件厂,1976年年底开始使用北京国家建筑材料研究院的片状氮化硼,半年多来,由于建材院同志的大力支持和协助,使我厂数字电路生产车间中的基区硼扩散工艺逐步地由片状氮化硼取代了液态的硼酸三甲酯,例如五车间全部采用了片状的氮化硼。     

采用片状氮化硼扩散源提高TTL电路质量

硅固态平面扩散源是七十年代出现的一种新的扩散技术,由于它具有均匀的扩散浓度,好的重复性和大大提高劳动生产率的优点,特别是随着硅片直径的增大、浅结扩散的采用促使氮化硼平面源的应用得到推广。我厂自76年年底开始采用片状氮化硼后使TTL电路的质量得到了一定程度的提高,最近四机部在上海召开了片状氮化硼扩散源经验交流会,使氮化硼的应用又取得了进展。     

片状氮化硼是一种好的硼扩散杂质源

片状氮化硼作为硼扩散杂质源,我们用来试生产集成电路低功耗TTL与非双门,低功耗D型触发器以及低功耗四位二进制计数器都得到了满意的结果。在其它工艺条件相同情况下,用片状氮化硼作为硼扩散杂质源所生产的双门,双D中测管芯成品率完全可以达到用粉末状氮化硼源的成品率。在试制中规模集成电路低功耗四位二进制计数器,按二位以上性能好的管芯统计,中测成品率可达15％～20％,其中四位全好的管芯占有     

磷陶瓷片状扩散源在CMOSIC中的试用

固态片状扩散源有扩散均匀性,重复性好,操作简便,装炉量大等优点,一直为人们所向往,但六十年代,未找到合适的片状磷源材料,至1972年,日本首先发表了片状氮化磷源专利,但由于有热稳定性差等原因,在满足半导体器件和集成电路要求方面不甚理想,因而受到限制,直至1976年美国NJones等报导了PH-1050片状磷源,其所得结果可与pocl3液态     

硼微晶玻璃〔PWB〕片状扩散源在CMOSIC中的试用

一.概述: 1.名称:硼微晶玻璃片状扩散源简称PWB片状源或叫氧化硼片。 PWB是以硼—微晶—玻璃的汉语拼音第一个字母PWB命名的。 美国于1975年首先使用,称Boron~+片,国内于1979年试用并(钅监)定。由上海有色光学玻璃厂制造。 2.PWB片的主要成分及性质:     

片状电感器

<正> 电感器是电子线路中三大无源器件之一。随着表面安装技术的发展,各种片状(贴片式)电感器应运而生。片状电感器是用新型磁性材料、精密薄膜工艺及自动化绕线设备制造的,所以不仅具有极小的尺寸(1μH的体积为1.2×2×0.8mm,1000μH的体积为2.5×3.2×2.5mm),而且还有良好的性能以满足不同工作频率及工作电流的要求。尺寸小的好处是安装密度高,分布电容小。采用自动化设备生产后,片状电感器质量稳定,成本低廉。 片状电感器大部分用于无绳电话、蜂窝电话、汽车电话等高频无线通信设备及高频测试仪器,小部分用于音频—视频设备、计算机软盘驱动器和硬盘驱动器、DC/DC变换器中滤波用的扼流圈等。     

氮化硼扩散源

到目前为止,极大多数的分立元件和集成电路的制造都是采用液态三溴化硼或者汽态乙硼烷作为硅热扩散的 P 型扩散源。这两种方法都不能完全满足一个理想系统的要求:相等的杂质物质转移到所有硅片上,每一硅片所有部位都有均匀的杂质浓度;     

超小型片状电阻

<正> 一、引言 本所研制的砷化镓场效应管微波宽带混合集成放大器(4～8GHz、8～12GHz)为平衡式结构,制作微带线所用的99％氧化铝陶瓷基片尺寸是9.6×20mm、5×10mm。负载电阻是用厚度只有0.3mm的99％氧化     

铁氧体片状温度传感器

日本一家公司用铁氧体首创的OHD系列片状温度转换传感器最近开始出售样品。它的最大转换电流为0.1A,开关功率为1W,转换温度范围为30～130℃,每步5℃。片状尺寸为12×5×5(mm),环氧树脂封装,具有优良的机械强度和可靠性,适合于高密度安装。     

浅谈片状元器件

随着电子技术的发展,电子元器件的体积越来越小。片状元器件以其体积小、重量轻、抗振性好、抗干扰能力强、可靠性高,在计算机、手机、数码产品、医疗电子仪器等高精电子产品中得到了广泛应用。片状元器件包括片状电阻、片状电容、片状电感、片状开关、薄型微电机、片状二、三极管、片状集成块等。片状元器件按工作功能分成片状无源元件、片状有源器件、片状机电元件三大类。有圆柱形、矩形、     

片状预调电位器

<正> 引言 国外“组装技术革命”,正在推动着电子元件发生突飞猛进的变化。变化特征表现在整机体积小型化、薄型化、轻量化;变化的原因是集成电路、薄厚膜电路在电子线路中广     

氮化硼导热绝缘膏

本文概述了氮化硼导热绝缘膏的配制工艺及性能。     

片状放大器的研制

本文给出片状放大器系列在设计中所考虑和解决的问题.给出三种规格片状放大器的实验结果.     

片状钽电容失效分析

针对片状钽电容在实际使用中失效率过高的问题,从电路设计和制造工艺两个方面分析导致片状钽电容失效的原因,并根据分析的结果给出相应的预防其失效的具体措施。     

片状铁氧体磁阻简介

片状铁氧体磁阻简介师芳，施永信１、概述片状铁氧体磁阻是一种新型滤波元件，它可以用来抑制数字设备、计算机及其外围设备、生产自动化设备和办公自动化电子设备中的噪声，目前该器件已广泛应用于传真机、普遍电话机、数字电话机、蜂窝式电话机、笔记本式计算式、计算机...