超精密研磨机床

本文简要介绍了超精密研磨的工艺原理及其所要求的超精密研磨机床结构上的特点，包括高精度的主轴，精密的研磨间隙微调机构和对金刚石切削的特殊要求等，为实现超高精度的研磨提供设计思路。文中给出了一台曾研磨出接近世界领先水平超精密平面的研磨机的简要结构，为这类机床的设计提供参考。     

大型精密球体机械化研磨的新方法

本文介绍大型4轴自动球面研磨机的工作原理、机械结构和微机控制系统。它完全改变了传动的手工研磨方法,高效率、高精度、低成本地实现了大型球体的机械化研磨。对于整球加工精度已超过超精密机床加工水平。     

非球面超精密抛光技术研究现状

非球面应用范围的拓展以及应用精度要求的不断提高对非球面元件的尺寸精度与表面质量提出了更高要求;作为终加工手段,非球面超精密抛光技术也越来越受到世界各国的重视。掌握非球面超精密抛光过程中的材料去除机理以及由此导致的亚表面损伤等特性对提高非球面抛光的精度与效率十分重要。对非球面抛光技术的发展进行回顾,并根据非球面超精密抛光技术的发展脉络,阐述当前主要非球面超精密抛光技术的加工原理及加工实例,随后从亚表面损伤、边缘效应等方面对几种非球面超精密抛光技术进行比较,并以提高抛光精度与效率为目标,对非球面超精密抛光技术的发展趋势进行预测。     

石英晶体精密研磨技术的研究

通过实验，着重讨论了石英晶体的研磨机理及研磨速度，研磨压力和磨粒粒径对试件表面质量和研磨效率的影响，并确定了合理的精密研磨参数选用范围，实验采用修正环型环磨机，加工出表面粗糙度Ｒａｍａｘ０．７μｍ的石英晶体表面，为实现石英晶体的超精密抛光准备了必要的条件。     

超精密研磨技术及其发展的研究(下)

阐述超精密研磨技术的研磨机理和加工特点,讨论当前国内外研究和开发的几种超精密研磨技术及其发展.最后,介绍精密加工技术的检测设备和仪器.     

亚纳米量级光滑表面的超精密抛光

软Ｘ射线光学的发展，对光学元件表面提出超光滑要求，为此我们开展了使用锡磨盘的超精密抛光方法研究。本文介绍锡磨盘磨削的实验装置及主要结果。利用这种方法已加工出表面粗糙度优于０．３ｎｍ的超光滑表面     

超精密CMP电化学抛光试验台关键部件的设计

由于化学机械抛光(CMP)中机械和化学作用同时发生在芯片抛光过程中,因此,传统的电化学测试仪难以动态测试CMP中芯片表面成膜的过程。将传统CMP设备与电化学测试分析仪相结合,开发新型电化学CMP测设平台。研究关键部件抛光头和抛光盘的设计,采用ANSYS进行传感器弹性体的标定与设计,并进行电化学分析试验的验证。结果表明开发的测试平台数据采集稳定,工作平稳,基本达到设计目标。     

研磨抛光工艺组合优化技术研究

提高研磨抛光的加工效率是人们普遍关注的问题。由于研磨抛光的加工时间很长,单位时间的去除量很小,前工序的表面粗糙度对后工序的加工余量的影响很大。在这种情况下,单一工序的高效率并不能保证整个加工过程的总体上的高效率。本文提出了一种提高研磨抛光效率的新思路。通过建立工艺数据库,以缩短总的加工时间为目标,进行工序组合优化。本文给出了工序组合优化的策略和实现方法,并结合一个典型实例进行分析。结果表明,这种工序组合优化方法是有效的。     

偏心运动双平面超精研抛圆柱面研究

对偏心运动双平面超精研抛圆柱面的加工技术进行了理论和试验研究。基于几何运动学理论建立了加工系统数学模型,应用速度矢量法求解圆柱工件各运动参数,进而实现了工件圆柱面加工轨迹的仿真,分别分析了工件中心至夹具中心距离与夹具中心至研磨盘中心距离的比值、夹具自转转速与夹具公转转速的比值对加工轨迹形态和轨迹交叉角度的影响规律。在自制试验装置上对轴承钢GCr15圆柱滚子进行了超精研磨和抛光试验,改善了一批工件圆柱面的圆度和表面粗糙度及其偏差。仿真结果和试验结果的比较分析说明,仿真结果可反映实际工件表面微观加工痕迹的相互交叉的几何特征。     

新型光纤连接器端面研磨抛光机的运动分析

设计一种新型的光纤连接器端面研磨抛光装置,建立该机构的运动学方程.从机构的运动角度出发,借助MATLAB语言,对该机构的运动轨迹进行仿真研究,找出影响此种机构的重要参数,总结出主要参数的变化对研磨盘运动的影响.研究结果证明此种研磨机构理论上能够较好地完成光纤连接器端面的研磨.     

双面研磨抛光中工件表面“塌边现象”的研究

随着信息产业的迅速发展,对半导体器件、光学器件等的表面平整度提出了越来越高的要求。双面研磨/抛光技术是能使工件得到较高形状精度和表面精度的超精密加工主要方法。但是在双面研磨抛光加工中工件存在"塌边现象",这导致工件的表面平整度变差。本文对双面研磨抛光中工件"塌边"这一问题进行研究,分析造成工件表面"塌边"的各种因素,以及相应解决方法,对进一步提高双面研磨抛光加工质量具有重大意义。     

变压器故障诊断的专家系统研究

针对变压器的故障特点,提出了采用基于规则的产生方法进行知识表示,以模拟方式构造知识库,并选用正反向混合推理方式,创建变压器的故障诊断专家系统。     

模糊再设计专家系统开发工具的研究和开发

建立了模糊现设计专家系统,指导设计结果不满意的方案进行再设计,提出设计方案模糊评判和模糊再设计专家系统之间的集成问题、再设计的控制策略,介绍模糊再设计专家系统开发工具的研究和开发。设计方案的评价和再设计决策达到工具级程度,将有利于设计智能化和虚拟产品开发的实现。     

梯度功能研抛盘力学模型与材料均匀去除试验

针对材料非均匀去除问题,提出了一种基于梯度功能研抛盘的新颖加工方法.以Preston方程为理论基础,开展了梯度功能研抛盘与工件接触应力的数值模拟和弹性力学计算,通过半逆解法推导接触应力方程,建立了一套关于梯度功能研抛盘的双层结构力学模型与工件材料去除水平的预测体系.在ZrO2陶瓷上进行了不同部位材料去除速率研磨试验,以...     

超精密抛光中合适参量抛光粉的选择

在超精密抛光加工过程中,抛光粉参量对抛光质量的影响很大。试验研究抛光粉主要参量随抛光时间的变化规律,得到了适合超精密抛光的抛光粉参量的主要特点。根据抛光原理分析了抛光粉的主要参量对抛光表面的作用机理,提出一种选择适于抛光的合适参量抛光粉的方法。结果表明,利用该方法选择的抛光粉可稳定地加工出高质量的超光滑表面。     

机器人模具抛光系统中抛光工具位姿研究

为了弥补抛光机器人通过示教方式采集抛光点的不足,充分利用了模具数控加工在路径规划方面的功能,生成模具加工表面刀位点,编写算法提取在UG NX 7.5的CAM模块上生成的模具加工数控刀位数据,并在这些数据的基础之上,设计了工业机器人抛光工具的位姿算法。     

超声研磨声学系统振动特性与试验研究

分析了超声振动研磨声学系统研具的固有频率和振型,建立了力学模型及其位移方程,探讨了研具的共振机理,根据理论和试验得出结论当研具以自身的固有频率共振时,系统处于全谐振状态。