真空灭弧室用磁控真空计的研究

本文介绍了同轴场式脉冲磁控真空计测量的原理以及设计中的有关问题。给出了某型号的真空灭弧室的压强－离子电流曲线。测量结果表明，该磁控计的压强－离子电流曲线为幂指数函数，磁控放电的离子流与磁场强度无关，但磁场强度必须足以产生稳定的磁控放电。压强－离子电流曲线与灭弧室电极的几何构造和触头的状况有关。     

真空测量技术介绍

概述真空测量技术作为真空技术的眼睛在真空技术的发展中起着重要的作用。真空测量历史的发展粗略地可分为如下几个阶段,第一个阶段是1643年的水银压力计,开始高压强和压力差的测量。第二阶段是1874年Mcleod发明的麦氏压缩式真空计,第一次提供了测量低压强的手段。第三个阶段是1906年的Pirani真空计及1916年的电离     

石英晶振真空传感器及真空计的研制

本文研究了音叉型石英晶体谐振器的谐振阻抗与周围气压的关系，设计了一种全新的自稳幅自跟踪晶体振荡电路和精密动态阻抗测试电路，以测量石英晶振的谐振阻抗。实验测得，当晶振周围气体压强从１０－２Ｐａ上升到大气压时其谐振阻抗相对变化也几乎以相同数量级单调增加，阻抗随气压变化关系与理论分析和国外文献报道一致。利用石英晶振的气压敏感性，本文研制了一种新型的石英晶体真空计，量程从０．１Ｐａ到２×１０５Ｐａ，全量程内无须进行量程切换，各点测量误差小于１２％。     

皮氏计改修及其测量电路

皮氏计改修及其测量电路李银祥，邓志刚（武汉工业大学，武汉４３００７０）日立公司Ｈ－６００型电镜上用的皮喇尼真空计为ＷＰ－０２型。该皮氏计由于规丝非常细，在使用中容易损坏，我们将已损坏的皮氏计改用粗丝做规丝，粗丝皮氏计经使用效果很好，现将其测量线路和规...     

基于PLC和虚拟仪器技术的真空计电参数检定系统的软件设计

真空计电参数是电离真空计的栅极电压、阴极电压、发射电流和离子流,热偶真空计的加热电流和热电势的统称.真空计电参数检定装置用于真空计电参数的计量检定.文章阐述了所编制的基于PLC技术的真空计电参数系统的T形图控制程序设计,触摸屏控制程序设计及基于Labview实现PLC控制和系统控制的自动化计量软件.系统可实现通过触摸屏和上位机控制真空计电参数检定系统,实现检定数据的自动处理,报告自动生成.     

一种新的电磁力驱动振膜真空计

研制了一种新的振膜真空计。量程覆盖１０＾－３Ｐａ－１ａｔｍ。该计采取用通电线圈的电磁力驱动振膜，振膜再带动另一个线圈，使其切割磁力线，从而感应出一个与压强有关的信号电压。振膜的振幅受气体分子的阻尼，压强越高，阻尼越强，振幅变小，感应信号也就越小。这种新型振膜规，比现今的静电力驱动振膜规工艺简单，参数一致性好，利于生产和降低成本。电磁力驱动振膜规可采用单膜，也可采有双膜结构，双膜规消除了现今振膜规在     

真空开关管真空度的测量

论述了真空开关管真空度的测量原理 ,讨论了影响测量准确性的因素 ,并推荐了测量仪器的正确校准方法。     

有线电视调制器自动测量系统研究

本文采用LabVIEW开发平台建立了有线电视调制器自动测量系统,该系统通过GPIB总线和LAN接口,组建有线电视调制器自动测量系统,通过该系统可完成有线电视调制器指标的自动测量工作,并将测量结果和测量波形存入MYSQL数据库,建立查询等功能。     

光谱反射率智能化测量系统的研究

本文阐述了光谱反射率智能化测量系统的设计方法及工作原理，给出了测量系统响应特性的数学表达式，讨论了自动量程转换、自动零点调整和自动非线性校准等技术难题。     

优化软件提高测量系统功能

人们期望一个自动测量系统既能完成准确测量，又能从待测器件(DUT）上收集到各种数据。在大多数情况下，自动测量必须在保证测量精度的前提下，在尽可能短的时间内完成整个测试，从而最大限度减少产品成本和资本投入。本文将讨论最大限度减少自动测量时间、同时保证其测量准确度的一些技术手段。     

UHVCVD SiGe外延设备真空腔室及自动传输系统设计

介绍了UHVCVD SiGe外延设备真空腔室及自动传输系统的具体设计,通过合理选取预备室和反应室的真空泵组,满足了设备的超高真空要求,自动传输系统则保证了反应室高洁净环境、提高外延生产效率。     

真空预处理设备的温度控制

真空预处理设备主要应用于液晶显示器件生产工艺中液晶玻盒的内部深层净化环节,通过对加热、保温、抽真空、充氮气进行自动控制,达到提高LCD产品品质和良品率的目的。文章主要介绍了真空预处理设备的工作原理、实现的功能、控制系统和加热系统,重点介绍了该设备的加热方式、温度控制方式和控制原理。     

真空浸渍设备自动控制系统

本文研究了以可编程序控制器为核心的真空浸渍设备自动控制系统，较为详细地分析了电力电容器真空浸渍工艺过程的综合特性，设计成功了一种与可编程序控制器配套使用的输入、输出数字信号接口电路及信号切换电路，并完成了具有特色的模块化软件设计工作。试验表明，本系统工作可靠，性能良好，操作方便，与传统的控制方法相比，具有很大的优越性。     

多功能回路电阻测试仪的研制与应用

分析了真空灭弧室的触头接触电阻、自闭力以及反力测试过程中的关键因素,并提出了相应解决方案,给出了多功能回路电阻测试仪的设计思路;详细阐述了多功能回路电阻测试仪的技术特点、系统构成及自动控制过程;最后通过对多功能回路电阻测试仪实际使用效果的分析与统计,阐述了多功能回路电阻测试仪有效的控制真空灭弧室的触头接触电阻、自闭力以及反力测试过程中的各项关键因素,并解决了传统测试方法存在的瓶颈问题,在实际生产实践中该设备具有测量精度高、结果一致性好、生产效率高等优点。     

微气压传感器测试系统的真空自动控制研究

针对微热板式微气压传感器的动、静态性能测试,建立了一套保持真空度稳定的控制系统。参考MATLAB的仿真结果,分别采用模糊控制与模糊PID控制算法设计出控制器,对传感器测试系统的真空度进行了实时控制研究,探讨并分析了真空度动态平衡的控制问题。结果显示,调整系统控制量的模糊PID控制稳态误差小、鲁棒性比较好,可以有效地对测试环境进行真空度调节和设置,能够解决传感器所需气压测试环境10~1000Pa的实时气压控制问题。     

微气压传感器测试系统的真空自动控制研究

针对微热板式微气压传感器的动、静态性能测试，建立了一套保持真空度稳定的控制系统。参考MATLAB的仿真结果，分别采用模糊控制与模糊PID控制算法设计出控制器，对传感器测试系统的真空度进行了实时控制研究，探讨并分析了真空度动态平衡的控制问题。结果显示，调整系统控制量的模糊PID控制稳态误差小、鲁棒性比较好，可以有效地对测试环境进行真空度调节和设置，能够解决传感器所需气压测试环境10-1000Pa的实时气压控制问题。     

基于LabVIEW的PVD/CVD材料生长平台真空控制系统

为了能够实时、准确地获取PVD/CVD（物理/化学气相沉积）材料生长平台内部的真空情况,监控真空系统各个部件的运行状态,以及实现便捷安全的实验操作,设计了基于LabVIEW的PVD/CVD材料生长平台真空控制系统。该系统同时实现了气压数据曲线图表显示,仪器状态可视化监控,实验数据自动保存等功能。经实验室测试使用,效果良好,可靠性高。     

Automatic characterisation method for statistical evaluation of tin whisker growth

In this paper, an automatic method was developed to characterise whisker growth quantitatively in SEM images. The key step of the automatic methods in this case is the determination of the optimal threshold value for image segmentation, i.e. separation of the objects (whiskers) from the background (substrate). A thresholding method was developed for this purpose and was compared to manual and to general purpose automatic methods as references. As it was proven in previous studies the vacuum deposited tin layers on copper substrates can produce numerous tin whiskers in various shapes and lengths in a short time. This layer deposition technology was therefore chosen for the comparison of the thresholding methods. Images of the produced whiskers were captured by a FEI Inspect S50 Scanning Electron Microscope. By executing the automatic methods in the captured images, the area density of the whiskers, and the maximum and the mean length of the whiskers were measured. Based on the results of area density, the automatic methods were compared to manual counting and the Mean Absolute Percentage Error (MAPE) was determined. Finally, the reference automatic methods were compared to the self-developed method from the maximum and mean length of whiskers point of view.     

CMP系统真空供给系统设计

研制了一套化学机械抛光机(CMP)专用的真空供给系统,主要由水环式真空泵、真空泵箱体、真空储气罐和水箱(汽水分离器)组成及控制模块组成。设计了水箱供水控制模块、水箱温度自动控制模块,通过控制水箱水温进而控制真空泵工作液的温度,保证真空度要求,同时也达到节约用水、降低能耗的要求。采用有限元分析软件ANSYS Workbench对真空供给系统机架进行了模态分析,研究机架的振型、固有频率,从而在结构设计上避免共振。     

ODF生产线设计

介绍了全自动液晶滴下(ODF)生产线设计的关键点.根据规划产能和设备节拍时间,计算了各种工艺设备的数量;研究了隔垫物系统、液晶滴下系统和成盒系统的工艺要求;根据工艺设备的运行特点、基板投入方式等要素探讨了搬运系统的运营方案.成功设计了国内第一条多功能全自动ODF生产线,并实现量产.